МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра микро- и наноэлектроники
Курсовая РАБОТА
по дисциплине «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники»
Тема: Термодинамический анализ физико-химического процесса
Студент гр. |
|
|
Преподаватель |
|
Мараева Е. В. |
Санкт-Петербург
2020
ЗАДАНИЕ
на курсовую работу
Студент |
||
Группа |
||
Тема работы: Термодинамический анализ физико-химического процесса
|
||
Исходные данные: Провести термодинамический анализ процесса выращивания монокристаллов соединения GeTe заданного р-типа электропроводности из газообразных компонентов Ge и Те2. |
||
Содержание пояснительной записки: Содержание, Введение, Справочные данные, Анализ основного процесса, Анализ процессов сублимации, Построение Р-Т-диаграмм, Определение термодинамических условий проведения процесса, Оценка возможности окисления германия, Заключение, Список использованных источников |
||
Предполагаемый объем пояснительной записки: Не менее 10 страниц. |
||
Дата выдачи задания: |
||
Дата сдачи курсовой работы: |
||
Дата защиты курсовой работы: |
||
Студент |
|
|
Преподаватель |
|
Мараева Е. В. |
Аннотация
В ходе курсовой работы был проведен термодинамический анализ процесса выращивания монокристаллов соединения GeTe из газообразных компонентов Ge и Те2 в реакторе. Приведено описание получаемого соединения теллурида германия и справочные данные для осуществления расчетов параметров, необходимых для анализа. Были проанализированы основной процесс образования GeTe, процессы сублимации исходных компонентов и процесс окисления металла. В результате приведенных исследований и расчетов были построены Р-Т-диаграммы системы Ge-Te и определены термодинамические условия проведения процесса.
Summary
In this term paper, the growing process of GeTe monocrystals from gaseous components Ge and Те2 was analyzed. The resulting compound of germanium and tellurium is described and theoretical data essential for the analysis is given. The analysis of the main process of GeTe crystals formation, the analysis of the sublimation of both components and the process of the oxidation of the metal were conducted. As a result of the research the P-T-diagrams of the germanium telluride system were constructed and thermodynamic process conditions were determined.
Содержание
|
Введение |
4 |
1. |
Справочные данные и описание соединения |
5 |
1.1. |
Описание структуры, свойств и применения соединения |
5 |
1.2. |
Справочные данные |
6 |
2. |
Анализ основного процесса |
7 |
2.1. |
Определение константы равновесия по давлению |
7 |
2.2. |
Построение зависимости константы равновесия от температуры |
7 |
2.3. |
Определение рабочей температуры синтеза GeTe |
9 |
3. |
Анализ процесса сублимации исходных компонентов |
10 |
3.1. |
Анализ процесса сублимации германия |
10 |
3.2. |
Анализ процесса сублимации теллура |
12 |
4. |
Построение Р-Т-диаграмм |
15 |
4.1. |
Построение Р-Т-диаграммы в координатах
|
15 |
4.2. |
Построение Р-Т-диаграммы в координатах
|
17 |
4.3. |
Построение линий стехиометрии |
19 |
4.4. |
Оценка диапазона изменения соотношения давлений компонентов и определение тип электропроводности |
21 |
5. |
Определение термодинамических условий проведения процесса |
22 |
6. |
Оценка возможности окисления германия |
24 |
|
Заключение |
27 |
|
Список использованных источников |
28 |
