новая папка / 4006357

4006357-Desc-ru var ctx = "/emtp"; The translation is almost like a human translation. The translation is understandable and actionable, with all critical information accurately transferred. Most parts of the text are well written using a language consistent with patent literature. The translation is understandable and actionable, with most critical information accurately transferred. Some parts of the text are well written using a language consistent with patent literature. The translation is understandable and actionable to some extent, with some critical information accurately transferred. The translation is not entirely understandable and actionable, with some critical information accurately transferred, but with significant stylistic or grammatical errors. The translation is absolutely not comprehensible or little information is accurately transferred. Please first refresh the page with "CTRL-F5". (Click on the translated text to submit corrections)

Patent Translate Powered by EPO and Google

French

German

  Albanian

Bulgarian

Croatian

Czech

Danish

Dutch

Estonian

Finnish

Greek

Hungarian

Icelandic

Italian

Latvian

Lithuanian

Macedonian

Norwegian

Polish

Portuguese

Romanian

Serbian

Slovak

Slovene

Spanish

Swedish

Turkish

  Chinese

Japanese

Korean

Russian

      PDF (only translation) PDF (original and translation)

Please help us to improve the translation quality. Your opinion on this translation: Human translation

Very good

Good

Acceptable

Rather bad

Very bad

Your reason for this translation: Overall information

Patent search

Patent examination

FAQ Help Legal notice Contact УведомлениеЭтот перевод сделан компьютером. Невозможно гарантировать, что он является ясным, точным, полным, верным или отвечает конкретным целям. Важные решения, такие как относящиеся к коммерции или финансовые решения, не должны основываться на продукте машинного перевода.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ US4006357A[]

ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ BACKGROUND OF THE INVENTION 1

Область изобретения Field of the Invention Настоящее изобретение относится к устройству для отображения информационного сигнала образца, полученного при его облучении пучком ускоренных электронов, в виде изображения, представляющего различные характеристики образца, на электронно-лучевой трубке, выполненной с возможностью выполнения операции сканирования синхронно с бомбардирующий электронный пучок. The present invention relates to an apparatus for displaying information signal of a specimen obtained by bombarding it with an accelerated electron beam in a form of an image representing various characteristics of the specimen on a cathode ray tube adapted to perform the scanning operation in synchronization with the bombarding electron beam. 2.

