ОПКЕБ_2015_Novaya_metodichka

Если все используемые слои не помещаются на страницу, можно ее перелистнуть при помоши клавиши <PgDn>. Выход из режима по клавише <Esc>.

"Установка цвета слоев". В процессе редактирования можно изменить цвет отображаемых слоев. Для заказа цвета слоев необходимо нажать клавишу <F5> и

войти в режим "Слои". Маркер находится в столбце с информацией о слоях. Внизу под столбцом светится увеличенный закрашенный квадрат цвета, которым отображается данный слой. Подводя маркер к нужному номеру слоя и просматривая с помощью клавиши <PgUp> различные цвета, можно выбрать для него необходимый цвет. Выход из режима по клавише <Esc>. Данная команда может использоваться как самостоятельная (в этом случае изменить цвет можно только у активных и видимых слоев), так и с любой из команд "Активные слои", "Видимые слои", "Используемые слои".

"Установка типа линии". В процессе редактирования можно изменить тип линии для отображаемых слоев. Для этого необходимо нажать клавишу <F6> и

выйти в режим "Слои". Маркер находится в столбце с информацией о слоях. Под столбцом светится увеличенная линия цвета и типа, которыми отображается данный слой. Подводя маркер к нужному слою и просматривая с помощью клавиши <PgUp> различные линии, можно выбрать необходимый тип для данного слоя. Выход из режима по клавише <Esc>.

Эта команда может использоваться как самостоятельная (в этом случае изменить тип линии можно только у активных и видимых слоев), так и с любой из команд "Активные слои", "Видимые слои", "Используемые слои".

"Переключение автоупреждения". При построении таких фигур, как шина,

полигон (многоугольник) и прямоугольник, возможно автоматическое упреждение их размеров. Ключом этого режима является клавиша <'>. Повторное нажатие клавиши приводит к выключению режима автоупреждения. Величина упреждения задается на сторону в графе "Минимальное внешнее расстояние" в таблице "Слой– расстояние". Если автоупреждение включено, в зоне подсказки на экране рядом с сеткой светится белая буква "A".

41

"Переключение постоянного базового счетчика". Эта операция пассивна,

т.е. ее можно вызвать в любой момент. Включение и выключение счетчика осуществляются нажатием клавиши <6> на основной клавиатуре. Постоянный базовый счетчик действует во время ввода шины, прямоугольника, полигона,

наклонного прямоугольника, жгута, резистора и во время модификации фигур.

Постоянный базовый счетчик после указания очередной точки фигуры отсчитывает показания на цифровом индикаторе, принимая эту точку за начало координат. Если происходит работа по команде "Возврат", то при включенном постоянном базовом счетчике за начало координат берется последняя построенная точка фигуры. Если включение постоянного базового счетчика происходит во время работы одной из команд ввода фигур или редактирования, то работа счетчика начинается после указания первой точки или использования команды

"Возврат". Выключение постоянного базового счетчика сразу приводит к переходу в истинные координаты. Если он включен, в зоне подсказки на экране рядом с сеткой светится белая буква "В".

"Временный базовый счетчик". Эта операция пассивна, вызывается клавишей <5> на основной клавиатуре. После активизации команды ожидается прием точки, которая будет использована как начало координат. Ввод второй точки приводит к возвращению в истинные координаты. Если временный счетчик был включен во время любой операции, ожидающей ввода точки, то вторая точка будет использована как точка, заданная пользователем.

"Счетчик". Команда предназначена для измерения расстояния между двумя отмеченными точками, инициируется нажатием клавиши <0> на основной клавиатуре. Клавишей <Enter> отмечаются две точки, расстояние между которыми хотим определить. После ввода первой точки на экране появляется "резиновая нить", показывающая начало и конец отрезка. После ввода второй точки на экране появляется сообщение "X: (0,1мкм) Y: (0,1 мкм) ДЛ: (0,1 мкм)".

