Учебное пособие 800594
.pdf
|
СОДЕРЖАНИЕ |
|
Введение………………………………………………... |
3 |
|
Рембеза С.И., Носов А.А., Белоусов С.А. Свойства |
|
|
пленок Zn2SnO4, изготовленных золь-гель методом с ис- |
4 |
|
пользованием УФ-излучения………………………………...... |
||
Яковлев С.Ю. Разработка аналоговой части порта- |
|
|
тивного газоанализатора окиси азота…………………………. |
8 |
|
Белых М.А. Зависимость поверхностного сопротив- |
|
|
ления плёнок оксида цинка от содержания алюминия и вре- |
|
|
мени термообработки………………………………………… |
11 |
|
Митрохин В.И., Анисимов А.Д., Чаплыгин А.В., Же- |
|
|
лезный С.В. Мембранный полупроводниковый резонатор |
|
|
как селективный приемник модулированных оптических |
|
|
сигналов………………………………………………………… |
17 |
|
Митрохин В.И., Анисимов А.Д., Чаплыгин А.В., Ло- |
|
|
гинов В.А., Фотопьезоэлектрический резонатор с радиаль- |
|
|
ными колебаниями…………………………………………… |
24 |
|
Минаков К.А. Обработка и отображение информа- |
|
|
ции в газоанализаторе…………………………………………. |
28 |
|
Овсянников С.В. Технология встраивания кристалла |
|
|
в кремний eSiFO для формирования 3D устройств………….. |
31 |
|
Авцинов Н.В. |
Исследование влияние типов корпу- |
|
сов на электрические |
параметры диодов и полевых тран- |
|
зисторов……………………………………………………… |
35 |
|
Галкин В.С., Акулинин С.А. Методы диагностики |
|
|
воспалительных процессов путем измерения концентрации |
|
|
выдыхаемого человеком окиси азота………….……………... |
38 |
|
Жулькова Е.А. Разработка печатной платы для газо- |
|
|
анализатора окиси азота……………………………………… |
42 |
|
Плахотник Л.А. Исследование параметров SMD- |
|
|
резисторов, изготовленных на основе резистивного сплава |
|
|
РС-3710…………………………………………………………. |
45 |
|
Буданов А.В., Власов Ю.Н., Котов Г.И., Сыно- |
|
|
ров Ю.В., Руднев Е.В. Формирование пленок соединения |
|
|
Cu2SnS3 для применения в устройствах фотовольтаики…… |
49 |
|
Тропынин В.П. Отработка технологии нанесения |
|
|
контактов на гетероструктуры AlGaN/GaN………………… |
56 |
210
Иволгина А.С. Исследование технологических фак- |
|
троров, влияющих на сопротивление сток-исток полевых |
|
транзисторов…………………………………………………… |
60 |
Лавренко И.Ю. Исследование возможности исполь- |
|
зования микроконтроллеров в медицинской радиоэлектрон- |
|
ной аппаратуре………………………………………………… |
64 |
Свистова Т.В., Рукина Ю.В. Особенности технологии |
|
резки на кристаллы кремниевых пластин диаметром |
|
300 мм…………………………………………………………… |
67 |
Сальников Л.С., Акулинин С.А. Разработка трехмер- |
|
ных моделей корпусов для датчиков газов…………………… |
73 |
Свистова Т.В., Ханин А.С., Белых М.А. Влияние |
|
примеси алюминия в пленках оксида цинка на их чувстви- |
|
тельность к аммиаку…………………………………………… |
77 |
Липатов Г.И. Особенности детектирования сигналов |
|
емкостных акселерометров и гироскопов МЭМС…………... |
80 |
Митрохин В.И., Чаплыгин А.В., Стёпкин А.А., Ани- |
|
симов А.Д. Полупроводниковый фотопьезоэлектрический |
|
резонатор на поверхностных акустических волнах…………. |
88 |
Землянский А.И. Медная металлизация с никелевым |
|
соединительным слоем для производства изделий микро- |
|
электроники…………………………………………………… |
94 |
Пермяков Д.С., Меньшикова Т.Г. Влияние режима |
|
термообработки на электрофизические свойства пленок |
|
CuO, приготовленных золь-гель методом…………………… |
98 |
Лубкин М.Н. Моделирование БиКМОП инвертора на |
|
полевых LDD-транзисторах………………………………...… |
103 |
Гусев Р.С., Винокуров А.А. Исследование блоков пи- |
|
тания во время электротермотренировки…………………..…. |
106 |
Максимова К.А., Арсентьев А.В. Исследование оп- |