Описание предшествующего уровня техники Description of the Prior Art Известно, что при двумерном сканировании образца ускоренным первичным электронным пучком вторичные электроны, рентгеновские лучи и катодная флуоресценция образуются в зависимости от характеристик или свойств, присущих образцу. It is known that, when a specimen is two-dimensionally scanned with an accelerated primary electron beam, secondary electrons, X-rays and cathode fluorescence are produced in dependence on the characteristics or inherent properties of the specimen. Кроме того, количество первичных электронов, поглощенных образцом, а также количество электронов, прошедших через образец, будет варьироваться в зависимости от используемых отдельных образцов. Further, the quantity of the primary electrons absorbed by the specimen as well as that of electrons passing through the specimen will vary depending on the individual specimens as employed. Можно визуально наблюдать различные характеристики образца, отображая информацию о вторичных электронах, рентгеновском излучении и катодной флуоресценции, а также о поглощении или передаче первичных электронов (что в дальнейшем называется информацией об образце) на лицевой панели прибора. электронно-лучевая трубка (далее также просто ЭЛТ) в виде видимого изображения. It is possible to visually observe various characteristics of the specimen by displaying the information of the secondary electrons, X-rays and cathode fluorescence as well as absorption or transmission of the primary electrons (which is hereinafter called specimen information) on a face plate of a cathode ray tube (hereinafter termed also simply CRT) in a form of visible image. Чтобы получить изображение образца высокого качества, первичный электронный пучок, конечно, должен быть надлежащим образом сфокусирован на поверхности образца. Кроме того, когда информация, полученная с поверхности образца, усиливается и затем используется для отображения изображения образца на ЭЛТ, требуется выполнить настройку контрастности и яркости отображаемого изображения. До сих пор такие регулировки выполнялись путем наблюдения за самим отображаемым изображением, и поэтому для выполнения регулировок в течение относительно короткого времени требуется высокий уровень квалификации. In order to produce a specimen image of a high quality, the primary electron beam must of course be properly focussed on the surface of the specimen. Besides, when information obtained from the specimen surface is amplified and then used to display an image of specimen on CRT, it is required to perform adjustments of contrast and brightness of the displayed image. Such adjustments have been heretofore made by observing the displayed image itself, and therefore a high skill is required to perform the adjustments for a relatively short time. Соответственно, это будет означать большой вклад в уровень техники, если будет доступно устройство, которое позволяет отображать форму волны, представляющую информацию о фокусировке, контрасте и яркости изображения, одновременно с отображением изображения образца на одном и том же электронно-лучевую трубку, чтобы тем самым упростить регулировку вышеуказанных параметров в течение короткого времени с помощью отображаемой формы сигнала. Accordingly, it will mean a great contribution in the art if an apparatus is available which allows a display of a wave form representing the information of focussing, contrast and brightness of the image concurrently with the display of the image of specimen on one and the same cathode ray tube to thereby facilitate the adjustments of the above parameters for a short time with the aid of the displayed waveform. В этом случае очень важно одновременно отображать на одном и том же ЭЛТ осциллограмму для корректировок и изображение образца. Другими словами, качество изображения в том виде, в котором оно отображается, может варьироваться в широких пределах даже за счет точной регулировки контрастности, яркости и т.п. Таким образом, необходимо выполнять точную настройку, одновременно наблюдая за изображением образца и формой волны для настройки. In this case, it is very important to simultaneously display on the same CRT the wave form for adjustments and the image of specimen. In other words, the quality of the image as displayed may possibly be varied to a great extend even by a fine adjustment of the contrast, brightness or the like. It is thus required to carry out the fine adjustment by observing the specimen image and the wave form for adjustment at the same time. СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ SUMMARY OF THE INVENTION Таким образом, целью изобретения является создание устройства, которое может отображать форму волны, представляющую преобладающие состояния фокусировки, контраста и яркости, одновременно с изображением образца на одной и той же электронно-лучевой трубке. An object of the invention is therefore to provide an apparatus which can display a wave form representing the prevailing states of focus, contrast and brightness simultaneously with the image of specimen on one and the same cathode ray tube. В соответствии с изобретением предусмотрено средство для выполнения операции переключения в ответ на отклонение в направлении оси X ЭЛТ, чтобы подать электрический сигнал образца, полученный из информации об образце, на средство отклонения оси Y. Как известно, сканирование лицевой панели или экрана ЭЛТ осуществляется двумя видами отклоняющих средств. В данном документе средство отклонения на короткий период определяется как «средство отклонения по оси X или X», тогда как