По команде "Счетчик" можно измерять расстояние при любой инициированной команде редактирования и построения фигур. По окончании измерения нажать клавишу <Esc>.

42

«Смена угла наклона "резиновой нити"». "Резиновая нить" может иметь три угла наклона к осям координат:

–под любым углом;

–под прямым углом;

–под углом 45 град.

Команда инициируется нажатием клавиши <4> на основной клавиатуре.

Различные углы наклона "резиновой нити" используются для более точного и удобного измерения отрезков по команде "Счетчик". При угле наклона 90 и 45

град. расстояние между точками измеряется от точки привязки до точки излома

"резиновой нити".

"Смена режима ввода фигуры". Многоугольник и шину можно строить точно и приближенно. Для приближенного построения фигуры нажимаем клавишу < H >. В этом случае максимальный угол отклонения вводимой точки от указанных разрешенных направлений составляет 22.5 град. В зоне подсказки на экране рядом с текущим значением сетки светится белая буква "Т", если используется точный ввод фигуры, и "П", если ввод фигуры приближенный.

"Смена способа отбора реперной точки при операциях сдвига и

копирования". При операциях сдвига и копирования возможно использование двух способов выбора реперной точки:

1. Точка должна являться точкой излома одной из фигур, отобранных для сдвига и копирования. В этом случае при отборе реперной точки включается команда "Область", на экране после ввода первой точки появляется "резиновый"

прямоугольник. Необходимо областью указать точку излома одной из фигур,

подлежащих сдвигу или копированию.

2. Точка может не являться точкой излома фигуры и находиться в любом месте чертежа. В этом случае для отбора реперной точки следует просто указать точку в нужном месте топологии.

При входе в редактор инициирован второй способ отбора реперной точки.

Для смены способа необходимо нажать клавишу < [ >.

43

"Расширение графической зоны". Если Вы не нуждаетесь в визуальной информации об активных и видимых слоях, можете расширить графическую зону редактора. Команда инициируется нажатием клавиши <F4>. Повторное нажатие клавиши выводит визуальную информацию об активных и видимых слоях.

"Прорисовка на экране фигур, не попавших в рабочую область". При

работе с очень большими файлами, не помещающимися в ОЗУ, если фрагмент файла выделен в рабочую область для редактирования, на экране прорисовываются только фигуры, попавшие в рабочую область и доступные для редактирования. Если необходимо посмотреть информацию, не попавшую в рабочую область, следует нажать клавишу < ; >. В этом случае при регенерации изображения будут прорисовываться фигуры, попавшие и не попавшие в рабочую область. Повторное нажатие клавиши убирает прорисовку фигур.

"Возврат". В процессе описания многоугольника и шины (до нажатия клавиши <Esc>) можно вернуться на шаг назад по команде "Возврат" (клавиша < ~ >). Эта команда может применяться несколько раз вплоть до возврата в начальную точку описываемой фигуры.

"Отмена в режиме ввода фигур". Если при вводе фигуры, выборе фигуры или другом активном режиме редактирования Вы хотите отказаться от данного режима, пользуйтесь командой "Отмена". Команда инициируется нажатием клавиши </>.

"Запись файла". Команда инициируется нажатием клавиши <F>. При этом на экране появляется запрос "Имя схемы: TEST.SCE". Если данное имя схемы устраивает, необходимо нажать клавишу <Enter>, в противном случае следует задать новое имя схемы и, если необходимо, указать путь к другому каталогу на диске или другому диску.

"Выход из задачи без записи". Для экстренного выхода из задачи без записи результатов сеанса редактирования используется клавиша <F10>.

2.2. Команды управления изображением

44

Эта группа команд предназначена для управления изображением на экране

(сдвиг, увеличение или уменьшение масштаба, центрирование и т.д.) без активного изменения реального изображения фрагментов топологии.

