Инструкция по программе Nova

Глава 16. Вкладка «Litho»

	Select	Выбрать объект. Выбранный объект выделяется белым цветом.
		Несколько объектов выбираются с нажатой клавишей <Ctrl>.
		Выбранные объекты можно перемещать, нажав левую клавишу
		мыши и перемещая курсор.
	Rotate	Вращает выбранные объекты. Несколько объектов выбираются
		с нажатой клавишей <Ctrl>. Выбранные объекты можно
		вращать, нажав левую клавишу мыши и перемещая курсор
	Move All	Перемещение всего шаблона как единого целого
		Запрет редактирования выделенного объекта.
	Lock Transform
		Отобразить/скрыть сетку
	Show Grid
		При нажатой кнопке, объекты перемещаются в поле шаблона
	Snap to Grid	по узлам сетки.

1-113

ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ

17. Вкладка «NanoFab»

Вкладка NanoFab предназначена для управления следующими частями НаноФаб 100:

−манипулятор установки зондовых головок (СЗМ камера);

−системы подвода (СЗМ камера, ФИП камера);

−карусель зондовых головок (камера зондов);

−манипулятор замены зондовых головок (камера зондов);

−координатные столы (СЗМ камера, ФИП камера).

Вкладка NanoFab открывается кнопкой на Панели основных операций.

Панель управления	Панель управления
пьезоприводами СЗМ камеры	каруселью зондовых головок

Панель управления	Панель выбора	Панель управления
пьезоприводами	координатного стола	манипулятором замены
ФИП камеры		зондовых головок
	Рис. 17-1. Вкладка NanoFab

1-114

Глава 17. Вкладка «NanoFab»

Вкладка NanoFab (см. Рис. 17-1) содержит следующие элементы:

−Панель управления пьезоприводами СЗМ камеры (см. п. 17.1 на стр. 1-115);

−Панель управления пьезоприводами ФИП камеры (см. п. 17.2 на стр. 1-120);

−Панель управления каруселью зондовых головок(см. п. 17.3 на стр. 1-120);

−Панель управления манипулятором замены зондовых головок

(см. п. 17.4 на стр. 1-124);

−Панель выбора координатного стола (см. п. 17.5 на стр. 1-126).

В левом нижнем углу вкладки Nanofab имеется кнопка , открывающая диалоговое окно AQ Settings. В диалоговом окне AQ Settings можно изменять параметры, управляющие работой пьезоприводов (см. п. 17.6 на стр.1-132).

Набор элементов вкладки NanoFab зависит от конфигурации НТК.

17.1.Панель управления пьезоприводами СЗМ камеры

Рис. 17-2. Панель управления пьезоприводами СЗМ камеры

В верхней части панели управления пьезоприводами СЗМ камеры расположена панель PROBE MOTORS, при помощи которой осуществляется управление манипулятором установки зондовых головок:

1-115

ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ

Табл. 17-1. Элементы панели SPM-Chamber Movers

PROBE MOTORS Панель управления манипулятором установки зондовых головок

Поворот зондовой головки по часовой стрелке на 45º (используется пьезопривод вращения).

Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием

кнопки . Количество шагов пьезопривода,

соответствующее повороту на 45º, задается в диалоговом окне AQ Settings параметром 45 Degrees StepCount

(см. п. 17.6 на стр. 1-132).

Повернуть зондовую головку против часовой стрелки на 45º (используется пьезопривод вращения). Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на

клавиатуре либо повторным нажатием кнопки .

Количество шагов, соответствующее повороту на 45º, задается в диалоговом окне AQ Settings параметром

-45 Degrees StepCount (см. п. 17.6 на стр. 1-132).

Повернуть зондовую головку в направлении по часовой стрелке (используется пьезопривод вращения) на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо еще раз нажав кнопку

.

Повернуть зондовую головку в направлении против часовой стрелки (используется пьезопривод вращения) на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре, либо повторным нажатием кнопки .

Втянуть шток манипулятора установки зондовых головок в сканер (используется пьезопривод линейного перемещения). Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо еще раз нажав

кнопку .Количество шагов пьезопривода

задается в диалоговом окне AQ Settings параметром

SetProbe StepCounts (см. п. 17.6 на стр. 1-132).

1-116

Глава 17. Вкладка «NanoFab»

Выдвинуть шток манипулятора установки зондовых головок (используется пьезопривод линейного перемещения). Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо еще раз нажав

кнопку . Количество шагов пьезопривода

задается в диалоговом окне AQ Settings параметром

GetProbe StepCounts (см. п. 17.6 на стр. 1-132).

Втянуть шток манипулятора установки зондовых головок (используется пьезопривод линейного перемещения) на расстояние, заданное количеством шагов пьезопривода (параметр Steps). Остановить работу пьезопривода можно,

нажав клавишу <Esc> на клавиатуре, либо кнопку .

Выдвинуть шток манипулятора установки зондовых головок (используется пьезопривод линейного перемещения) на расстояние, заданное количеством шагов пьезопривода (параметр Steps). Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре,

либо кнопку .

Поле ввода числа шагов пьезопривода.

Если флажок установлен, работа пьезопривода осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу пьезопривода. Если флажок не установлен, работа пьезопривода осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы пьезопривода пользователем.

Остановить работу пьезопривода можно, клавишей <Esc> на клавиатуре, либо кнопкой, которой была инициирована работа.

SAMPLE MOTORS Панель управления системой подвода

Список выбора способа подвода образца.

Large Sample – подвод образцов больших размеров. Используются пьезоприводы М1, М2, М3 (см. Рис. 17-3).