средство отклонения на длительный период определяется как «средство отклонения по оси Y или Y». According to the invention, a means is provided for performing a switching operation in response to the deflection in the X-axis direction of CRT so as to apply an electrical specimen signal derived from the specimen information onto the Y-axis deflecting means. As is know, the scanning of the face plate or screen of CRT is effected by two kinds of deflection means. Herein, the deflection means for a short period is defined as "X or X-axis deflection means", while the deflection means for a long period is defined as "Y or Y-axis deflection means". В варианте осуществления изобретения изображение образца и форма волны для настройки могут альтернативно создаваться любыми другими линиями сканирования. В другом варианте осуществления изобретения устройство может быть выполнено таким образом, что, когда отклонение в направлении оси Y достигает предварительно выбранного уровня или величины, можно использовать средства переключения для подачи информационного сигнала об образце к отклонению оси Y. означает, таким образом, отображать форму волны для регулировок. In an embodiment of the invention, the image of the specimen and the wave form for adjustment may be alternatively produced by every other ones of the scanning lines. In another embodiment of the invention, arrangement may be made such that, when the deflection in the Y-axis direction has attained a preselected level or amount, the switching means may then be operated to apply the specimen information signal to the Y-axis deflection means to thereby display the wave form for adjustments. Вышеупомянутые и другие цели, а также признаки и преимущества изобретения станут более очевидными при рассмотрении следующего описания предпочтительных вариантов осуществления изобретения. Описание ссылается на чертежи. The above and other objects as well as features and advantages of the invention will become more apparent by examining the following description of preferred embodiments of the invention. The description makes reference to the drawings. КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖА BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWING ИНЖИР. 1 представляет собой блок-схему варианта осуществления изобретения, примененного к сканирующему электронному микроскопу. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the invention applied to a scanning type of an electron microscope. ФИГ. 2А и 2В показаны схемы сканирования электронных лучей на образце и ЭЛТ для иллюстрации работы устройства, показанного на фиг. 1. FIGS. 2A and 2B show scanning patterns of electron beams on a specimen and CRT to illustrate the operation of the apparatus shown in FIG. 1. ФИГ. 3А и 3В представляют собой виды, аналогичные фиг. 2А и 2В и иллюстрируют работу модифицированного варианта осуществления. FIGS. 3A and 3B are similar views to FIGS. 2A and 2B and illustrate operation of a modified embodiment. ИНЖИР. 4 представляет собой блок-схему, показывающую основную часть другого варианта осуществления устройства отображения в соответствии с изобретением. FIG. 4 is a block diagram showing a main portion of another embodiment of a display apparatus according to the invention. ИНЖИР. 5 представляет собой принципиальную схему средства переключения, используемого в вариантах осуществления, показанных на фиг. 1 и 4. FIG. 5 is a schematic circuit diagram of a switching means useful in the embodiments shown in FIGS. 1 and 4. ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ ВАРИАНТОВ ВОПЛОЩЕНИЯ DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Теперь изобретение будет описано со ссылкой на примерный вариант осуществления, в котором изобретение применяется к электронному микроскопу сканирующего типа. Ссылаясь на фиг. 1, которая представляет собой блок-схему устройства сканирующего электронного микроскопа, воплощающего изобретение, электроны, испускаемые нитью накала 101, объединяются в электронный пучок с помощью конденсорных линз 103 и 105 и затем направляются на отклоняющие катушки 107 и 109. Затем электронный пучок проходит через линзу объектива 111 и падает на образец 113. Когда образец 113 бомбардируется первичными электронами таким образом, на поверхности образца 113 образуются отраженные электроны, вторичные электроны, рентгеновские лучи и катодная флуоресценция. В случае тонкого образца часть первичных электронов пройдет через него в соответствии с характеристиками образца. Может существовать некоторое количество электронов, которые поглощаются образцом. Таким образом, можно получить различную информацию в соответствии с характерными особенностями образца, который подвергается бомбардировке первичным электронным пучком. Now, the invention will be described with reference to an exemplary embodiment in which the invention is applied to an electron microscope of a scanning type. Referring to FIG. 1 which is a block diagram of the scanning electron microscope apparatus embodying the invention, electrons emitted from a filament 101 are bundled into an electron beam by means of condenser lenses 103 and 105 and then directed to deflection coils 107 and 109. The electron beam subsequently passes through an objective lens 111 and impinges upon a specimen 113. When the specimen 113 is bombarded by the primary electrons in this manner, reflected electrons, secondary electrons, X-rays and cathode fluorescence are produced from the surface of the specimen 113. In case the specimen is thin, some of the primary electrons will pass through it in accordance with characteristics of