ИДЗ / ИДЗ_4

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра МИТ

ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЕ №4

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Ионно-плазменное распыление

Студент гр.
Преподаватель		Мельник В.И.

Санкт-Петербург

2019

Исходные данные

№	M2	J1	S	d
17	Ta	0,01	0,01	5

Рассчитать скорость распыления v при ионно-плазменном распылении для ионов аргона и соответствующей мишени М₂ для плотности тока J₁ (А/см²) и коэффициента распыления S. Сколько времени может непрерывно использоваться мишень, учитывая толщину d?

Данные:	Решение:
	Ответ:
Найти:

Очень большое значение времени (около полутора лет). Это и есть показатель того, что мишень можно использовать очень долго. Это даёт предсказуемость процессу.

2