Small Sample – подвод малоразмерных образцов. Используется пьезопривод МC (см. Рис. 17-3).

Начать	процедуру	подвода	образца.
Параметры	подвода задаются	в диалоговом окне
AQ Settings (см. п. 17.6 на стр. 1-132).

1-117

ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ

Остановить процедуру подвода образца.

Остановить процедуру подвода образца также можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре, либо кнопку

.

Переместить образец вверх на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре

либо повторным нажатием кнопки .

*ВНИМАНИЕ! При установленном флажке Until Esc есть опасность повредить образцом измерительную головку.

Переместить образец вниз на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре

либо повторным нажатием кнопки .

Поле ввода числа шагов пьезопривода.

Поле ввода частоты сигнала, подаваемого на пьезопривод (задает частоту отработки шагов пьезопривода при

нажатии кнопок , ).

Поле ввода амплитуды сигнала, подаваемого на пьезопривод (задает величину шага пьезопривода).

Если флажок установлен, работа пьезопривода осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу пьезопривода.

Если флажок не установлен, работа пьезопривода осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы пьезопривода пользователем.

Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа.

Открыть диалоговое окно Motors Scheme (см. Рис. 17-3). В диалоговом окне Motors Scheme расположены элементы, при помощи которых осуществляется управление работой пьезоприводами СЗМ камеры и ФИП камеры.

1-118

Глава 17. Вкладка «NanoFab»

Пьезоприводы М1, М2 и М3 обеспечивают вертикальное перемещение образцов больших размеров. Каждый из пьезоприводов может включаться независимо, что позволяет выравнивать образец в горизонтальной плоскости для исключения наклона при сканировании.

Пьезопривод МС обеспечивает вертикальное перемещение малоразмерных образцов.

Рис. 17-3. Диалоговое окно Motors Scheme

Табл. 17-2. Элементы диалогового окна Motors Scheme

Переместить образец вверх на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки

.

Переместить образец вниз на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на

клавиатуре либо повторным нажатием кнопки .

Поле ввода числа шагов пьезопривода.

1-119

ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ

Если флажок установлен, работа пьезопривода осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу пьезопривода. Если флажок не установлен, работа пьезопривода осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы пьезопривода пользователем.

Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа.

Список выбора пьезоприводов. SPM – пьезоприводы СЗМ камеры. FIB – пьезоприводы ФИП камеры.

Закрыть диалоговое окно Motors Scheme с сохранением установленных значений.

17.2.Панель управления пьезоприводами ФИП камеры

Рис. 17-4. Панель управления пьезоприводами ФИП камеры

1-120

Глава 17. Вкладка «NanoFab»

Табл. 17-3. Элементы панели FIB-Chamber Movers

Список выбора способа подвода образца.

Large Sample – подвод образцов больших размеров. Используются пьезоприводы М1, М2, М3 (см. Рис. 17-3).

Small Sample – подвод малоразмерных образцов. Используется пьезопривод МC (см. Рис. 17-3).

Переместить образец вверх на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав

клавишу <Esc> на клавиатуре, либо кнопку .

*ВНИМАНИЕ! При установленном флажке Until Esc есть опасность повредить образцом зондовую головку.

Переместить образец вниз на количество шагов, заданное соответствующим параметром Steps. Остановить работу пьезопривода можно, нажав

клавишу <Esc> на клавиатуре либо кнопку .

Поле ввода числа шагов пьезопривода.

Поле ввода частоты сигнала, подаваемого на пьезопривод (задает частоту отработки шагов пьезопривода).

Поле ввода амплитуды сигнала, подаваемого на пьезопривод (задает величину шага пьезопривода).

Если флажок установлен, работа пьезопривода осуществляется непрерывно до тех пор, пока пользователь не остановит работу.

Если флажок не установлен, работа пьезопривода осуществляется до момента приведения исполнительного механизма в заданное положение либо до остановки работы пьезопривода пользователем.

Остановить работу пьезопривода можно, нажав клавишу <Esc> на клавиатуре либо повторным нажатием кнопки, которой была инициирована работа..

Открыть	диалоговое	окно	Motors Scheme
(см. Рис. 17-3). В диалоговом окне			Motors Scheme

расположены элементы, при помощи которых осуществляется управление работой пьезоприводами СЗМ камеры и ФИП камеры.

1-121

ЧАСТЬ 1. NOVA. Программа управления СЗМ

17.3.Панель управления каруселью зондовых головок

	Рис. 17-5. Панель управления каруселью зондовых головок
			Табл. 17-4. Элементы панели Probe Selection
Coordinate		Координата текущего			положения	карусели
		зондовых головок. Двойным щелчком мыши на
		поле Coordinate координата текущего положения
		принимается за нулевую и устанавливается в поле
		Coordinate.
		Поле ввода значения частоты сигнала,
		подаваемого на шаговый двигатель (задает
		частоту отработки шагов двигателя).
		Повернуть карусель в направлении против
		часовой стрелки на угол, соответствующий
		расстоянию между зондовыми головками.
		Повернуть карусель в направлении по часовой
		стрелке на угол, соответствующий расстоянию
		между зондовыми головками.
		При щелчке на кнопке GoTo карусель приводит
		зондовую. головку с номером, равным значению,
		установленному в поле ввода, в нижнюю точку.
		Поле	ввода	числа	шагов	двигателя,
		соответствующего расстоянию между соседними
		зондовыми головками в карусели.
		Повернуть карусель в направлении против
		часовой стрелки на количество шагов, заданное
		соответствующим параметром Steps. Остановить
		работу двигателя можно, нажав клавишу <Esc>
		на клавиатуре либо “отжав” кнопку				.

1-122