the specimen. There may exist some electrons which are absorbed by the specimen. In this way, various information can be obtained in correspondence with natures characteristic of the specimen which is bombarded with the primary electron beam. В связи с этим можно выборочно извлекать желаемую информацию для наблюдения с помощью соответствующего детекторного средства, способного преобразовывать результирующую информацию в соответствующие электрические сигналы. Устройство электронного микроскопа, воплощающее изобретение, позволяет визуально наблюдать любую из вышеперечисленных данных. Например, когда необходимо обнаружить вторичные электроны, средства обнаружения могут состоять из сцинтиллятора 121 и фотоумножителя 123. Сцинтилатор 121 имеет поверхность, покрытую напыленным металлом в виде тонкого слоя и приложенную к напряжению ок. +10кВ. Вторичные электроны, испускаемые образцом, притягиваются к сцинтиллятору 121 под действием вышеуказанного напряжения и электростатически ускоряются, чтобы столкнуться со сцинтиллятором 121, в результате чего последний возбуждается для испускания света, который затем воспринимается фотоумножителем 123 для преобразования в соответствующий электрический сигнал. Полученный таким образом сигнал подается на головку или предварительный усилитель 131 и основной усилитель 133. In this connection, it is possible to selectively take out desired ones of the information for observation by using an appropriate detector means which is capable of converting the resultant information into corresponding electrical signals. The electron microscope apparatus embodying the invention allows the visual observation of any one of the above information. When the secondary electrons are to be detected, for example, the detector means may be composed of a scintilator 121 and a photomultiplier 123. The scintilator 121 has a surface coated with an evaporated metal in a form of a thin layer and applied with voltage of ca. + 10kV. Secondary electrons emitted by the specimen are attracted toward the scintilator 121 under the influence of the above voltage and electrostatically accelerated to impinge on the scintilator 121, whereby the latter is excited to emit light which is then sensed by the photomultiplier 123 to be converted into a corresponding electric signal. The signal thus produced is supplied to a head or preamplifier 131 and a main amplifier 133. Усиленный таким образом информационный сигнал образца затем подается на вывод сетки электронно-лучевой трубки 143, предназначенный для записи фотокамерой, и вывод сетки другой электронно-лучевой трубки (ЭЛТ) 141 для контроля через контакты 135 и 137 переключателя. значит 165. Следует отметить, что на катоды этих электронно-лучевых трубок 141 и 143 подаются соответствующие сигналы гашения от генератора 185 сигналов гашения. Кроме того, выходные сигналы от генератора 151 сигнала X-сканирования и генератора 153 сигнала Y-сканирования соответственно подаются на отклоняющие катушки 181 и 183 ЭЛТ 141 и 143 посредством соответствующих усилителей 171, 173, 175, 177 возбуждения. Кроме того, эти сигналы сканирования подаются на отклоняющие катушки 107 и 109 электронного микроскопа через усилитель 127 отклонения по оси X и усилитель 129 отклонения по оси Y соответственно. The specimen information signal thus amplified is then applied to a grid terminal of a cathode ray tube 143 provided for the recording by a photographic camera and a grid terminal of another cathode ray tube (CRT) 141 for monitoring through contacts 135 and 137 of a switching means 165. It will be noted that cathodes of these cathode ray tubes 141 and 143 are applied with respective blanking signals from a blanking signal generator 185. Further, output signals from and X-scanning signal generator 151 and a Y-scanning signal generator 153 are, respectively, fed to deflection coils 181 and 183 of CRT 141 and 143 by way of associated driver amplifiers 171, 173, 175, 177. Additionally, these scanning signals are supplied to deflection coils 107 and 109 of the electron microscope through an X-deflection amplifier 127 and a Y-deflection amplifier 129, respectively. Генератор 161 импульсов реагирует на выходной сигнал генератора 151 сигнала X-сканирования, чтобы создать импульс для срабатывания триггера 163. Переключающее средство 165, как указано выше, будет реагировать на выходной сигнал триггера 163, тем самым переключая соединения между контактами 145 и 147, 135 и 137, 155 и 157 на соединения между контактами 145 и 149, 155 и 159 и 137. и 139 или наоборот. Далее замыкаются или размыкаются контакты 156 и 159. Следует отметить, что контакты 139, 149 и 159 подключены к переменным резисторам 195, 191 и 193 соответственно, на эти резисторы подается напряжение смещения от источника 167 питания постоянного тока. A pulse generator 161 responds to the output signal of the X-scanning signal generator 151 to produce a pulse for triggering a flip-flop 163. The switching means 165 as aforementioned will respond to the output signal from the flip-flop 163 to thereby change-over connections between contacts 145 and 147, 135 and 137 and 155 and 157 to connections between contacts 145 and 149, 155 and 159 and 137 and 139 or vice versa. Further, contacts 156 and 159 are closed or opened. It will be noted that the contacts 139, 149 and 159 are connected to variable resistors 195, 191 and 193, respectively, which resistors are applied with bias voltage from a direct current supply source 167. Далее, операции электронного микроскопа сканирующего типа, показанного на фиг. 1 будет описан. Следует понимать, что