Метрология - Лабы-1 / МиИ / МиИ_Т2А

Министерство образования Республики Беларусь

Белорусский Государственный Университет Информатики и Радиоэлектроники

Кафедра метрологии и стандартизации

Лабораторная работа T2А

«Оптические средства измерения»

Выполнил		Проверила
с.группы 810702		Шипак О.И.
Жданов А.В.

Минск 2000

1. Цель работы:

   1. изучить оптические методы и средства измерения линейных и угловых размеров и параметров шероховатости поверхностей

   2. изучить принцип работы, методику подготовки к измерениям и методику выполнения измерений с помощью инструментального и растрового микроскопов

   3. приобрести практические навыки измерений с помощью микроскопа и параметров шероховатости поверхностей с помощью растрового микроскопа

2. Лабораторное задание.

   1. измерить с помощью ММИ-2 косвенным методом сопротивление резисторов микросхемы и оценить погрешность измерений

   2. измерить с помощью ММИ-2 угловые размеры деталей и оценить погрешности измерений

   3. измерить с помощью ОРИМ-1 параметр R_max и оценить параметр R₂ шероховатости поверхности металических деталей

   4. измерить с помощью ОРИМ-1 толщину непрозрачных пленок

3. Таблица инструментов

Наименов. Прибора	Тип	Заводской номер	Основные метрологические характеристики
Инструментальный микроскоп	ММИ-2		пределы измерения линейных размеров: в продольном направлении не менее 0-75 мм, в поперечном направлении не менее 0-25мм пределы измерения микрометрическими винтами 0-25мм пределы измерения плоских углов 0-360 пределы поворота стола 05 увеличение визирного микроскопа 10х,30х, 50х увеличение объективов 1х, 3х, 5х поле зрения визирного микроскопы в зависимости от увеличения 21, 7, 4.2 цена деления: шкал барабанов метрических винтов 0,005
Растровый микроскоп	ОРИМ-1		диапазон измерения микронеровностей 0.4-40мкм пределы поворота столика 25 пределы вертикального перемещения предметного столика с помощью механизма микрометрической фокусировки 1мм цена деления шкалы механизма микрометрической фокусировки 0.003 мм

4.Оновные расчетные формулы

R_i=_o*k_o; K_i=l/b

5. Результаты расчетов и экспериментов

№ микросхемы	№ резистора	№ наблюдателя	l, мм					b,мм					K	Значение по ГОСТ 8,011-72
			Отсчет 1	Отсчет2	Результат	L ср	l, мм	Отсчет1	Отсчет2	Результат	b ср	b
3	R61	1	0	2.28	2.28	2.31	3	0	0.13	0.13	0.14	3	16.5	8250
		2	0	2.32	2.32			0	0.16	0.16
		3	0	2.32	2.32			0	0.13	0.13
	R62	1	-0.02	0.96	0.98	0.96	3	0.33	0.50	0.17	0.17	3	16.5	2825
		2	-0.02	0.93	0.95			0.32	0.49	0.17
		3	-0.01	0.94	0.95			0.30	0.48	0.18
	R63	1	-0.28	1.34	1.62	1.61	3	0.80	0.94	0.14	0.16	3	5.65	5080
		2	-0.28	1.30	1.58			0.78	0.93	0.15
		3	-0.31	1.31	1.62			0.76	0.94	0.18
	R64	1	-0.25	0.75	1.00	0.97	3	0.52	0.73	0.21	0.20	3	10.06	2425
		2	-0.20	0.77	0.97			0.51	0.68	0.19
		3	-0.19	0.76	0.95			0.51	0.70	0.19
	R65	1	-0.29	0.95	1.22	1.26	3	0.58	0.74	0.16	0.17	3	4.85	3705
		2	-0.31	0.95	1.26			0.58	0.75	0.17
		3	-0.31	0.98	1.29			0.56	0.73	0.17

Вариант	№ детали	№ измерения	Отсчет1	Отсчет2	Результат	Значение угла по ГОСТ 8,011-72
3	1	1	180^0	146^023’	33^041’	33^041’
		2	180^0	146^014’	33^046’
		3	180^0	146^019’	33^041’
3	2	1	0^0	68^043’	68^043’	68^050’
		2	0^0	68^052’	68^052’
		3	0^0	68^056’	68^056’

Вывод: