курсачи / курсач 14 вар / kkk

clc
% close all;
clear variables;
x=(0:0.005:1).*10^(0); % ось х
e=1.6*10^-19; % заряд электрона
J=input('Введите плотность тока ионов, А/м^2 ');
t=input ('Введите время имплантации, с ');
D=J*t/e; %доза облучения
% Rp=[0.1228,0.2393,0.4372,0.8928].*10^(0);
% dRp=[0.0394,0.0364,0.0731,0.1173].*10^(0);
Rp=[0.1574,0.2956,0.5251,0.8928].*10^(0);
dRp=[0.0556,0.0768,0.0979,0.1173].*10^(0); % среднеквадратичное отклонение проекционного пробега

color='g';
for i = 3 : 3
g=0.5; % гамма ассиметрия
% g = (x - Rp(i)^3)/dRp(i)^3;
B=3.28*(g.^2)+0.39.*g+3.08; %бетта затухание
%B = 2.8 + 2.4 * g.^2;
A=10.*B-12.*(g.^2)-18; %константа
mu=(dRp(i)).^2 ; %среднеквадратичное отклонение проекционного пробега в квадрате
a=(-g*(mu^0.5).*(B+3))/A ; %константа
b1=a; %константа
b2=-(2*B-3*g.^2-6)/A; %константа
b0=-(mu.^(1)).*(4.*B-3.*g.^2)./A;%константа
w=4*b2*b0-b1^2; %часть итоговой формулы
z=2.*b2.*(x-Rp(i))+b1; %часть итоговой формулы

O2=atan(z/sqrt(abs(w))); %часть итоговой формулы
O3=(-((b1/b2)+2.*a)./sqrt(abs(w))).*O2; %часть итоговой формулы

k=b2*(x-Rp(i)).^2; %часть итоговой формулы
p=b1*(x-Rp(i))+b0; %часть итоговой формулы

n=D.*((abs(k+p)).^(1/(2*b2))).*exp(-O3); %итоговая формула


hold on
plot(x,n,color)
legend('50 кЭв');
title('Профиль легирования при ионной имплантации бора в кремнии');
xlabel('x,мкм');
ylabel('n,см^-3');
figure
plot(x(1:end-1),diff(n),color);
grid on;
end