одним из применений сканирующего электронного микроскопа является фотографическая запись изображения образца. Для этого с помощью монитора ЭЛТ 141 осуществляют регулировку фокуса, яркости, контраста или подобных параметров, а изображение образца фотографирует фотокамера, установленная на ЭЛТ 143. Next, operations of the scanning type electron microscope apparatus shown in FIG. 1 will be described. It will be appreciated that one of the applications of the scanning electron microscope apparatus is to photographically record the image of specimen. To this end, adjustments of focus, brightness, contrast or the like parameters are performed with the aid of the monitor CRT 141, while the image of specimen is photographed by a photographic camera installed on the CRT 143. Электронный пучок, создаваемый нитью накала 101, отклоняется в направлениях X и Y с помощью отклоняющих катушек 107 и 109 и проецируется на образец 113. Отклоняющие катушки 107 и 109 питаются пилообразным током от генератора сигналов X-сканирования 151 и генератора сигналов Y-сканирования 153 через X- и Y-усилители 127 и 129, а также схемы увеличения 117 и 119, посредством чего образец можно сканировать электронным лучом как в направлении X, так и в направлении Y. Информация, такая как информация о вторичных электронах, полученная от образца благодаря сканированию электронным лучом, преобразуется в электрический сигнал, как описано выше, который, в свою очередь, подается на клеммы сетки ЭЛТ 141 и 143 для модуляции их яркости. Поскольку на катушки отклонения ЭЛТ 141 и 143 подаются сигналы от генератора 151 сигнала X-сканирования и генератора 153 сигнала Y-сканирования через усилители 171, 173 и 175, 177 драйвера, развертки, генерируемые в ЭЛТ 141 и 143, всегда синхронизирован с лучом электронов, сканирующим образец 113. The electron beam produced by the filament 101 is deflected in X- and Y-directions by means of the deflection coils 107 and 109 and projected to the specimen 113. The deflection coils 107 and 109 are supplied with saw-tooth current from the X-scanning signal generator 151 and the Y-scanning signal generator 153 through the X- and Y-amplifiers 127 and 129 as well as magnification circuits 117 and 119, whereby the specimen may be scanned with the electron beam both in the X- and Y-directions. The information such as that of secondary electrons obtained from the specimen due to the scanning by the electron beam is converted into electrical signal as hereinbefore described, which signal in turn is applied to the grid terminals of CRTs 141 and 143 for brightness modulation thereof. Since the deflection coils of CRTs 141 and 143 are applied with the signals from the X-scanning signal generator 151 and the Y-scanning signal generator 153 through the driver amplifiers 171, 173 and 175, 177, sweeps generated in CRTs 141 and 143 are always synchronized with that of the electron beam scanning the specimen 113. Соответственно, изображение может отображаться на передних экранах ЭЛТ 141 и 143 одновременно. Accordingly, the image can be displayed on the front screens of the CRTs 141 and 143 simultaneously. В ответ на сигнал сканирования по оси X генератор 161 импульсов и триггер 163 приводятся в действие, чтобы привести в действие средство 165 переключения. Более конкретно, для каждой строки сканирования контакт 145 переключается на контакт 149 из контакта 147, контакт 145 переключается на контакт 159 из положения 157 и контакт 137 переключается на контакт 139 из положения 135, при этом контакты 156 и 159 замкнуты и наоборот. Режим этой операции будет описан более подробно со ссылкой на фиг. 2А и 2В. In response to the X-axis scanning signal, the pulse generator 161 and the flip-flop 163 are actuated to bring about the operation of the switching means 165. More specifically, for every scanning line, the contact 145 is changed-over to the contact 149 from the contact 147, the contact 145 is switched to the contact 159 from 157 and the contact 137 is to the contact 139 from the position 135, while the contacts 156 and 159 are closed and vice-versa. The mode of this operation will be described in more detail with reference to FIGS. 2A and 2B. Когда растр а'1 проходит по передней пластине ЭЛТ 141 синхронно с растром а1 по образцу 113, различные подвижные контакты 137, 145 и 155 затем переключаются в положения, указанные пунктирными линиями, благодаря работа средства переключения 165. Поскольку к усилителю 129 оси Y прикладывается напряжение, заданное переменным резистором 191, электронный пучок будет охватывать поверхность образца в положении, соответствующем напряжению, полученному от переменного резистора 191. Это положение представлено растровой линией а2 на фиг. 2А. Информационный сигнал образца, полученный во время развертки растра а2, после усиления усилителями 131 и 133 подается на усилитель 173 формирователя Y1 через контакты 156, 159 и 155. Таким образом, положение соответствующего растра на экране ЭЛТ-монитора 141 в направлении оси Y определяется в зависимости от величины сигнала от основного усилителя 133. When a raster a'1 has been swept on the front plate of CRT 141 in sychronization with a raster a1 over the specimen 113, the various movable contacts 137, 145 and 155 are then changed-over to the positions indicated by dotted lines due to the operation of the switching means 165. Because the Y-axis amplifier 129 is applied with a voltage preset by the variable resistor 191, the electron beam will sweep the surface of specimen at the position corresponding to the voltage derived from the variable resistor 191. This position is represented by a raster line a2 in FIG. 2A. The specimen information signal as produced during the sweep of the raster a2 is, after having been amplified by the amplifiers 131 and 133, fed to the Y1 -driver amplifier 173 by way of the contacts 156, 159 and 155. In this manner, the position of the corresponding raster on the screen of the monitor CRT 141 in the direction of Y-axis is determined depending on the magnitude of the signal from the main amplifier 133. Поскольку выходной сигнал основного усилителя 133 должен быть подан на сетку ЭЛТ 141 с целью модуляции яркости отображаемого изображения образца 113, положение α. растра a'2 в направлении оси Y, показанном на фиг. 2В будет отображать яркость изображения образца, а другое смещение .