"Центр". Эта команда центрирует фрагмент изображения на экране в точке,

которая предварительно указывается клавишей <Enter>. Команда "Центр"

применяется для эффективного использования поля экрана . Инициируется нажатием клавиши <пробел>.

"Центр увеличения". По действию эта команда аналогична команде

"Центр". Изображение центрируется в точке, предварительно указанной клавишей

<Enter>, и увеличивается до масштаба, при котором становится различим шаг маркера при текущем значении сетки. Величина шага маркера задается по команде

"Шаг маркера" (в пределах от 1 до 4) . При повторном использовании команды

"Центр увеличения" изображение возвращается в координаты, из которых была подана команда первый раз. Клавиша <7>.

"Окно увеличения". По действию команда аналогична команде "Центр увеличения" и также используется для быстрого выхода в определенную зону топологии. Клавиша <8>.

"Сдвиг изображения" – команда, позволяющая пере-двигать изображение на экране в восьми направлениях. За один раз можно максимально передвинуть изображение на величину, равную 6/4 частям экрана. При инициировании команды клавишей <9> в центре экрана высвечивается подсказка в виде ортогональных осей, разделенных на 6 частей, шаг маркера автоматически становится равным 1/4

части оси. Далее клавишей <Enter> отмечаем направление и величину сдвига, и

изображение сдвигается.

"Увеличение изображения". Команда увеличивает масш-

таб изображения на экране равномерно во все стороны. Многократное последовательное использование этой команды позволяет увеличить изображение в 3000 раз относительно минимального. Клавиша < > >.

"Уменьшение изображения". Команда уменьшает масштаб изображения на

экране. Клавиша < < >.

45

2.3.Команды ввода фигур

Вредакторе имеются команды ввода следующих фигур: прямоугольника,

наклонного прямоугольника под углом 45 град. и под любым углом, шины, жгута,

круга, кольца, контурного текста, векторного текста, экспозиции.

Ввод фигур осуществляется одновременно во всех активных слоях. В

процессе ввода фигур производится их контроль на минимальную ширину. Если ширина фигуры оказывается меньше допустимой для данного слоя, то выдается диагностическое сообщение, но ввод фигуры разрешается. Если же минимальная ширина фигуры меньше 0.4 мкм, то ввод такой фигуры не разрешается. Для исправления ошибочных действий во время ввода фигур можно пользоваться командами "Отмена" (клавиша </>) или "Возврат" (<~>). Описание фигур элементов топологии производится указанием (клавишей <КЛ_Л>) характерных точек фигуры, определяющих ее геометрию. Процесс описания элементов топологии может быть отменен по команде "Отмена" или любой другой команде редактирования элемента ("Сдвиг", "Удалить" и т.д.).

При построении многоугольника и шины на экране высвечивается подсказка разрешенных направлений построения этих фигур. Многоугольник и шину можно строить точно и приближенно. Если фигуру нужно построить приближенно,

нажимаем клавишу <H>. Максимальный угол отклонения указываемой точки от указанных разрешенных направлений составляет 22.5 град.

Для построения фигур с автоматическим упреждением размеров служит режим автоупреждения. Он применяется при построении шины, полигона и прямоугольника. Ключом режима автоупреждения является символ < ' >. Размер упреждения задается по минимальному внешнему расстоянию (клавиша <E>) в

таблице "Слой–расстояние". Величина автоупреждения задается на сторону. При повторном нажатии клавиши <'> получаем выключение автоупреждения.

"Ввод прямоугольника" является самой простой командой редактирования. Для ввода прямоугольника редактору необходимо указать две диагональные точки. После нажатия клавиши <0> на цифровой клавиатуре необходимо установить курсор в точку, где должна находиться вершина

46

прямоугольника, и нажать клавишу <Enter> (клавишу <КЛ_Л>). При этом возникает курсор типа "резиновый" прямоугольник, у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. Затем курсор устанавливается в точку на противоположном конце диагонали прямоугольника и повторяется команда

<Enter>. После ввода второй точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы, на экране появляется изображение прямоугольника и редактор ожидает ввода первой точки нового прямоугольника (т.е. функция ввода прямо-

угольников остается инициализированной).

