Источники / SiCtechnologyPropertiesApplication
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248 |
ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ |
|
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
249 |
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ǾȖȟ. 9.5. ǰȖȒȩ ȝȜȞ Ȑ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤȎȣ Ȗȕ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȞȜȒ:
(a) – ȟȎȝȓșșȖ, (ȏ) – ȟȜȟțȎ, (Ȑ) – ȜȞȓȣ, (ȑ) – ȑȞȡȦȎ
Ȓȡȏ |
ȟȎȝȓșșȖ |
ȑȞȎȏ |
ȜȞȓȣ |
ǾȖȟ. 9.6. ȂȜȠȜȑȞȎȢȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȝȓȞȓȥțȜȑȜ Ȗ ȞȎȒȖȎșȪțȜȑȜ ȟȓȥȓțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȝȜșȡȥȓțțȩȣ Ȗȕ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȞȜȒ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ
ǾȖȟ. 9.7. DZȖȟȠȜȑȞȎȚȚȩȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȞȎȕȚȓȞȎȝȜȞȝȜȝȞȖȐȓȒȓțțȜȚȡȒȖȎȚȓȠȞȡ d=2(S/Q)1/2 Ȓșȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ Ȗȕ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȞȜȒ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ
ȝȜȞ, ȜȏȞȎȕȜȐȎțțȩȣ ȟȜȟȡȒȎȚȖ, ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭ ȚțȜȑȜȜȏȞȎȕȖȓȚ, ȞȖȟ. 9.5. ǼțȖȖȚȓȬȠȐȖȒȜȘȞȡȔțȜȟȠȓȗ, ȫșșȖȝȟȜȐ, ȥȎȟȠȜȞȎȕȒȓșȓțțȩȣȐțȡȠȞȓțțȖȚȖ ȝȓȞȓȑȜȞȜȒȘȎȚȖ (șȖȟȠȐȓțțȩȓ ȝȜȞȜȒȩ) ȖșȖ ȠȞȎȝȓȤȖȗ (ȟȜȟțȎ).
ǾȎȕȚȓȞȩ ȝȜȞ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȐȜȕȞȎȟȠȎ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȘȞȜȚȓ ȠȜȑȜ Ȑ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȑȜȒȜȐȜȑȜ ȟșȜȭ Ȑ ȞȎțțȖȣ Ȗ ȝȜȕȒțȖȣ ȟșȜȭȣ ȝȜȞȩ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭȝȜȞȎȕȚȓȞȎȚ. DzșȭȜȤȓțȘȖȞȎȕșȖȥțȩȣȝȜȞȜȒȒȞȓȐȓȟȖțȩ Țȩ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖ ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȗ ȒȖȎȚȓȠȞ ȝȜȞ.
d= 2(S/ Q)1/2, |
(9.1) |
ȑȒȓ S – ȝșȜȧȎȒȪ ȟȓȥȓțȖȭ ȝȜȞȩ. ǻȎ ȞȖȟ. 9.6 Ȗ 9.7 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȢȜȠȜȑȞȎȢȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ Ȗ ȑȖȟȠȜȑȞȎȚȚȩ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȞȎȕȚȓȞȎ ȝȜȞ ȝȜ ȝȞȖȐȓȒȓțțȜȚȡ ȒȖȎȚȓȠȞȡ Ȓșȭ ȞȭȒȎ ȝȜȞȜȒ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ.
ȀȎȏșȖȤȎ 9.4. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȒȎțțȩȓ ȝȜ ȡȟȎȒȘȓ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȝȞȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȖȖ ȟȡȦȘȖ Ȗ ȘȎȞȏȜțȖȕȎȤȖȖ
|
|
ȀȖȝ, |
ǽșȜȠțȜȟȠȪ |
ǽșȜȠțȜȟȠȪ, |
ǿȡȦȘȎ Ȗ ȝȖȞȜșȖȕ ȒȜ 900Ȝǿ |
|||||
Ɋ |
ǽȜȞȜȒȩ |
ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓ- |
ȒȞȓȐȓȟȖțȩ |
*) |
ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ |
ȁȟȡȦȘȎ |
ȁȟȡȦȘȎ |
ȁȟȡȦȘȎ |
||
|
ȚȎȠȞȖȤȩ |
ȞȎȒȖȎșȪțȎȭ |
ȞȎȒȖȎșȪțȎȭ |
ȠȎțȑȓțȤȖ- |
||||||
|
|
țȖȭ ȟȜȟȡȒȜȐ |
ȑ¸ȟȚ |
3 |
|
|||||
|
|
|
|
ȑ¸ȟȚ 3 |
d? |
d°° |
ȎșȪțȎȭ |
|||
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|
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|||||
1 |
2 |
3 |
4 |
|
|
5 |
6 |
7 |
8 |
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1 |
ǯȡȘ, beech (Fagus |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.68 0.72 |
0.45 0.55 |
42% |
35% |
23% |
|||
|
ylvatica L) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
|
|
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|
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|
|
2 |
ǰȓȞȏȎ,willow, |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
|
|
|
0.35 0.4 |
|
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|
(Sȏlix) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
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|||
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|||
3 |
Dzȡȏ, oak, |
ȘȜșȪȤȓ- |
0.69 |
|
0.55 0.6 |
31.4% |
26.6% |
20% |
||
(quercus) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
||||||||
|
|
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|||
|
DZȞȎȏ |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
|
|
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4 |
European |
0.77 0.87 |
0.60 0.65 |
|
|
23.5 24.5% |
||||
Hornbeam |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|||||||||
|
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|||
|
(Carpinus betulus) |
|
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5 |
DZȞȡȦȎ, Pear |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.62 0.70 |
0.43 0.45 |
40 43% |
25% |
21 23% |
|||
(Pyrus domestica) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
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|||
6 |
ǹȖȝȎ, Basswood, |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.46 |
|
0.38 0.45 |
39% |
35% |
23% |
||
|
(Tilia platyphyllo) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
|
|
|
|
|
|
|
ȝȞȜȒȜșȔȓțȖȓ ȠȎȏșȖȤȩ 9.4.
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
|
|
ǿȎȝȓșșȖ, Sapele |
|
|
|
|
|
|
|
7 |
wood, (African |
- |
0.75 0.8 |
0.50 0.55 |
32 37% |
26 29% |
19 22% |
|
Entandrophragma |
||||||||
|
|
|
|
|
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||
|
Cylindricum) |
|
|
|
|
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|
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|
8 |
ǿȖȞȓțȪ, lilac, |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.9 |
|
36% |
28% |
20% |
|
Syringa |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|||
9 |
ǿȜȟțȎ, pine, |
ȣȐȜȗțȎȭ |
0.31 0.52 |
0.2 0.25 |
37 38% |
32 34 % |
26 27% |
|
Pțnus sylvȗstris |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
ǼșȪȣȎ, alder |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.55 |
|
36% |
30% |
|
|
(Alnus) Alnus |
0.37 0.45 |
|
||||||
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
||||||||
|
glutinosa |
|
|
|
|
|
||
|
|
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|
|
|
|
||
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|
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|
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|
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|
|
11 |
ǼȞȓȣ, Persian |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.64 |
|
40% |
|
25% |
|
Walnut (Juglans |
0.44 0.53 |
32 34% |
||||||
|
regia) |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
|
|
|
|
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||
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12 |
ȅȓȞȓȦțȭ, cherry |
ȒȖȢȢȡȕȖȜțțȜ- |
0.59 |
|
|
|
|
|
tree, Prunus |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
|
|
|
|||
|
avium |
|
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|
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|
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|
|
13 |
ȍȟȓțȪ, ach tree, |
ȘȜșȪȤȓ- |
0.8 |
0.61 0.68 |
32% |
30% |
21 22% |
|
|
Fraxinus |
ȟȜȟȡȒȖȟȠȎȭ |
|
|
|
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|
*) ǽȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȒȎțțȩȓ ȝȜ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜ ȐȩȟȡȦȓțțȜȗ ȒȞȓȐȓȟȖțȓ
ȒȞ Ȗ .ǰ.Ǿ ǸȜțȎȘȜȐȎ ,.ǿ.ǰ ǸȖȟȓșȓȐ ,.ǿ.ǻ ǯȜșȠȜȐȓȤ ,.dz.Ǯ ǯȓșȭȓȐ ,.Ǯ.Ǽ ǮȑȓȓȐ 250
9 DZșȎȐȎ I, ȅȎȟȠȪ
251
252 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ǺȓȠȜȒȩ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȘȞȓȚțȖȓȚ
ǽȞȖȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖȡȑșȓȞȜȒțȩȣȚȎȠȞȖȤȔȖȒȘȖȚȘȞȓȚțȖȓȚȖșȖ ȓȑȜȝȎȞȎȚȖȖȕ-ȕȎȡȐȓșȖȥȓțȖȭȜȏȨȓȚȎ, ȐȩȕȐȎțțȜȑȜȘȜțȐȓȞȟȖȓȗȡȑșȓȞȜȒȎȐȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȭ, ȜȏȧȖȗȜȏȨȓȚȝȜȞȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ. ǽȞȖ ȘȜțȐȓȞȟȖȖȥȎȟȠȪ ȝȜȞȖȟȥȓȕȎȓȠ, ȐȠȜȔȓȐȞȓȚȭ, ȝȜȭȐșȭȬȠȟȭ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȓ ȚȖȘȞȜȝȜȞȩ ȟ ȞȎȕȚȓȞȎȚȖ 0.1 0.6 ȚȘȚ. Ƕȣ ȝȜȭȐșȓțȖȓ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎȚȖȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜȞȎȟȦȖȞȓțȖȭȡȑșȓȞȜȒȎ Ȗ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ.
ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȘȞȓȚțȖȓȚ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭȓȠȟȭ ȞȎȕșȖȥțȩȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ. ǻȎȖȏȜșȓȓȖȟȟșȓȒȜȐȎțțȩȚ ȭȐșȭȓȠȟȭȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȝȎȞȎȚȖ ȘȞȓȚțȖȭ.
ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȝȎȞȎȚȖ ȘȞȓȚțȖȭ
ǰȎȔțȩȚȢȎȘȠȜȞȜȚȫȠȜȑȜȝȞȜȤȓȟȟȎ ȭȐșȭȓȠȟȭȑșȡȏȖțȎȝȞȜțȖȘțȜȐȓțȖȭ ȝȎȞȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ (h) Ȑ ȑȞȎȢȖȠȜȐȡȬ ȚȎȠȞȖȤȡ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ Ȓșȭ ȤȖșȖțȒȞȖȥȓȟȘȖȣ ȝȜȞ ȐȓșȖȥȖțȎ h ȭȐșȭȓȠȟȭ ȢȡțȘȤȖȓȗ ȕȎȐȖȟȭȧȓȑȜ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ B [57, 74].
h= Ȃ(dCDeff/ 4B)1/2 |
(9.2) |
ȑȒȓ dC [Ț] – ȒȖȎȚȓȠȞ ȝȜȞȩ, Ȃ [(ȟ/Ț)1/2] – ȚȜȒȡșȪ Thiele, ȘȜȠȜȞȩȗ ȜȏȩȥțȜȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȒșȭȜȝȖȟȎțȖȭ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȩȣ ȟȘȜȞȜȟȠȓȗ ȞȓȎȘȤȖȖ Ȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȑ ȝȜȞȖȟȠȩȣ ȠȓșȎȣ. Dzșȭ ȟșȡȥȎȭ ȏȩȟȠȞȜȗ ȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȃ< 0.1, Deff – ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ.
ǻȖȔȓ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȡȞȎȐțȓțȖȭ, ȜȝȖȟȩȐȎȬȧȖȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖDeff, țȓȕȎȐȖȟȭȧȖȗȜȠȞȎȕȚȓȞȎȝȜȞ, ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȝȓȞȓțȜȟȎ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȑȜ ȑȎȕȎ Dmol Ȗ, ȕȎȐȖȟȭȧȖȗ ȜȠ ȒȖȎȚȓȠȞȎ ȘȎțȎșȎ ȝȜȞ, ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ǸțȡȒȟȓțȎ DKnu:
1/ Deff= U/ F(1/ Dmol+ 1/ DKnu) |
(9.3) |
||
Dmol= (kT/ Q)3/2[82(MP)1/2] 1 |
(9.4) |
||
D |
Knu |
= (2d / 3)(2kT/ QM)1/2 |
(9.5) |
|
P |
|
|
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
253 |
|
|
ǵȒȓȟȪ 8 – ȞȎȕȚȓȞ ȚȜșȓȘȡș ȑȎȕȎ, Ȑ țȎȦȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȘȞȓȚțȖȭ, M – ȚȎȟȟȎ ȚȜșȓȘȡșȩ, P – ȒȎȐșȓțȖȓ, dž – ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȚȎȠȞȖȤȩ (0.5 0.8), U – ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ, ȡȥȖȠȩȐȎȬȧȖȗ ȑȓȜȚȓȠȞȖȬ ȝȜȞ (3-Ȓșȭ ȝȜȞ ȤȖșȖțȒȞȖȥȓȟȘȜȗȢȜȞȚȩ). ǺȖțȖȚȎșȪțȩȗȘȞȖȠȖȥȓȟȘȖȗȒȖȎȚȓȠȞȘȎțȎșȎdCmin ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȐȩȐȓȒȓț Ȗȕ ȡȟșȜȐȖȭ Dmol =DKnu. ǽȞȖ dǿ ȚȓțȪȦȓȚ ȫȠȜȗ ȐȓșȖȥȖțȩȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȭȝȎȞȜȐȘȞȓȚțȖȭȏȡȒȓȠȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȪȕȎ ȜȥȓțȪ ȒșȖȠȓșȪțȜȓȐȞȓȚȭ. ǰȞȎȏȜȠȓ[73] ȒșȭȚȖțȖȚȎșȪțȜȑȜȒȖȎȚȓȠȞȎȘȎțȎșȎ ȝȜșȡȥȓțȎ ȐȓșȖȥȖțȎ dCmin =1 ȚȘȚ ȝȞȖ 1400 1600°C.
ǰ ȞȭȒȓ ȞȎȏȜȠ Ȓșȭ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȖ ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȚȜțȜȜȘȖȟȪ ȖșȖ ȒȐȡȜȘȖȟȪ ȘȞȓȚțȖȭ. ǰ ȝȜȟșȓȒțȓȚ ȟșȡȥȎȓ ȞȓȎȘȤȖȭ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ Ȑ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȫȠȎȝȜȐ. ǻȎ ȝȓȞȐȜȚ ȫȠȎȝȓ ȝȎȞȩ SiO ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȝȞȖ țȎȑȞȓȐȓ ȟȚȓȟȖ ȘȐȎȞȤȎ Ȗ ȘȞȓȚțȖȭ
SiO2 + Si 2SiO |
(9.6) |
ǻȎ ȟșȓȒȡȬȧȓȚ ȫȠȎȝȓ ȝȎȞȩ SiO ȒȖȢȢȡțȒȖȞȡȬȠ Ȗ ȝȞȜțȖȘȎȬȠ Ȑ ȠȞȡȏȥȎȠȩȓ ȝȜȞȩ ȚȎȠȞȖȤȩ, ȞȓȎȑȖȞȡȬȠ ȟ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ ȟȠȓțȘȎȚȖ, ȜȏȞȎȕȡȭ SiC ȟȜȑșȎȟțȜ ȞȓȎȘȤȖȖ ȑȎȕ – ȠȐȓȞȒȜȓ ȠȓșȜ
SiO + 2C SiC + CO |
(9.7) |
SiO + 3CO SiC + 2CO2 |
(9.8) |
ǾȓȎȘȤȖȖ (9.7) Ȗ (9.8) ȝȞȖȐȜȒȭȠ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȠȐȓȞȒȜȗ ȢȎȕȩ SiC Ȗ ȟȜȣȞȎțȭȬȠ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȬ ȟȠȎȞȠȜȐȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ.
ǽȞȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȝȎȞȎȚȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑ ȞȭȒȓ ȟșȡȥȎȓȐ ȜȏȞȎȕȡȬȠȟȭ ȚȖȘȞȜȠȞȡȏȘȖ. ǽȞȖȥȖțȜȗ Ȗȣ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ Ȗ ȞȎȕȒȓșȓțȖȭ ȚȖȘȞȜȠȞȡȏȜȘ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȞȎȕșȖȥȖȭ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȜȐ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȞȎȟȦȖȞȓțȖȭ ȑȞȎȢȖȠȜȐȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗ SiC țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȚȖȘȞȜȠȞȡȏȜȘ. ǰ ȠȜȔȓ ȐȞȓȚȭ ȞȓȎȘȤȖȭ (9.6) ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȞȎȟȣȜȒȡ ȡȑșȓȞȜȒȎ țȎ ȐțȓȦțȓȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȠȞȡȏȜȘ, ȝȞȖȐȜȒȭ Ș Ȗȣ ȞȎȕȒȓșȓțȖȬ. ǽȞȖ ȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȚ ȐȞȓȚȓțȖ ȞȓȎȘȤȖȖ Ȑȟȭ ȑȞȎȢȖȠȜȐȎȭ ȚȎȠȞȖȤȎ ȝȞȓȐȞȎȧȎȓȠȟȭȐȏȜșȪȦȜȓȘȜșȖȥȓȟȠȐȜȚȖȘȞȜȠȞȡȏȜȘ. ǿȠȓȝȓțȪȐșȖȭțȖȭ ȘȖȟșȜȞȜȒȎȒȜșȔțȎȕȎȐȖȟȓȠȪȜȠȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȖȞȓȎȘȠȜȞȎ. ǽȞȖȏȜșȪȦȖȣ ȚȎȟȟȎȣ ȑȞȎȢȖȠȜȐȜȗ ȜȟțȎȟȠȘȖ ȜțȎ ȒȜșȔțȎ ȏȩȠȪ ȚȖțȖȚȎșȪțȜȗ.
ǰ ȞȎȏȜȠȎȣ [66 72] ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȩ ȚȓȠȜȒȩ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȝȖȠȩ-
ȐȎțȖȭ ȝȎȞȎȚȖ (chemical vapor infiltration CVI) Ȗ (chemical vapor
254 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
infiltration and reaction CVI-R). ȋȠȖ ȚȓȠȜȒȩ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȎțȎșȜȑȖȥțȩ ȣȜȞȜȦȜ ȖȕȐȓȟȠțȜȚȡ ȚȓȠȜȒȡ CVD.
ǺȜȔțȜȞȓȕȬȚȖȞȜȐȎȠȪ, ȥȠȜȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȑȞȎȢȖȠȜȐȩȣȚȎȠȞȖȤȝȎȞȎȚȖȘȞȓȚțȖȭȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭțȖȕȘȜȗȟȘȜȞȜȟȠȪȬ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȐȞȓȚȭ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ-ȟȖțȠȓȕȎ ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ 8–10 ȥȎȟ. ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȒȖȎȚȓȠȞȎ ȘȎțȎșȜȐ. ǺȖțȖȚȎșȪțȩȗ ȒȖȎȚȓȠȞ ȘȎțȎșȎ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 1 ȚȘȚ.
ǽȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ
ǿȘȜȞȜȟȠȪ ȘȜțȐȓȞȟȖȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȑ Siƙ ȘȓȞȎȚȖȘȡ ȕȎȐȖȟȖȠȜȠȡȟșȜȐȖȗȝȞȜȐȓȒȓțȖȭȝȞȜȤȓȟȟȎ. ȀȎȘ, ȝȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȝȎȞȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ, ȝȜȟșȓ 8 ȥȎȟȜȐ ȝȞȜȝȖȠȘȖ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȓ SiC ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ 95%. ǰ ȟșȡȥȎȓ ȝȞȖȚȓțȓțȖȭ ȔȖȒȘȜȑȜ Si (LSI-process), Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪȝȞȜȝȖȠȘȖȟȜȟȠȎȐșȭȓȠȚȓțȓȓ1 2 ȥȎȟ. ǿȝȜțȠȎțțȜȓ ȟȚȎȥȖȐȎțȖȓȖȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȭ ȕȎȐȖȟȭȠȜȠȚȜșȓȘȡșȭȞțȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩȝȜȞȖȟȠȜȗȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǿȠȞȡȘȠȡȞȎȒȞȓȐȓȟȖțȩȐȎȘȟȖȎșȪțȜȚ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖȝȞȓȒȟȠȎȐșȭȓȠȟȜȏȜȗȝȡȥȜȘȝȎȞȎșșȓșȪțȩȣȘȎȝȖșșȭȞȜȐ (ȠȞȎȣȓȖȒȎșȪțȩȣȭȥȓȓȘ) ȟȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚȞȎȒȖȡȟȜȚr, ȥȠȜȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȓȠ ȝȞȜțȖȘțȜȐȓțȖȓ ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ. ǰȞȓȚȭ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȚȎȠȞȖȤȩ ȕȎȐȖȟȖȠȜȠȞȎȒȖȡȟȎȘȎȝȖșșȭȞȜȐȖȟȐȜȗȟȠȐȔȖȒȘȜȟȠȖ. ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȩȗ ȒȖȎȚȓȠȞȘȎȝȖșșȭȞȜȐdmax, ȝȞȖȘȜȠȜȞȜȚȏȡȒȓȠȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȪȟȝȜțȠȎțțȎȭ ȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȭ, ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȢȜȞȚȡșȜȗ [75]:
dmax = 4HcosR/ Sgh |
(9.9) |
ȑȒȓh – ȐȩȟȜȠȎȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȖ, R – ȘȜțȠȎȘȠțȩȗȡȑȜș, H – ȖS – ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȓ țȎȠȭȔȓțȖȓ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȔȖȒȘȜȟȠȖ, g – 9.81 Ț¸ȟȓȘ 2.
ǰșȖȠȓȞȎȠȡȞȓȟȜȜȏȧȎȬȠȟȭȞȎȕșȖȥȎȬȧȖȓȟȭȒȎțțȩȓȝȜȟȐȜȗȟȠȐȎȚ ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ.
ǼȒțȎȘȜ, ȜțȖ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ ȝȞȜȐȓȟȠȖ ȜȤȓțȘȖ ȐȞȓȚȓțȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭȖȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȑȜȒȖȎȚȓȠȞȎ, ȝȞȖȘȜȠȜȞȩȣȐȜȕȚȜȔțȜȟȝȜțȠȎțțȜȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ.
ǰȞȓȚȭ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȚȎȠȞȖȤȩ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȞȎȒȖȡȟȎ ȘȎȝȖșșȭȞȜȐ Ȗ ȟȐȜȗȟȠȐ ȔȖȒȘȜȟȠȖ. ǽȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ (LSI-process) ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪȝȞȜȝȖȠȘȖ, ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȜȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠȜȠ0.1 ȒȜ3 ȥȎȟ. ǼȤȓțȘȎȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȑȜȒȖȎȚȓȠȞȎ ȝȜȞ, ȝȞȖ ȘȜȠȜȞȜȚ ȓȧȓ ȐȜȕȚȜȔțȎ ȟȝȜțȠȎțțȎȭ ȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȭ, ȒȎȓȠ ȐȓșȖȥȖțȡ dmax x120 ± 80 ȚȘȚ [63]. ǮȐȠȜȞȩ[79], ȝȞȖțȖȚȎȭ
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
255 |
|
|
ȀȎȏșȖȤȎ 9.5. ǿȐȜȗȟȠȐȎ ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ
ǿȞȓȒțȓȓ ȕțȎȥȓțȖȓ ȜȠȘȞȩȠȜȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ, ȞȎȕȚȓȞȎ ȝȜȞ Ȑ ȑȞȎȢȖȠȜȐȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȣ Ȗ ȐȩȟȜȠȎ ȖțȢȖșȪȠȞȎȤȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ [80]
ǺȎȞȘȖ ȑȞȎȢȖȠȜȐ |
ǽȜȞȖȟȠȜȟȠȪ, % |
DzȖȎȚȓȠȞ ȝȜȞ, |
DZșȡȏȖțȎ, ȚȚ |
|
ȚȘȚ |
||||
|
|
|
||
|
|
|
|
|
CB620 |
17.02 |
0.05 |
0.40 0.75 |
|
UT87 |
17.72 |
0.07 |
0.80 0.95 |
|
EK77 |
18.65 |
0.10 |
0.95 1.25 |
|
N |
17.77 |
0.06 |
0.85 1.05 |
ǾȎȐțȜȐȓȟțȩȗ ȘȜțȠȎȘȠțȩȗ ȡȑȜș ȚȓȔȒȡ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȚȖ. Ra – ȟȞȓȒțȭȭ ȦȓȞȦȎȐȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ
[80,81] |
|
|
[82] |
[83] |
[84] |
|
3° (Ra = 3.18 ȚȘȚ) |
|
35 40° |
5 15° |
15° |
||
35° (R =0.005 ȚȘȚ) |
(R |
a |
= 2 4 țȚ) |
(ȝȖȞȜșȖȠȖȥȓȟȘȖȗ |
|
|
a |
|
|
ȑȞȎȢȖȠ) |
|
||
|
ǿȐȜȗȟȠȐȎ ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ |
|
||||
H – ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȓ |
R – ȘȜțȠȎȘȠțȩȗ |
S – ȝșȜȠțȜȟȠȪ |
I – ȐȭȕȘȜȟȠȪ, |
|||
ȞȎȟȝșȎȐȎ Si, |
||||||
țȎȠȭȔȓțȖȓ, ǻ/Ț |
ȡȑȜș, ȑȞȎȒ |
ǽȎ |
||||
ȑ¸ȟȚ 3 |
||||||
|
|
|
|
|
||
0.82 ȝȞȖ1600°ǿ[78] |
0 22° țȎ |
2.55 (1420°C) [76] |
5.1±7.65¸10 4 |
|||
ȡȑșȓȞȜȒȓ Ȗ |
||||||
0.75 (1550°ǿ) [76], |
30 40° țȎ |
2.53 2.55 |
(1440°C) [57], |
|||
0.72±0.75 (1550°ǿ) [51] |
|
SiC [57], |
(1420°C) [57] |
0.7 [76] |
||
|
40° 10° [77] |
|
|
|||
ȑșȡȏȖțȡ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ 0.1 Ț, ȜȤȓțȖșȖ țȖȔțȬȬ ȑȞȎțȖȤȡ ȐȞȓȚȓțȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ. ǽȞȖr= r0= R Ȗr= 1 10 ȚȘȚȐȞȓȚȭȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ ȜȘȜșȜ 10 1 ȟ.
ȀȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȎȟȝȓȘȠȩ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȝȜșȡȥȓțȖȭ ȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȖ
ǼȥȓȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȜȝȠȖȚȎșȪțȜȓ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ țȎȐȓȟȘȖ ȘȞȓȚțȖȭ Ș ȐȓȟȡȡȑșȓȞȜȒțȜȗȝȞȓȢȜȞȚȩȒșȭ100% ȘȜțȐȓȞȟȖȖȐȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȭ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȢȜȞȚȡșȜȗ SiC Ȗ ȚȜșȓȘȡșȭȞțȩȚȖ ȐȓȟȎȚȖ Si (28 ȑ/ȚȜșȪ) Ȗ C (12 ȑ/ȚȜșȪ). ǼȠțȜȦȓțȖȓ ȐȓȟȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ ȐȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȓȜȏȜȕțȎȥȖȚ ȐȓșȖȥȖțȜȗ Z. ǼȥȓȐȖȒțȜ,
256 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ȥȠȜ ȝȞȖ 100% ȘȜțȐȓȞȟȖȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȑ ȘȎȞȏȖȒ ȘȞȓȚțȖȭ Z= Si / C ȒȜșȔțȜ ȏȩȠȪ ȞȎȐțȩȚ 2.33. ǼȏȩȥțȜ, ȝȞȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖ ȡȑșȓȞȜȒțȩȓȕȎȑȜȠȜȐȘȖȐȚȓȟȠȓȟȖȕȚȓșȪȥȓțțȩȚȘȞȓȚțȖȓȚȝȜȚȓȧȎȬȠ Ȑ ȑȞȎȢȖȠȜȐȩȓ ȠȖȑșȖ. ǰ ȞȓȎșȪțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȥȎȟȠȪ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȎȏȟȜȞȏȖȞȜȐȎțȎ ȟȠȓțȘȎȚȖ ȠȖȑșȭ, ȥȎȟȠȪ ȚȜȔȓȠ ȖȟȝȎȞȖȠȪȟȭ, ȥȎȟȠȪ ȚȜȔȓȠ ȝȞȜȟȠȜ țȓ ȐȝȖȠȎȠȪȟȭ Ȑ ȚȎȠȞȖȤȡ. ǽȜȫȠȜȚȡ, Ȓșȭ ȝȜșȡȥȓțȖȭ 100% ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ ȐȓȟȜȐ Ǚ ȝȞȖ ȕȎȑȞȡȕȘȓ Ȑ ȠȖȑȓșȪ, ȘȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȝȞȓȐȩȦȎȓȠ ȐȓșȖȥȖțȡ 2.33. Dzșȭ ȜȤȓțȘȖ ȟȠȓȝȓțȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȝȜșȓȕțȜ ȝȞȜȐȜȒȖȠȪ ȖȕȚȓȞȓțȖȭ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ SȘȓȞ ȖșȖ ȐȓȟȎ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ǾȘȓȞ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ. ȋȠȜ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȜȤȓțȖȠȪ ȟ ȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȟȠȪ ȚȓȠȜȒȎ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ, Ȏ ȟ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ ȜȝȞȓȒȓșȖȠȪ ȢȎȕȜȐȩȗ ȟȜȟȠȎȐ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȗ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȓ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ. ǽȞȖ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȖ ȝȜȠȓȞȪ ȘȞȓȚțȖȭ Ȑȓȟ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȚȜȔțȜ ȝȞȓȒȟȠȎȐȖȠȪ Ȑ ȐȖȒȓ
ǾȘȓȞ= ǾM(1+ Z), |
(9.10) |
SȘȓȞ= SM(1+ Z). |
(9.11) |
ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȜȥȓȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȓȟșȖ ȜȠțȜȦȓțȖȓ ǾȘȓȞ/ ǾM< 3.33, SȘȓȞ/ SM< 3.33, ȠȜ ȝȜșȡȥȓțțȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș ȭȐșȭȓȠȟȭ SiC/ C ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȚ, Ȏ Ȑ ȝȞȜȠȖȐȜȝȜșȜȔțȜȚ ȟșȡȥȎȓ ǾȘȓȞ/ ǾM> 3.33, SȘȓȞ/ SM> 3.33 – SiC/ Si ȘȜȚȝȜȕȖȠȜȚ.
ǰ ȞȎȏȜȠȓ [85] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȜȟȪ ȐșȖȭțȖȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȘȞȓȚțȖȭ țȎ ȟȠȓȝȓțȪ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȝȞȓȢȜȞȚ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ ȚȓȠȜȒ ȟȝȜțȠȎțțȜȑȜ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ țȎ ȟȠȓȝȓțȪ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȟȘȎȕȩȐȎșȎȟȪ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȭ ȝȜȞ (ȘȎȝȖșșȭȞȜȐ) Ȑ ȚȎȠȞȖȤȎȣ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭ ȑȞȎȐȖȠȎȤȖȜțțȜȑȜ ȝȜșȭ. ǿȠȓȝȓțȪ ȘȜțȐȓȞȟȖȖȐȜȕȞȎȟȠȎșȎȟȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚȟȠȎȞȠȜȐȜȑȜZ= Si/ C ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ. ǽȞȖ Z= 3, ȟȠȓȝȓțȪ ȘȜțȐȓȞȟȖȖ ȎȘȟȖȎșȪțȩȣ Ȗ ȞȎȒȖȎșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 68.42% Ȗ 72.72%, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǰ ȞȓȕȡșȪȠȖȞȡȬȧȓȚ ȝȞȜȒȡȘȠȓ, ȝȜȚȖȚȜC-SiC ȝȞȖȟȡȠȟȠȐȜȐȎș ȎȚȜȞȢțȩȗ ȡȑșȓȞȜȒ. ǿȠȓȝȓțȪ ȘȜțȐȓȞȟȖȖ ȒȜȟȠȖȑȎșȎ 100% ȠȜșȪȘȜ ȝȞȖ Z= 5, ȥȠȜ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȣ ȝȜȠȓȞȭȣ ȘȞȓȚțȖȭ.
ȀȧȎȠȓșȪțȩȗ ȐȩȏȜȞ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȠȖȑșȓȗ Ȓșȭ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ, Ȗȣ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȎȭ ȝȜȒȑȜȠȜȐȘȎ Ȗ ȝȞȖȚȓțȓțȓțȖȓ
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
257 |
|
|
ȟȝȓȤȖȎșȪțȩȣȚȓȠȜȒȜȐȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭȝȜȕȐȜșȭȬȠȡȚȓțȪȦȖȠȪȝȜȠȓȞȖ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖ ȒȜ ȐȓșȖȥȖțȩ 5 10%.
ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜ-ȐȞȓȚȓțțȜȗ ȞȓȔȖȚ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗ ȟȖțȠȓȕȎ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠ ȢȎȕȜȐȩȗ ȟȜȟȠȎȐ Ȗ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǸȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, Ȝț ȟȜȟȠȜȖȠ Ȗȕ ȞȭȒȎ ȫȠȎȝȜȐ. ǰ ȞȎȏȜȠȓ [86] ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎșȜȟȪ ȒȐȎ ȫȠȎȝȎ. ǽȓȞȐȩȗȫȠȎȝȕȎȘșȬȥȎșȟȭȐȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖȚȎȠȞȖȤȩȘȞȓȚțȖȓȚ ȝȞȖ 1550°ǿ ȟȜ ȐȞȓȚȓțȓȚ ȐȩȒȓȞȔȘȖ (t1). ȄȓșȪȬ 2 ȫȠȎȝȎ ȭȐșȭșȜȟȪ ȖȟȝȎȞȓțȖȓȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜSi ȝȞȖ1700°ǿȖȐȞȓȚȓțȖȐȩȒȓȞȔȘȖ(t2). ǶȕȡȥȎșȜȟȪȐșȖȭțȖȓȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȖȫȠȖȣȫȠȎȝȜȐțȎȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎ SiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȐȞȓȚȓțȖ ȐȩȒȓȞȔȘȖ (t1) ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȡȚȓțȪȦȓțȖȬ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ Ȗ ȝȜȐȩȦȓțȖȬ ȝȞȜȥțȜȟȠȖ țȎ ȖȕȑȖȏ Ȗ ȖȕșȜȚ. ǶȟȝȎȞȓțȖȓ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȖ ȡȐȓșȖȥȓțȖȖ (t2) ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ Ȗ ȡȣȡȒȦȓțȖȬ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ ȟȐȜȗȟȠȐ. ǽȞȖ ȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȖ (t2) ȜȠ 20 ȚȖț ȒȜ 60 ȚȖț, ȟȞȓȒțȭȭ ȝȞȜȥțȜȟȠȪ țȎ ȖȕȑȖȏ ȎȘȟȖȎșȪțȩȣ Ȗ ȞȎȒȖȎșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȟțȖȔȎȓȠȟȭ țȎ 41.3% Ȗ 54.4%, ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǿȞȓȒțȭȭȠȞȓȧȖțȜȟȠȜȗȘȜȟȠȪȟțȖȔȎȓȠȟȭțȎ45.9% Ȓșȭ ȎȘȟȖȎșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȗ țȎ 49.7% Ȓșȭ ȞȎȒȖȎșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ.
ǿșȓȒȡȓȠ ȜȠȚȓȠȖȠȪ, ȥȠȜ ȖȟȝȎȞȓțȖȓ ȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȠȜșȪȘȜ Ȗȕ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟșȜȓȐ ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǽȜȫȠȜȚȡ, Ȓșȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȟ ȏȜșȪȦȖȚȖ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȚȖ ȞȎȕȚȓȞȎȚȖ Ȓșȭ ȝȜșțȜȑȜ ȖȟȝȎȞȓțȖȭ ȖȕȏȩȠȜȥțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȠȞȓȏȡȓȠȟȭ ȜȥȓțȪ ȏȜșȪȦȎȭ ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪ (t2) ȫȠȎȝȎ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȖȚȓțȭȠȪ ȒȎțțȩȗ ȚȓȠȜȒ Ȑ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȟȥȖȠȎȓȚ țȓȤȓșȓȟȜȜȏȞȎȕțȩȚ.
ǺȓȣȎțȖȕȚȩ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ
ǾȓȎȘȤȖȭ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȔȖȒȘȜȚ ȘȞȓȚțȖȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȫȘȕȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ. ǽȜȫȠȜȚȡ, ȝȞȜȤȓȟȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȐȜ ȚțȜȑȜȚ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ. ǰ ȜȠȒȓșȪțȩȣ ȟȖȠȡȎȤȖȭȣ ȒȎȔȓ ȝȞȖ țȖȕȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȠȖȑșȭ ȐȜȕȚȜȔțȜ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ șȜȘȎșȪțȩȣ ȜȏșȎȟȠȓȗ ȟ ȝȜȐȩȦȓțțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ Ȗ ȐȩȟȜȘȜȗ ȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȞȓȎȘȤȖȖ. ǰ ȫȠȖȣ ȜȏșȎȟȠȭȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ ȚȜȔȓȠ ȝȞȓȐȩȟȖȠȪ 2000°ǿ Ȗ ȐȩȕȐȎȠȪ ȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȖ C-SiC B-SiC.
ǺȓȣȎțȖȕȚȞȓȎȘȤȖȗ, ȘȜȠȜȞȩȓȝȞȜȖȟȣȜȒȭȠȐȟȖȟȠȓȚȓȡȑșȓȞȜȒ/ȔȖȒȘȖȗȘȞȓȚțȖȗ, ȒȎșȓȘȜȠȝȜțȖȚȎțȖȭ, ȣȜȠȭȫȠȖȞȓȎȘȤȖȖȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ Ȓșȭ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ ȞȭȒȎ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ SiC. ǰ țȎȟȠȜȭȧȓȓ ȐȞȓȚȭ ȜȏȟȡȔȒȎȬȠȟȭȟșȓȒȡȬȧȖȓȚȓȣȎțȖȕȚȩȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭ: ȝȞȜȤȓȟȟ, ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȗ ȒȖȢȢȡȕȖȓȗ (diffusion-controlled process) [87,
258 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
88]; ȝȞȜȤȓȟȟ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ–ȝȞȓȤȖȝȖȠȎȤȖȖ (solution-precipitation process) [89] Ȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ, ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȗ ȝȜȐȓȞȣțȜ-
ȟȠȪȬ (interface-controlled mechanisms).
ǻȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ ȒȐȓ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ SiC – țȎțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȓ ȟșȜȖ ȟ ȞȎȕȚȓȞȜȚ ȕȓȞȓț 100 țȚ Ȗ ȟșȜȖ ȟ ȜȑȞȎțȓțțȩȚȖ ȕȓȞțȎȚȖȞȎȕȚȓȞȜȚȒȜ15 ȚȘȚ. ǼȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȫȠȖȣȟȠȞȡȘȠȡȞȟȐȭȕȩȐȎȬȠ ȟȜȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖȡȑșȓȞȜȒțȜȗȚȎȠȞȖȤȩ. ǺȎȠȞȖȤȩȟțȖȕȘȜȗȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬ Ȗ ȠȜșȟȠȩȚȖ ȝȓȞȓȑȜȞȜȒȘȎȚȖ (> 3 ȚȘȚ) ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭ țȎșȖȥȖȓȚ țȎțȜȢȎȕȩ SiC. ǻȎ ȡȥȎȟȠȘȎȣ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬ Ȗ ȠȜțȘȖȚȖ ȡȑșȓȞȜȒțȩȚȖ ȝȓȞȓȑȜȞȜȒȘȎȚȖ (< 3 ȚȘȚ) țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭ ȝȜșțȜȓ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ Ȑ Si / SiC ȚȎȠȓȞȖȎș ȟ ȘȞȡȝțȩȚȖ SiC ȕȓȞțȎȚȖ.
DzȖȢȢȡȕȖȜțțȩȗ ȚȓȣȎțȖȕȚ (diffusion-controlled process)
ǰȟșȡȥȎȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭ ȝȎȞȜȐ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȒȐȡȣȚȓȞțȜȑȜ SiC ȟșȜȭ ȝȞȖȐȜȒȖȠ Ș ȞȎȕȒȓșȓțȖȬ ȑȎȕȜȜȏȞȎȕțȜȑȜ Si Ȗ ȡȑșȓȞȜȒȎ, ȥȠȜȠȜȞȚȜȕȖȠȒȎșȪțȓȗȦȡȬȞȓȎȘȤȖȬ. ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȘȎȞȏȖȒȖȕȎȤȖȭ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȐȒȐȓȟȠȎȒȖȖ, ȟȞȎȕșȖȥȎȬȧȖȚȖȟȭȟȘȜȞȜȟȠȭȚȖ. ǸȜțȐȓȞȟȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎȐȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȭȐȩȕȩȐȎȓȠȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȓȜȏȨȓȚȎ, ȥȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬȚȖȘȞȜȝȜȞȐȟșȜȓSiC. ȋȠȖțȜȐȩȓȝȜȞȩȜȏȞȎȕȡȬȠ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȓ ȘȎțȎșȩ Ȓșȭ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȝȎȞȜȐ Si.