бета. в направлении оси Y указывает на контрастность изображения образца. Когда передний край смещения или приращения .beta. резко возрастает, это означает, что электронный пучок правильно сфокусирован на образце 113. Если электронный луч не в фокусе, то передний край станет толще и нечетким. Since the output signal from the main amplifier 133 is to be applied to the grid of CRT 141 for the purpose of the brightness modulation of the displayed image of specimen 113, the position .alpha. of a raster a'2 in the Y-axis direction shown in FIG. 2B will represent the brightness of the specimen image as displayed, while another displacement .beta. in the Y-axis direction indicates the contrast of the specimen image. When the leading edge of the displacement or increment .beta. rises sharply, this means that the electron beam is properly focused on the specimen 113. If the electron beam is out of focus, then the raising edge will become thicker and obscure. При пролистывании растра а3 триггер 163 восстанавливается в исходное состояние с возвратом контактов коммутационных средств 165 в исходные положения, в результате чего пролистывается растр а'3 отображения изображения образца. на мониторе ЭЛТ 141. После этого такой процесс работы будет повторяться аналогичным образом. Upon sweeping of a raster a3, the flip-flop 163 is restored to the original state with the contacts of the switching means 165 returned to the starting positions, as a result of which a raster a'3 for displaying the image of specimen is swept on the monitor CRT 141. Such process of operation will thereafter be repeated in similar manner. В вышеприведенном описании первого варианта осуществления предполагалось, что форма волны для регулировки отображается для каждой второй строки растровой развертки с входом в усилитель оси Y 129 для отклонения электронного луча, который каждый раз смещается до заданных значений при управление коммутационными средствами 165. Другими словами, форма волны для облегчения регулировок отображается в соответствии только с информационным сигналом относительно образца в заданной конкретной его части. Однако следует понимать, что соединение между контактами 145 и 147 варианта осуществления, показанного на фиг. 1 не всегда обязательно заменяется. Усилитель 129 оси Y может непрерывно подавать на его вход напряжение пилообразной формы от генератора 153 сигнала сканирования оси Y. ФИГ. 3А и 3В иллюстрируют операцию отображения формы волны для регулировок в таком случае. In the above description of the first embodiment, it has been assummed that the wave form for adjustment is displayed for every other raster scanning line with the input to the Y-axis amplifier 129 for deflecting the electron beam being each time biased to predetermined values under the control of the switching means 165. In other words, the wave form for aiding the adjustments is displayed in accordance with only the information signal relative to the specimen at a predetermined specific portion thereof. It should, however, be appreciated that the connection between the contacts 145 and 147 of the embodiment shown in FIG. 1 is not always necessarily changed-over. The Y-axis amplifier 129 may be applied at the input thereof continuously with saw-tooth wave voltage from the Y-axis scanning signal generator 153. FIGS. 3A and 3B illustrate the operation for displaying the wave form for the adjustments in such case. Ссылаясь на фиг. 3А и 3В, электронный пучок, сканирующий поверхность образца, последовательно отклоняется так, чтобы сканировать вдоль растровых линий а1, а2, а3, а4, а5, а6 - ап в зависимости от времени, как показано на фиг. 3А. С другой стороны, сигнал от основного усилителя 133 альтернативно подается на сетку контрольной ЭЛТ 141 и усилитель 171 возбуждения для отклонения оси Y. Соответственно, изображение на лицевой стороне монитора CRT 141 может быть представлено, например, растровыми строками с нечетными номерами, такими как a'1, a'3, a'5, в то время как растровые строки с четными номерами, такими как а'2, а'4, а'6 составляют форму волны 10 для регулировки, как видно из фиг. 3Б. В этом случае следует отметить, что положения наклонов или передних кромок, такие как обозначенные цифрами 12 и 14 формы волны 10 для регулировок, будут варьироваться в зависимости от изменений в конкретной природе или характеристиках образца, поскольку положение сканирования электронного луча смещено по поверхности образца 113. Referring to FIGS. 3A and 3B, the electron beam scanning the surface of the specimen is successively deflected so as to scan along the raster lines a1, a2, a3, a4, a5, a6 - an as a function of time, as is shown in FIG. 3A. On the other hand, signal from the main amplifier 133 is applied, alternatively, to the grid of the monitoring CRT 141 and the driver amplifier 171 for the Y-axis deflection. Accordingly, the image on the display face of the monitor CRT 141 may be represented, for example, by the raster lines in odd numbers such as a'1, a'3, a'5, while the raster lines in even numbers such as a'2, a'4, a'6, compose the wave form 10 for adjustment, as can be seen from FIG. 3B. It will be noted in this case that the positions of the ramps or leading edges such as indicated by numerals 12 and 14 of the wave form 10 for the adjustments will be varied in dependence upon variations in the specific natures or characteristics of the specimen, since the scanning position of the electron beam is displaced over the surface of specimen 113. Пандусы 12, 14 и т.