"Ввод наклонного прямоугольника под углом 45 град."

Инициализируется команда нажатием клавиши <1> на цифровой клавиатуре.

Допускается ввод прямоугольников, наклоненных только под углом 45 град.

Курсор устанавливают в точку, где должна находиться вершина наклонного прямоугольника, и нажимают клавишу <Enter> (клавишу <КЛ_Л>). При этом возникает курсор типа "резиновый" наклонный прямоугольник, у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. Затем курсор устанавливают в точку на противоположном конце диагонали наклонного прямоугольника и повторно нажимают клавишу <Enter>. После ввода второй точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы, на экране сразу появляется изображение прямоугольника и редактор ожидает ввода первой точки нового наклонного прямоугольника (т.е. функция ввода прямоугольников остается инициализированной).

"Ввод наклонного прямоугольника под любым углом". Инициализация данной функции осуществляется нажатием клавиши <End> на дополнительной клавиатуре. Курсор устанавливают в точку, где должна находиться вершина наклонного прямоугольника, и нажимают клавишу <Enter> (клавишу <КЛ_Л>).

При этом возникает курсор типа "резиновая нить", у которого один угол зафиксирован в положении первой точки. Необходимо указать ширину прямоугольника (вторую точку). После этого возникает курсор типа "резиновый"

наклонный прямоугольник, у которого один угол зафиксирован в положении

47

первой точки, второй – в положении второй точки. После ввода третьей точки прямоугольник включается в топологию редактируемой группы и на экране сразу появляется изображение прямоугольника. После ввода третьей точки редактор ожидает ввода первой точки нового наклонного прямоугольника (т.е. функция ввода прямоугольников остается инициализированной).

"Ввод полигона". Для ввода полигона надо указать все точки – вершины полигона. Инициализация функции осуществляется нажатием клавиши <3> на цифровой клавиатуре. Курсор устанавливают в точку, где должна находиться одна из вершин полигона, и нажимают клавишу <Enter> (клавишу <КЛ_Л>). На месте введенной точки появятся разрешенные направления построения сторон. После этого необходимо, последовательно устанавливая курсор в точки – вершины полигона, указать все вершины (клавишей <Enter>). Последняя вершина должна совпадать с первой (т.е. первая вершина указывается дважды – в начале и в конце ввода многоугольника) или лежать на одной прямой. Закончить ввод вершин полигона необходимо нажатием клавиши <Esc> (клавиши <КЛ_П>. После этого полигон проверяется на отсутствие острых углов и пересечение сторон в теле фигуры . Если он их не содержит, то включается в топологию редактируемой группы, если нет, то выдается диагностическое сообщение. Необходимо, пользуясь командой "Возврат", отменить требуемое количество точек и ввести их снова.

Можно также отказаться от ввода (исправления) полигона командой "Отмена".

Команда "Возврат" позволяет отказаться от одной или нескольких последних точек полигона в процессе его ввода. После команды "Конец" (если полигон введен корректно и занесен в описание топологии) воспользоваться командами "Отмена"

и "Возврат" уже невозможно. После включения полигона в описание топологии редактор ожидает ввода первой точки нового полигона .

"Ввод круга". Режим ввода круга инициализируется нажатием клавиши <J>.

Необходимо указать центр круга, после этого появляется маркер типа "резиновая нить" с одним концом, закрепленным в центре круга. Введя вторую точку,

указываем радиус круга, и после этого на экране формируется круг. Минимальный допустимый радиус круга 5 мкм.

48

"Ввод кольца". Команда инициализируется нажатием клавиши < Z >.

Указываются три точки: центр кольца, внутренний и внешний радиусы (порядок указания радиусов не существенен). После задания центра круга появляется маркер типа "резиновая нить" с одним концом, закрепленным в центре круга.

