Метрология - Лабы / МИИ / МиИ_Т2А

Министерство образования Республики Беларусь

Белорусский Государственный Университет Информатики и Радиоэлектроники

Кафедра метрологии и стандартизации

Лабораторная работа T2А

«Оптические средства измерения»

Выполнила		Проверил
с.группы 910702		Доцент каф.МиС
Капшай М.С.		Архипенко А.Г.

Минск 2001

1. Цель работы

   1. изучить оптические методы и средства измерения линейных и угловых размеров и параметров шероховатости поверхностей

   2. изучить принцип работы, методику подготовки к измерениям и методику выполнения измерений с помощью инструментального и растрового микроскопов

   3. приобрести практические навыки измерений с помощью микроскопа и параметров шероховатости поверхностей с помощью растрового микроскопа

2. Лабораторное задание

   1. измерить с помощью ММИ-2 косвенным методом сопротивление резисторов микросхемы и оценить погрешность измерений

   2. измерить с помощью ММИ-2 угловые размеры деталей и оценить погрешности измерений

   3. измерить с помощью ОРИМ-1 параметр R_max и оценить параметр R₂ шероховатости поверхности металлических деталей

   4. измерить с помощью ОРИМ-1 толщину непрозрачных пленок

3. Таблица инструментов

Наименов.прибора	Тип	Заводской номер	Основные метрологические характеристики
Инструментальный микроскоп	ММИ-2	796568	пределы измерения линейных размеров: в продольном направлении не менее 0-75 мм, в поперечном направлении не менее 0-25мм пределы измерения микрометрическими винтами 0-25мм пределы измерения плоских углов 0-360 пределы поворота стола 05 увеличение визирного микроскопа 10х,30х, 50х увеличение объективов 1х, 3х, 5х поле зрения визирного микроскопы в зависимости от увеличения 21, 7, 4.2 цена деления: шкал барабанов метрических винтов 0,005
Растровый микроскоп	ОРИМ-1		диапазон измерения микронеровностей 0.4-40мкм пределы поворота столика 25 пределы вертикального перемещения предметного столика с помощью механизма микрометрической фокусировки 1мм цена деления шкалы механизма микрометрической фокусировки 0.003 мм

4.Оновные расчетные формулы

R_i=_o*k_o; K_i=L/b

_o=500 Ом/мм²

5. Результаты расчетов и экспериментов

Таблица 1

№ резистора	№ наблюдателя	l, мм					b,мм					K	Значение по
		Отсчет 1	Отсчет2	Результат	L ср	l, мм	Отсчет1	Отсчет2	Результат	b ср	b
R24	1	8.1725	7.3575	0.815	0.814		0.455	0.2575	0.198	0.198	
	2	8.2225	7.4150	0.813			1.270	1.4675	0.196
	3	7.4150	8.23	0.815			1.271	1.4677	0.198
R4	1	6.395	4.1225	2.27	2.606		3.33	3.4925	0.123	0.110	
	2	6.3175	9.09	2.773			2.375	2.36	0.108
	3	9.0875	6.3125	2.775			2.2575	2.36	0.103
R2	1	6.985	4.97	3.06	3.024		0.1925	0.1	0.093	0.097	
	2	9.0575	6.05	3.008			3.125	5.0325	0.092
	3	9.06	6.0.55	3.005			5.015	6.12	0.105

Таблица 2

Вариант	№ детали	№ измерения	Отсчет1	Отсчет2	Результат	Значение угла по
2	5	1	2785	32710	495
		2	278	32640	4840
		3	27730	32645	4915

Вывод: В ходе лабораторной работы провели измерения линейных и угловых размеров в отраженном свете. Из проведенных измерений видно, что чем больше раз снимаются измерения, чем точнее измерения, так же чем больше увеличение, чем точнее можно установить визирные линии для измерения.