Метрология - Лабы / МИИ / МИИ_Т2Б

Министерство образования Республики Беларусь

Белорусский Государственный Университет Информатики и Радиоэлектроники

Кафедра метрологии и стандартизации

Лабораторная работа T2Б

«Оптические средства измерения»

Выполнил

Студент гр. 810702

Маевский С.В.

Проверил:

Минск 2000

1. Цель работы:

   1. изучить оптические методы и средства измерения линейных и угловых размеров и параметров шероховатости поверхностей

   2. изучить принцип работы, методику подготовки к измерениям и методику выполнения измерений с помощью инструментального и растрового микроскопов

   3. приобрести практические навыки измерений с помощью микроскопа и параметров шероховатости поверхностей с помощью растрового микроскопа

2. лабораторное задание

   1. измерить с помощью ММИ-2 косвенным методом сопротивление резисторов микросхемы и оценить погрешность измерений

   2. измерить с помощью ММИ-2 угловые размеры деталей и оценить погрешности измерений

   3. измерить с помощью ОРИМ-1 параметр R_max и оценить параметр R₂ шероховатости поверхности металических деталей

   4. измерить с помощью ОРИМ-1 толщину непрозрачных пленок

3. Таблица инструментов

Наименов. Прибора	Тип	Заводской номер	Основные метрологические характеристики
Инструментальный микроскоп	ММИ-2		пределы измерения линейных размеров: в продольном направлении не менее 0-75 мм, в поперечном направлении не менее 0-25мм пределы измерения микрометрическими винтами 0-25мм пределы измерения плоских углов 0-360 пределы поворота стола 05 увеличение визирного микроскопа 10х,30х, 50х увеличение объективов 1х, 3х, 5х поле зрения визирного микроскопы в зависимости от увеличения 21, 7, 4.2 цена деления: шкал барабанов метрических винтов 0,005
Растровый микроскоп	ОРИМ-1		диапазон измерения микронеровностей 0.4-40мкм пределы поворота столика 25 пределы вертикального перемещения предметного столика с помощью механизма микрометрической фокусировки 1мм цена деления шкалы механизма микрометрической фокусировки 0.003 мм

4.основные расчетные формулы

5. результаты расчетов и экспериментов

№ микросхемы

№ резистора

№ наблюдателя

l, мм

b,мм

K

Значение по ГОСТ 8,011-72

Отсчет 1

Отсчет2

Результат

L ср

l, мм

Отсчет1

Отсчет2

Результат

b ср

b

Вариант	№ детали	№ измерения	Отсчет1	Отсчет2	Результат	Значение угла по ГОСТ 8,011-72

№объекта	Объектив	Li, мкм	Rmax				Rmax				Rmax I мкм
			N1	N2	N3	H	N1	N2	N3	H мкм

№объекта	Объектив	Li, мкм	Изм параметр	N1	N2	N3	H	Rz

№объекта	Объектив	Li, мкм	N1	N2	N3	H, мкм