ǰȞȎȏȜȠȓ [90] țȎȏșȬȒȎșȎȟȪ ȟȖșȖȘȜțȖȕȎȤȖȭ ȏȓȟȝȜȞȖȟȠȩȣ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȝșȜȠțȜȑȜ ȟșȜȭ SiC. ǮȐȠȜȞȩ ȝȞȓȒȝȜșȜȔȖșȖ, ȥȠȜ ȞȓȎȘȤȖȭ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȚȓȔȒȡ ȡȑșȓȞȜȒȜȚ
ȖSiC Ȗ ȒȖȢȢȡȕȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȜȟțȜȐțȩȚ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȚ ȠȞȎțȟȝȜȞȠȎ. ǾȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȓȠȟȭ ȒȐȓ ȟȠȎȒȖȖ ȝȞȜȤȓȟȟȎ. ǰțȎȥȎșȓ, ȔȖȒȘȖȗ ȘȞȓȚțȖȗ ȏȩȟȠȞȜ ȟȚȎȥȖȐȎȓȠ ȡȑșȓȞȜȒțȡȬ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ, ȝȞȖȐȜȒȭ
ȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ SiC. ǽȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȜȥȓțȪ ȏȩȟȠȞȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ ȒȎșȓȘȎȭ ȜȠ ȞȎȐțȜȐȓȟȖȭ. ǰ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȜȏȞȎȕȡȓȠȟȭ ȑșȎȒȘȖȗ ȟșȜȗ SiC-I. ȋȠȜȠ țȎțȜȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȖȗ ȟșȜȗ SiC-I ȜȏșȎȒȎȓȠ ȐȩȟȜȘȖȚ ȕțȎȥȓțȖȓȚ ȟȐȜȏȜȒțȜȗ ȫțȓȞȑȖȖ Ȗȕ-ȕȎ ȏȜșȪȦȜȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ Ȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǽȜȟșȓȒȡȬȧȖȗ ȞȜȟȠ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȟȚȎșȜȗȟȘȜȞȜȟȠȪȬ ȝȡȠȓȚȒȖȢȢȡȕȖȖSi ȥȓȞȓȕȫȠȜȠȏȎȞȪȓȞ, ȠȎȘȘȎȘȐȓșȖȥȖțȎȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȒȖȢȢȡȕȖȖ ȘȞȓȚțȖȭ ȥȓȞȓȕ ȟșȜȗ SiC ȚȎșȎ. ǿȖșȪțȜ șȜȘȎșȖȕȜȐȎțțȎȭ, ȫȘȕȜȠȓȞȚȖȥȓȟȘȎȭ ȞȓȎȘȤȖȭ Ȗ țȖȕȘȎȭ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȚȎȠȞȖȤȩ (Ȗȕ-ȕȎ ȐȩȟȜȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȒȓȢȓȘȠȜȐ) ȐȩȕȩȐȎȬȠ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȓ șȜȘȎșȪțȩȣ ȡȥȎȟȠȘȜȐ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ. ȋȠȜ, ȐȚȓȟȠȓ ȟ țȓȜȒțȜȞȜȒțȜȗțȎțȜȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗȡȑșȓȞȜȒȎ, ȝȞȖȐȜȒȖȠȘȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ ȏȜșȪȦȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȤȓțȠȞȜȐ țȡȘșȓȎȤȖȖ. ǰȜȕțȖȘȎȬȠ șȜȘȎșȪțȩȓ
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
259 |
|
|
ȡȥȎȟȠȘȖ ȟ ȝȜȐȩȦȓțțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗ. ǼȒțȎȘȜ, ȫȠȎ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ țȓ ȒȜȟȠȖȑȎȓȠ ȐȓșȖȥȖțȩ, ȝȞȖ ȘȜȠȜȞȜȗ ȐȜȕȚȜȔțȎ C B ȠȞȎțȟȢȜȞȚȎȤȖȭ. Ƕȕ-ȕȎ țȓȞȎȐțȜȐȓȟțȩȣ ȡȟșȜȐȖȗ ȞȓȎȘȤȖȖ ȕȓȞțȎ C-SiC ȟȜȒȓȞȔȎȠ ȏȜșȪȦȜȓ ȥȖȟșȜ ȒȓȢȓȘȠȜȐ ȡȝȎȘȜȐȘȖ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, SiC-I ȭȐșȭȓȠȟȭ țȓȟȠȎȏȖșȪțȩȚ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚȖȜȏșȎȒȎȓȠȏȜșȪȦȜȗȒȐȖȔȡȧȓȗȟȖșȜȗ Ȓșȭ ȫȐȜșȬȤȖȖ Ȑ SiC-II.
ǺȓȣȎțȖȕȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ–ȜȟȎȔȒȓțȖȭ (solution–precipitation process)
ȋȠȜȠȚȓȣȎțȖȕȚȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȝȜȐȠȜȞȭȬȧȖȓȟȭȫȠȎȝȩȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ ƙ
ȐȔȖȒȘȜȚ Si ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȝȞȓȤȖȝȖȠȎȠȜȐ, ȜȏȞȎȕȡȬȧȖȣȟȭ ȝȞȖ ȒȐȖȔȓțȖȖ ȢȞȜțȠȎ ȞȓȎȘȤȖȖ, Ȑ ȝȓȞȓțȎȟȩȧȓțțȜȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓ ȡȑșȓȞȜȒȎ
ȐȘȞȓȚțȖȖ[91 94]. ǰȜȐȞȓȚȭȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȔȖȒȘȖȚȘȞȓȚțȖȓȚȝȜȞȖȟȠȜȗȡȑșȓȞȜȒțȜȗȚȎȠȞȖȤȩȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȓ ȡȑșȓȞȜȒȎ, ȝȞȖȐȜȒȭȧȓȓ Ș ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȬ SiC Ȑ țȎȟȩȧȓțțȜȚ ȡȑșȓȞȜ-
ȒȜȚ ȔȖȒȘȜȚ ȘȞȓȚțȖȖ, ȠȎȘ ȘȎȘ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȑ ȘȞȓȚțȖȖ țȖȕȘȎȭ (ȜȘȜșȜ 3.5¸10 2 ȎȠ%ƙ Ȑ Si ȝȞȖ 1600°ǿ) [95]. ǯȖȜȡȑșȓȞȜȒțȩȓ ȚȎȠȞȖȤȩ ȖȚȓȬȠ ȜȥȓțȪ ȞȎȕȐȖȠȡȬ ȝȜȞȖȟȠȡȬ ȟȠȞȡȘȠȡȞȡ, ǯșȎȑȜȒȎȞȭ ȏȜșȪȦȜȗ ȝșȜȧȎȒȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȐȜȕțȖȘȎȓȠ șȜȘȎșȪțȜȓ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȖȡȑșȓȞȜȒȎȐȘȞȓȚțȖȖ, ȥȠȜȝȞȖȐȜȒȖȠȘ ȐȜȕțȖȘțȜȐȓțȖȬ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȗ ȒȐȖȔȡȧȓȗ ȟȖșȩ Ȓșȭ ȜȟȡȧȓȟȠȐșȓțȖȭ ȞȓȎȘȤȖȖ. ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ țȎ țȎȥȎșȪțȜȗ ȟȠȎȒȖȖ ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭ ȟȡȏȚȖȘȞȜțțȩȗ ȟșȜȗ SiC, ȘȜȠȜȞȩȗ ȟșȡȔȖȠ ȖȟȠȜȥțȖȘȜȚ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȜȑȞȎțȓțțȩȣ ȕȓȞȓț. ǼȤȓțȘȖ ȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜ ȝȞȖ 1600°ǿ ȕȎ 40 ȚȖț ȚȜȑȡȠ ȜȏȞȎ-
ǾȖȟ. 9.8. ǰȖȒ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȜșȜȘȜț ȝȜȟșȓ țȎțȓȟȓțȖȭ SiC ȝȜȘȞȩȠȖȭ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ (Ȏ) ȔȖȒȘȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ Ȗ (ȏ) ȓȑȜ ȝȎȞȜȐ [91]
260 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ȕȜȐȩȐȎȠȪȟȭ ȜȑȞȎțȓțțȩȓ ȚȖȘȞȜȘȞȖȟȠȎșșȩ ȞȎȕȚȓȞȜȚ ȒȜ 4 5 ȚȘȚ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȚȓȣȎțȖȕȚ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ–ȝȞȓȤȖȝȖȠȎȤȖȖ ȖȚȓȓȠ șȖțȓȗțȡȬ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȟȘȜȞȜȟȠȖ ȞȓȎȘȤȖȖ ȞȎȟȠȐȜȞȓțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒȎ
ȐȘȞȓȚțȖȖ [96].