После ввода второй точки на экране появляются контур окружности,

соответствующей заданному радиусу, и маркер типа "резиновая нить",

закрепленный в центре кольца. После ввода третьей точки на экране формируется

кольцо. Минимальный допустимый внешний радиус кольца 5 мкм.

"Ввод контурного текста". Команда инициализируется нажатием клавиши

< T >. Для ввода контурного текста следует указать точку привязки текста и

необходимую ориентацию. После этого в строке подсказки светится запрос

"Высота текста (0.1 мкм): 50".

Необходимо задать требуемую высоту контурного текста. Минимальная высота 5 мкм, расстояние между строками при данной высоте текста 1.4 мкм. Если Вас устраивает заданная высота, необходимо нажать клавишу <Enter>. При задании новой высоты контурного текста расстояние между строками увеличивается пропорционально высоте. Затем в строке с подсказкой "Текст"

необходимо набрать вводимый текст и нажать клавишу <Enter>, после чего заданный текст будет прорисован на экране и можно будет вводить следующую строку. Если вы вводите пустую строку или отказываетесь от ввода текста клавишей <Esc>, редактор ожидает ввода новой точки привязки контурного текста.

В тексте могут быть использованы буквы русского и латинского алфавитов,

строчные и прописные буквы, цифры, служебные символы. Действия с символами контурного текста аналогичны действиям с фигурами, т.е. их можно деформировать, модифицировать, копировать, сдвигать и т.д. Символы контурного текста появляются в активных слоях.

"Ввод экспозиции". Команда инициализируется нажатием клавиш <Alt + Z>. По этой команде в диалоговом режиме прямоугольник описывается в системе координат кристалла. После инициализации режима в строке подсказки появляется строка X: 0 Y: 0 Ш(W): 3000 В(H): 4 Уг(A): 0, где X, Y – координаты центра

49

тяжести прямоугольника; H – высота прямоугольника; W – ширина прямоугольника; A – угол наклона к оси X.

Для задания координат X, Y, ширины, высоты, угла наклона, необходимо нажать соответственно клавиши <X>, <Y>, <W>, <H>, <A>. Для построения заданной экспозиции необходимо нажать клавишу <P>, и прямоугольник будет включен в топологию и прорисован на экране. Для выхода из режима построения экспозиции необходимо нажать клавиши <Esc> или <Отмена>.

П р и м е ч а н и е. Угол задается в единицах по 0.1, т.е. 45 град. задается как число 450. Угол не должен превышать 89.9 град.; для угла больше 90 град.

необходимо значения ширины W и высоты H поменять местами.

2.4.Команды идентификации

Кэтой группе относятся команды "Отбор", "Область", "Секущая область", "Идентификация ссылок". Эти команды позволяют осуществить операции активного редактирования над определенной фигурой или группой фигур.

"Отбор" Команда идентифицирует элементы клавишей <Enter> во всех слоях. После указания элементов необходимо нажать клавишу <Esc>. Выбранные фигуры отображаются на экране белым цветом. Если некоторая точка (по команде

"Отбор") принадлежит нескольким фигурам, то все эти фигуры будут идентифицированы. Команда инициируется нажатием клавиши < 4 > на цифровой клавиатуре.

"Область". Команда идентифицирует фигуры, полностью принадлежащие прямоугольнику (обозначается пунктирной линией), отмаркированному двумя точками. Команда инициируется нажатием клавиши < 2 > на цифровой клавиатуре.

"Секущая область". Команда идентифицирует фигуры, контур которых частично или полностью попадает в прямоугольник (обозначается пунктирной линией), отмаркированный двумя точками. Команда инициируется нажатием клавиши < 6 > на цифровой клавиатуре.

2.5. Команды редактирования

"Удаление". Команда стирает идентифицированные фигуры в активных слоях. Инициируется нажатием клавиши <Delete>. В строке подсказки появляется

50