д. при этом кажутся наложенными друг на друга, что может создавать некоторые неудобства для наблюдения человеческим глазом по сравнению со случаем первого варианта осуществления. The ramps 12, 14, etc. then appear superposed on one another, which may give rise to some inconvenience for the observation by human eyes, as compared with the case of the first embodiment. Снова обратимся к первому варианту осуществления, показанному на фиг. 1, 2А и 2В, следует понимать, что положения линий сканирования а2, а4, а6, а8 и т. д. на поверхности образца 113 для создания изображения формы волны 10 для регулировок в мониторе ЭЛТ могут можно сместить, регулируя переменный резистор 191. Кроме того, яркость форм волны для регулировок можно изменять с помощью переменного резистора 195. В этом варианте изображение образца 113, а также форма волны для настройки отображаются одновременно на экране монитора ЭЛТ 141. В случае, если необходимо отрегулировать контраст, предпочтительно привести формы волн а'2, а'4, а'6, а'8 и т. д. в положения, соответствующие линиям развертки а2, а4, а6. , а8 и т.д. относительно образца. В связи с этим возможно смещение позиций отображения форм волны 10 для регулировок с помощью переменного резистора 193. Turning again to the first embodiment illustrated in FIGS. 1, 2A and 2B, it will be understood that the positions of the scanning lines a2, a4, a6, a8, etc. on the surface of the specimen 113 for producing the image of wave form 10 for the adjustments in the monitor CRT may be displaced by regulating the variable resistor 191. Further, the brightness of the wave forms for the adjustments may be varied by means of the variable resistor 195. In this embodiment, the image of specimen 113 as well as the wave form for adjustment are displayed simultaneously over the screen of the monitor CRT 141. In case the contrast is to be adjusted, it is preferred to bring the wave forms a'2, a'4, a'6, a'8, etc. to the positions corresponding to those of the scanning lines a2, a4, a6, a8, etc. relative to the specimen. In this connection, it is possible to displace the display positions of the wave forms 10 for adjustments by means of the variable resistor 193. ИНЖИР. 4 показана модификация варианта осуществления, показанного на фиг. 1, где аналогичные компоненты обозначены одинаковыми ссылочными позициями. Устройство, показанное на фиг. 4 отличается от показанного на фиг. 1 тем, что дополнительно предусмотрены логический элемент И 201, переменный резистор 203 и компаратор 205. FIG. 4 shows a modification of the embodiment shown in FIG. 1, wherein similar components are indicated by like reference symbols. The arrangement shown in FIG. 4 is different from that of FIG. 1 in that an AND gate 201, a variable resistor 203 and a comparator 205 are additionally provided. Следует напомнить, что в случае варианта осуществления, показанного на фиг. 1, формы волны 10 для корректировок создаются в соответствии со всеми остальными строками сканирования образца. Например, изображение образца отображается нечетным числом строк сканирования, а формы сигналов для корректировок создаются четным числом строк сканирования. Таким образом, изображение образца подвергается некоторому ухудшению качества. Таким образом, будет выгодно предусмотреть отображение только изображения образца до тех пор, пока не будет достигнуто заданное положение. Для этого на компаратор 205 подается заданное напряжение на его вход с переменного резистора 203, а на другой вход компаратора 205 подается выходной сигнал генератора 153 сигналов Y-сканирования. Пока выходной сигнал генератора сигнала Y-сканирования остается на более низком уровне, чем уровень напряжения, установленный переменным резистором 203, компаратор 205 не будет выдавать выходной сигнал, в результате чего логический элемент И 201 также остается в неактивном состоянии. -проводящее состояние. It will be recalled that, in case of the embodiment shown in FIG. 1, the wave forms 10 for adjustments are produced in correspondence with every other scanning lines for the specimen. For example, the image of specimen is displayed by odd numbers of scanning lines, while the wave forms for adjustments are produced by even numbers of scanning lines. The image of specimen is therefore subjected to some deterioration in quality thereof. It will thus be advantageous to make provisions for displaying only the image of specimen until a predetermined position has been reached. To this end, the comparator 205 is applied with a predetermined voltage at an input thereof from the variable resistor 203, while the other input of the comparator 205 receives the output from the Y-scanning signal generator 153. So long as the output from the Y-scanning signal generator remains at a lower level than the voltage level set by the variable resistor 203, the comparator 205 will produce no output, as a result of which the AND gate 201 also remains in the non-conductive