ǿȤȓșȪȬȜȝȞȓȒȓșȓțȖȭȚȓȣȎțȖȕȚȎȞȓȎȘȤȖȖȐȞȎȏȜȠȓ[97] ȝȞȜȐȓșȖ ȜȒțȜȐȞȓȚȓțțȜȓ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȓ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȐȜșȜȘȜț ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ Ȗ ȓȑȜ ȝȎȞȎȚȖ. ǻȎ ȞȖȟ. 9.8 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȖȕȜȏȞȎȔȓțȖȭ ȝȡȥȘȜȐ ȐȜșȜȘȜț, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȟȝȜȚȜȧȪȬȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȑȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȎ. ǻȎ ȐȜșȜȘțȎȣ, ȝȞȜȝȖȠȎțțȩȣ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ, țȎȏșȬȒȎȬȠȟȭ ȜȑȞȎțȓțțȩȓ ȚȖȘȞȜȘȞȖȟȠȎșșȩ C-SiC ȞȎȕȚȓȞȜȚ ȜȘȜșȜ 4 5 ȚȘȚ. ǽȞȖȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖȝȎȞȎȚȖȘȞȓȚțȖȭțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȡȑșȓȞȜȒțȩȣȐȜșȜȘȜț țȎȏșȬȒȎȓȠȟȭȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȑșȎȒȘȜȑȜȟșȜȭȎȚȜȞȢțȜȑȜȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓ ȫȠȜȑȜ ȟșȜȭ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎȚȖ, ȘȜțȠȞȜșȖȞȡȓȚȩȚȖȒȖȢȢȡȕȖȓȗ[88, 89]. ȋȠȖȚȎȠȓȞȖȎșȩ șȓȑȘȜ ȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ ȝȜ ȜȘȞȎȟȘȓ. ǺȖȘȞȜȘȞȖȟȠȎșȖȥȓȟȘȖȓ ȟșȜȖ ȖȚȓȬȠ ȔȓșȠȜ-ȘȜȞȖȥțȓȤȩȗ ȤȐȓȠ, ȎȚȜȞȢțȩȓ ȟșȜȖ – ȏȓșȩȗ.
ǰ ǶȂǽ ȖȚ. ǰ.dz.ǹȎȦȘȎȞȓȐȎ ǻǮǻ ȁȘȞȎȖțȩ ȝȞȜȐȜȒȭȠȟȭ ȞȎȏȜȠȩ ȝȜȞȎȕȞȎȏȜȠȘȓȠȓȣțȜșȜȑȖȖȖȖȕȡȥȓțȖȬȟȐȜȗȟȠȐȏȖȜȚȜȞȢțȜȗSiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ [97 104]. ǻȎ ȞȖȟ. 9.9 Ȗ 9.10 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȜȏȞȎȕȤȩ ȝȜȞȖȟȠȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗ Ȑ șȎȏȜȞȎȠȜȞȖȖ ȖțȟȠȖȠȡȠȎ. ǽȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜ ȚȓȠȜȒ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȭ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȞȖȤ ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ ȚȜȔȓȠȏȩȠȪȠȎȘȔȓȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȒșȭȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭȘȓȞȎȚȖȘȖȖȕ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȩȣ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ: ȡȑșȓȞȜȒțȜȑȜȐȜȗșȜȘȎ, ȠȘȎțȖ, ȐȜșȜȘȜț, ȢȜșȪȑȖ Ȗ ȒȞ.
ǾȖȟ. 9.9. ȂȜȠȜȑȞȎȢȖȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȏȖȜȚȜȞȢțȜȗ SiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ [98]
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
261 |
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ǾȖȟ. 9.10. ȂȜȠȜȑȞȎȢȖȭ ȘȓȞȎȚȖȥȓȟȘȖȣ ȖȕȒȓșȖȗ Ȗȕ ȝȞȜȚȩȦșȓțțȩȣ ȡȑșȓȞȜȒțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ [98]
ǺȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȞȖȟȠȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ
DzșȭȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȎȤȖȖȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣȟȐȜȗȟȠȐȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȟșȓȒȡȬȧȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ: ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ, ȝȞȓȒȓș ȝȞȜȥțȜȟȠȖ ȝȞȖ ȞȎȟȠȭȔȓțȖȖ, ȝȞȓȒȓșȝȞȜȥțȜȟȠȖȝȞȖȟȔȎȠȖȖ, ȝȞȜȥțȜȟȠȪȝȞȖȟȠȎȠȖȥȓȟȘȜȚȖȕȑȖȏȓ, ȝȞȜȥțȜȟȠȪȝȞȖȟȒȐȖȑȓ, ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȭȖȒȞȡȑȖȓȝȎȞȎȚȓȠȞȩ. ǺȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȞȖȟȠȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȟȖșȪțȜ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȓȓ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ. ǾȭȒ ȎȐȠȜȞȜȐ ȝȞȓȒȝȞȖțȖȚȎș ȝȜȝȩȠȘȖ ȚȜȒȓșȖȞȜȐȎȠȪ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓȟȐȜȗȟȠȐȎȝȜȞȖȟȠȜȗȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǼȒțȎȘȜ, ȖȚȓȓȠȟȭȝșȜȣȜȓ ȟȜȑșȎȟȜȐȎțȖȓ ȚȓȔȒȡ ȚȜȒȓșȭȚȖ Ȗ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȚȖ ȒȎțțȩȚȖ, ȥȠȜ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚ ȞȎȕșȖȥȖȓȚ ȚȓȔȒȡ ȖȟȟșȓȒȡȓȚȩȚȖ ȜȏȞȎȕȤȎȚȖȖȖȒȓȎșȖȕȖȞȜȐȎțțȩȚȖȟȠȞȡȘȠȡȞȎȚȖ. ȁȥȖȠȩȐȎȭȞȎȕșȖȥȖȭ Ȑ ȝȜȞȖȟȠȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȓ, ȜȏȩȥțȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȒȐȎ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȜȒȣȜȒȎ Ș ȘȓȞȎȚȖȘȓ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗ Ȗȕ softwood Ȗ hardwood. Dzșȭ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗ Ȗȕ softwood (ȏȜșȓȓ 70% ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ Ȗ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜ ȜȒțȜȞȜȒțȜȓ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓ ȞȎȕȚȓȞȎ ȝȜȞ) ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭ ȚȜȒȓșȪ ȠȐȓȞȒȜȠȓșȪțȩȣȭȥȓȖȟȠȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞ(the solid cellular model) [105 107]. Dzșȭ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗȖȕșȖȟȠȐȓțțȩȣȝȜȞȜȒ(ȚȓțȪȦȎȭȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȖțȓȜȒțȜȞȜȒțȜȓȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȓȝȜȞȝȜȞȎȕȚȓȞȡ) ȖȟȝȜșȪȕȡȓȠȟȭȠȓȜȞȖȭ, ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȎȭȐ[108], ȐȘȜȠȜȞȜȗȝȞȜȥțȜȟȠȪȕȎȐȖȟȖȠȜȠȚȖțȖȚȎșȪțȜȗ ȠȐȓȞȒȜȗ ȝșȜȧȎȒȖ (the minimum solid area MSA) ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜȗ Ș ȝȞȖșȜȔȓțțȜȗ țȎȑȞȡȕȘȓ [109 112].
