Метрология - Лабы / МИИ / МиИ_Т2А _Оля

Министерство образования Республики Беларусь

Белорусский Государственный Университет Информатики и Радиоэлектроники

Кафедра метрологии и стандартизации

Лабораторная работа T2А

«Оптические средства измерения»

Выполнила		Проверил
с.группы 910702		Доцент каф.МиС
Капшай М.С.		Архипенко А.Г.

Минск 2001

1. Цель работы

   1. изучить оптические методы и средства измерения линейных и угловых размеров и параметров шероховатости поверхностей

   2. изучить принцип работы, методику подготовки к измерениям и методику выполнения измерений с помощью инструментального и растрового микроскопов

   3. приобрести практические навыки измерений с помощью микроскопа и параметров шероховатости поверхностей с помощью растрового микроскопа

2. Лабораторное задание

   1. измерить с помощью ММИ-2 косвенным методом сопротивление резисторов микросхемы и оценить погрешность измерений

   2. измерить с помощью ММИ-2 угловые размеры деталей и оценить погрешности измерений

   3. измерить с помощью ОРИМ-1 параметр R_max и оценить параметр R₂ шероховатости поверхности металлических деталей

   4. измерить с помощью ОРИМ-1 толщину непрозрачных пленок

3. Таблица инструментов

Таблица 1 – Используемые приборы

Наименов.прибора	Тип	Заводской номер	Основные метрологические характеристики
Инструментальный микроскоп	ММИ-2	796568	пределы измерения линейных размеров: в продольном направлении не менее 0-75 мм, в поперечном направлении не менее 0-25мм пределы измерения микрометрическими винтами 0-25мм пределы измерения плоских углов 0-360 пределы поворота стола 05 увеличение визирного микроскопа 10х,30х, 50х увеличение объективов 1х, 3х, 5х поле зрения визирного микроскопы в зависимости от увеличения 21, 7, 4.2 цена деления: шкал барабанов метрических винтов 0,005
Растровый микроскоп	ОРИМ-1		диапазон измерения микронеровностей 0.4-40мкм пределы поворота столика 25 пределы вертикального перемещения предметного столика с помощью механизма микрометрической фокусировки 1мм цена деления шкалы механизма микрометрической фокусировки 0.003 мм

4. Основные расчетные формулы

Ri=o*ki , (1)

где о - удельное сопротивление квадрата резистивного слоя,

Ki – коэффициент формы i-го резистора

K_i=L/b, (2)

Где L – длина и b – ширина резистивного слоя резисторов

_o=500 Ом/мм²

5. Результаты расчетов и экспериментов

Таблица 2 – Результаты наблюдений и расчетов

№ резистора	№ наблюдения	l, мм					b,мм					K	Значение по ГОСТ8.011-72
		Отсчет 1	Отсчет2	Результат	l ср	l, мм	Отсчет1	Отсчет2	Результат	b ср	b
R13	1	15.3	15.655	0.355	0.407		15.325	15.725	0.4	0.395		1.03
	2	15.0	15.48	0.48			15.3	15.71	0.41
	3	15	15.385	0.385			15.425	15.8	0.375
R17	1	12.595	14.607	2.012	3.092		13.195	13.005	0.19	0.16		19.325
	2	11.6	15.765	4.165			13.2	13.01	0.19
	3	12.555	15.655	3.1			13.225	13.125	0.1
R23	1	8.55	12.181	3.676	3.659		4.125	4.935	0.81	0.865		4.23
	2	8.51	12.178	3.677			4.2	5.0	0.8
	3	8.6	12.225	3.625			4.135	5.12	0.985
R5	1	15.01	17.083	2.073	2.038		14.505	14.7	0.195	0.192		10.614
	2	15.0	17.062	2.062			14.51	14.715	0.205
	3	15.12	17.1	1.98			14.475	14.65	0.175

Вывод:

Косвенный метод измерения сопротивления заключается в измерении линейных размеров резистора, вычислении коэффициента формы резистора и расчета сопротивления по формуле R=*k. Полученная погрешность измерения линейных размеров обусловлена как погрешностью самого микроскопа, так и неточностью установки детали в поле зрения микроскопа, неточностью установки визирной линии на точки, ограничивающие размер, люфтом микрометрического винта.

Таблица 2

Вариант	№ детали	№ измерения	Отсчет1	Отсчет2	Результат	Значение угла по ГОСТ8.011-72
1	1	1	27115	2550	1615
		2	269	25456	144
		3	26941	25946	955

Погрешность измерения зависит от точности установки перекрестия визирных линий в вершину измеряемого угла и точности совмещения радиальных линий со сторонами угла.

Вывод: В ходе лабораторной работы провели измерения линейных и угловых размеров в отраженном свете. Из проведенных измерений видно, что чем больше раз снимаются измерения, чем точнее измерения, так же чем больше увеличение, чем точнее можно установить визирные линии для измерения.