state. Соответственно, средство 165 переключения не приводится в действие. Accordingly, the switching means 165 is not actuated. Когда линия сканирования смещается в направлении оси Y, выходной сигнал генератора 153 сигналов Y-сканирования постепенно увеличивается. В то время, когда выходное напряжение генератора 153 становится больше, чем заданное напряжение переменного резистора 203, компаратор 205 формирует выходной сигнал, который, в свою очередь, открывает логический элемент И 201, посредством чего импульсный сигнал от генератора импульсов 161 подается. к триггеру 163. Затем средство 165 переключения реагирует на выходной сигнал триггера 163, и форма волны 10 для регулировок теперь может отображаться способом или описанным со ссылкой на фиг. 1. В качестве альтернативного способа достижения по существу такого же эффекта можно использовать счетчик (не показан) для подсчета количества строк сканирования. Когда содержимое счетчика достигает заданного значения, логический элемент И 201 тем самым открывается для управления переключающим средством 165 через триггер 163. As the scanning line is displaced in the direction of Y-axis, the output from the Y-scanning signal generator 153 is progressively increased. At the time when the output from the generator 153 becomes greater than the preset voltage from the variable resistor 203, the comparator 205 will produce an output signal which in turn opens the AND gate 201, whereby the pulse signal from the pulse generator 161 is applied to the flip-flop 163. The switching means 165 then responds to the output from the flip-flop 163 and the wave form 10 for adjustments now can be displayed in the manner or described with reference to FIG. 1. As an alternative method to accomplish substantially the same effect, a counter (not shown) may be employed for counting the number of the scanning lines. When the contents of the counter reaches a predetermined value, the AND gate 201 is thereby opened to operate the switching means 165 through the flip-flop 163. Хотя средство 165 переключения, а также связанные с ним контакты могут состоять из устройства электромагнитного реле, предпочтительно использовать аналоговые переключатели, такие как полевые транзисторы (FET). ИНЖИР. 5 в качестве примера показано расположение средств переключения, состоящих из полевых транзисторов. Пока на триггер 163 не подается входной сигнал, его выход сброса Q будет создавать проводящие пути между контактами 135 и 137, 147 и 145, а также 157 и 155. Входной сигнал триггера 163 образует токопроводящие пути между контактами 139 и 137, 149 и 145 и 159 и 155, при этом контакт 156 одновременно соединен с контактом 159. Другой ввод триггера 163, конечно же, сбросит триггер в начальное состояние, создав выходной сигнал Q. Although the switching means 165 as well as the associated contacts may be composed of an electromagnetic relay device, it is preferable to use analogue switches such as field effect transistors (FET). FIG. 5 shows exemplarily an arrangement of the switching means constituted by the field effect transistors. While no input is applied to the flip-flop 163, the reset output Q thereof will make conducting paths between the contacts 135 and 137, 147 and 145, and 157 and 155. An input to the flip-flop 163 will then form conducting paths between the contacts 139 and 137, 149 and 145, and 159 and l55, with the contact 156 connected to the contact 159 at the same time. Another input to the flip-flop 163 of course will reset the flip-flop to the starting state producing Q output. Как описано выше, аналоговые переключатели 251, 253, 255, 261, 263, 265 и 267 могут состоять из полевых транзисторов. Эти переключатели коммерчески доступны в виде интегральных схем, включающих в себя соответствующие полевые транзисторы и усилители в комбинации. As above described, analogue switches 251, 253, 255, 261, 263, 265 and 267 may be composed of FET. These switches are commercially available as integrated circuits incorporating therein respective FETs and amplifiers in combination. Как следует из вышеприведенного описания, согласно изобретению изображение образца отображается на ЭЛТ-мониторе вместе с волновыми формами для облегчения корректировок при фотографировании изображения на ЭЛТ-камере, что облегчает и упрощает любые требуемые корректировки. После выполнения регулировки средство переключения может быть приведено в действие для отображения, таким образом, только изображения образца. As is apparent from the foregoing description, according to the invention, the image of specimen is displayed on the monitor CRT together with wave forms for aiding adjustments in photographing the image on the CRT for camera, which facilitate and simplify any desired adjustments. After the adjustment has been made, the switching means may be made in operative to thereby display only the image of specimen. Хотя изобретение было описано со ссылкой на предпочтительные варианты осуществления, специалистам в данной области техники следует понимать, что они являются просто примерами, иллюстрирующими принцип изобретения, и многие модификации, а также выбор конструкции могут быть сделаны без отклонения от сути. сущность и объем изобретения. While the invention has been described with reference to preferred embodiments, it should be appreciated to those skilled in the art that they are merely examples to illustrate the principle of the invention and many modifications as well as choices in design may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

Please, introduce the following text in the box below Correction Editorclose