|
тимального варианта конструкции матрицы ячеек для изго- |
|
товления силовых ДМОП транзисторов ……………………… |
109 |
Бугаев Д.Н. Разработка адаптера воздушного пото- |
|
ка для приборов контроля состава выдыхаемого воздуха |
|
при экспресс-диагностике заболеваний дыхательной си- |
|
стемы…………………………………………………………...... |
118 |
211
Полковников В.Е., Пономарева Ю.О. Синтез метал- |
|
лооксидной пленки оксида олова, легированной сурьмой по |
|
золь-гель технологии…………………………………………… |
123 |
Рембеза С.И., Свистова Т.В., Перепечина Т.А., Ханин |
|
А.С. Газовый отклик металлооксидных пленок ZnO и SnO2 |
128 |
к аммиаку……………………………………………………….. |
|
Шебанов А.Н., Мамонов А.С., Бормонтов Е.Н. Реа- |
|
лизация искусственного нейрона с сигмоидальной функцией |
|
активации на базе ПЛИС……………………………………… |
131 |
Воробьев В.А., Воробьева А.К. Современное состоя- |
|
ние сенсорики для определения оксидов азота……………… |
136 |
Лорес К.Э. Ангарита, Гавриленко А.П., Богати- |
|
ков Е.В., Бормонтов Е.Н. Оптоволоконный датчик давления |
|
для микробиореактора………………………………………… |
142 |
Лорес К.Э. Ангарита, Калинина К.А., Богатиков Е.В., |
|
Бормонтов Е.Н. Фотоприемник для оптоволоконного датчи- |
|
ка pH…………………………………………………………… |
146 |
Пахунова К.С., Арсентьев А.В. Исследование и мо- |
|
делирование мостиковой схемы в качестве схемы измерения |
|
сопротивления газочувствительного датчика………………… |
151 |
Буслов В.А., Викин О.Г., Пашнева Т.В. Применение |
|
композита на основе синтетического алмаза в качестве мате- |
|
риала для изготовления корпусов мощных СВЧ транзи- |
|
сторов…………………………………………………………… |
155 |
Буслов В.А., Пашнева Т.В. Применение ИК-теплови- |
|
зора для локализации повреждения от электростатического |
|
разряда на кристалле транзистора…………………………….. |
161 |
Дорофеев А.А., Беляков А.Ю. Применение датчиков |
|
и платы Аrduino с дополнительными модулями для снятия |
|
показаний и автоматизированной диагностики узлов ма- |
|
шин……………………………………………………................. |
166 |
Панов П.С., Винокуров А.А. Исследование стабиль- |
|
ности параметров сварки методом «клин - клин» алюминие- |
|
вой проволокой………………………………………………… |
175 |
Худяков Ю.Ю., Клюкин В.И., Николаенков Ю.К. |
|
Линеаризация передаточной функции АЦП последователь- |
|
ного приближения……………………………………………… |
180 |
212
Кошелева Н.Н., Свистова Т.В. Влияние добавки ок- |
|
сида иттрия на газочувствительные свойства диоксида |
|
олова…………………………………………………………….. |
186 |
Власов А.О., Акулинин С.А. Мегазвуковая очистка |
|
пластин в производстве микроэлектроники…………………. |
190 |
Кулешов В.А., Толкачев А.В. Влияние изотермиче- |
|
ского отжига на электрофизические свойства металлооксид- |
|
ных пленок SnO2, изготовленных спрей–пиролизом………… |
194 |
Минаков Д.С., Акулинин С.А. Кластерное оборудо- |
|
вание фотолитографии в производстве микроэлектроники..... |
199 |
Мохов Д.А., Сидоров А.В. Разработка структурной |
|
схемы газоанализатора………………………………………. |
204 |
Заключение…………………………………………….. |
208 |
. |
|
.
213
Научное издание
ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА, МИКРОЭЛЕКТРОНИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Межвузовский сборник научных трудов
Выпуск 18
В авторской редакции
Компьютерная верстка О. А. Ивановой
Подписано в печать 25.11.2019.
Формат 60x84 1/16. Бумага для множительных аппаратов. Усл. печ. л. 12,4. Тираж 350 экз.
Зак. № 131.
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14
Участок оперативной полиграфии издательства ВГТУ 394026 Воронеж, Московский просп., 14