ǺȜȒȡșȪ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ
Dzșȭ ȜȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȚȜȒȡșȭ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ SiC ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȞȎȕțȜȜȏȞȎȕțȩȓ ȚȓȠȜȒȩ: ȎȘȡȟȠȖȥȓȟȘȖȗ ȞȓȕȜțȎțȟ, ȞȎȟȠȭȔȓțȖȓ, ȖȕȑȖȏ,
262 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ȀȎȏșȖȤȎ 9.6. ǺȜȒȡșȪ ȌțȑȎ B Ȗ C-SiC ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȜȐ
ȀȜșȧȖțȎ |
ǺȜȒȡșȪ |
ȀȓȚȝȓ- |
|
|
||
ȜȏȞȎȕȤȜȐ, |
ǺȎȠȓȞȖȎș |
ǶȟȠȜȥțȖȘ |
||||
ȌțȑȎ, DZǽȎ |
ȞȎȠȡȞȎ, |
°ǿ |
||||
ȚȚ |
|
|
||||
|
|
|
|
|
||
|
39.2 |
20 |
|
B-SiC |
[114] |
|
|
|
|
||||
35.7 |
1200 |
|
||||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
3.13 |
392 |
20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2.35 |
447 |
20 |
|
3ǿ-SiC, țȓ |
|
|
1.29 |
442 |
20 |
|
șȓȑȖȞȜȐȎț |
[115] |
|
|
|
|
|
|
||
10 |
448 |
20 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
694 |
20 |
|
3ǿ-SiC, (Al) |
|
|
|
Ȟ-ȠȖȝ, |
|
||||
|
|
|
|
|
||
țȎțȜȖȒȓțȠȎȤȖȭ, ȖȒȓțȠȎȤȖȭ ȝȜ ǰȖȘȓȞȟȡ Ȗ ȒȞȡȑȖȓ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȩȚȚȜȒȡșȓȚȡȝȞȡȑȜȟȠȖȜȏșȎȒȎȓȠȚȎȠȓȞȖȎșȐȩȟȜȘȜȗȥȖȟȠȜȠȩ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ. ǺȜȒȡșȪ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȟ ȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȓȚ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ Ȗ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȝȞȖȚȓȟȓȗ. ǾȎȕȚȓȞ ȚȖȘȞȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ Ȗ ȝȜșȖȠȖȝ SiC țȓ ȜȘȎȕȩȐȎȬȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȑȜ ȐșȖȭțȖȭ țȎ ȚȜȒȡșȪ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ. ǽȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȚȜȒȡșȪ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȫȘȟȝȜțȓțȤȖȎșȪțȜȗ ȢȡțȘȤȖȓȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ [113]:
E= E0exp( ǮVP), |
(9.12) |
ȑȒȓ E0 – ȚȜȒȡșȪ ȌțȑȎ ȏȓȟȝȜȞȖȟȠȜȑȜ SiC, Ǯ – ȘȜțȟȠȎțȠȎ, VP – ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ. ǻȓ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȑȜ ȞȎȕșȖȥȖȭ Ȑ ȚȜȒȡșȓ ȡȝȞȡȑȜȟȠȖ Ȓșȭ B Ȗ C-SiC ȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȜȐ, ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗ ȑȜȞȭȥȖȚ ȝȞȓȟȟȜȐȎțȖȓȚ, ȟȖțȠȓȕȜȚȖȚȎȠȓȞȖȎșȎȚȖȝȜșȡȥȓțțȩȚȖȚȓȠȜȒȜȚCVD (ȠȎȏșȖȤȎ 9.6).
ȀȐȓȞȒȜȟȠȪ
ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜSiC ȜȠțȜȟȖȠȟȭ ȘȘȜȐȎșȓțȠțȩȚ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȚ, ȖȚȓȬȧȖȚ țȎȖȏȜșȪȦȡȬ ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ. ȀȐȓȞȒȜȟȠȪ – ȫȠȜ ȘȜȚȝșȓȘȟțȜȓ ȟȐȜȗȟȠȐȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ, ȕȎȐȖȟȭȧȓȓ ȜȠ ȡȟșȜȐȖȗ ȓȑȜ ȝȜșȡȥȓțȖȭ, ȟȜȟȠȎȐȎ Ȗ ȝȞȖȚȓȟȓȗ. Dzșȭ ȖȕȚȓȞȓțȖȭ ȠȐȓȞȒȜȟȠȖ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠ ȠȐȓȞȒȩȗ țȎȘȜțȓȥțȖȘ – ȖțȒȓțȠȜȞ, ȒȓȢȜȞȚȎȤȖȓȗ ȘȜȠȜȞȜȑȜ ȚȜȔțȜ ȝȞȓțȓȏȞȓȥȪ.
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
263 |
|
|
ȀȐȓȞȒȜȟȠȪȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȘȎȘȟȠȎȠȖȟȠȖȥȓȟȘȖȚȖ, ȠȎȘȖȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȖȚȖ ȚȓȠȜȒȎȚȖ.
ȀȐȓȞȒȜȟȠȪ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪ ȚȓȠȜȒȎȚȖ ǰȖȘȓȞȟȎ,
ǸțȜȞȎȖțȎțȜȖțȒȓțȠȎȤȖȖ. CȡȧȓȟȠȐȓțțȩȣȞȎȕșȖȥȖȗȚȓȔȒȡȒȎțțȩȚȖ ȝȜ ǰȖȘȓȞȟȡ Ȗ ǸțȜȞȡ țȓ țȎȏșȬȒȎșȜȟȪ, ȜȒțȎȘȜ ȒȎțțȩȓ ȝȜ țȎțȜȠȐȓȞȒȜȟȠȖ, ȘȎȘ ȝȞȎȐȖșȜ, ȐȩȦȓ ȕțȎȥȓțȖȗ ȝȜ ǰȖȘȓȞȟȡ Ȗ ǸțȜȞȡ.
ǰ ǶȂǽ ȖȚ. ǰ.dz. ǹȎȦȘȎȞȓȐȎ ǻǮǻ ȁȘȞȎȖțȩ ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖ ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ ȏȖȜȚȜȞȢțȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȗȕ ȞȭȒȎ ȝȜȞȜȒ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ ȝȞȖ ȒȐȡȣ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȭȣ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜ ȖȝȎȞȎșșȓșȪțȜ țȎȝȞȎȐșȓțȖȬ ȞȜȟȠȎ. ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖ ȚȓȠȜȒ ǰȖȘȓȞȟȎ ȝȞȖ țȎȑȞȡȕȘȓ 0.1 Șǻ. Ƕȕ-ȕȎ țȖȕȘȜȗ ȜȒțȜȞȜȒțȜȟȠȖȚȎȠȓȞȖȎșȎȖȕȚȓȞȓțȖȭȝȞȜȐȜȒȖșȖȐȠȞȓȣȠȜȥȘȎȣȝȜȐȓȞȣțȜcȠȖȜȏȞȎȕȤȜȐ. ȁȟȠȎțȜȐșȓțȜ, ȥȠȜȠȐȓȞȒȜȟȠȪȘȓȞȎȚȖȘȖȐțȎȝȞȎȐșȓțȖȖ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜȚȞȜȟȠȡȒȞȓȐȓȟȖțȩȐ2 3 ȞȎȕȎțȖȔȓ, ȥȓȚȐ țȎȝȞȎȐșȓțȖȖȝȎȞȎșșȓșȪțȜȚȜȟȖȞȜȟȠȎ. ǻȎȞȖȟ. 9.11 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩȑȞȎȢȖȘȖ
ǾȖȟ. 9.11. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȠȐȓȞȒȜȟȠȖȜȏȞȎȕȤȜȐȏȖȜȚȜȞȢțȜȗȘȓȞȎȚȖȘȖ. z – ȜșȪȣȎ, – ȑȞȡȦȎ, – ȏȡȘ, – ȑȞȎȏ ȜȠ ȓȓ ȝșȜȠțȜȟȠȖ Ȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ
264 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȠȐȓȞȒȜȟȠȖ ȜȠ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ Ȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ. ǯȜșȪȦȜȗ ȞȎȕȏȞȜȟ ȒȎțțȩȣ ȟȐȭȕȎț ȟ ȠȓȚ, ȥȠȜ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ Ȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȖțȠȓȑȞȎșȪțȩȚȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȒȎțțȩȓ ȝȜ ȠȐȓȞȒȜȟȠȖ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȑ ȜȘȞȓȟțȜȟȠȭȣȠȜȥȘȖȖțȒȓțȠȎȤȖȖ. ǶȕȑȞȎȢȖȘȜȐȐȖȒțȜ, ȥȠȜȠȐȓȞȒȜȟȠȪ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ ȝȞȖ ȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȖ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ Ȗ ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȝȞȖ ȐȜȕȞȎȟȠȎțȖȖ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ. ǽȜȐȩȦȓțȖȓ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȜȟȠȎȠȜȥțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ. ǸȞȓȚțȖȗ ȕȎȝȜșțȭȓȠ ȥȎȟȠȪ ȝȜȞ Ȗ ȠȓȚ ȟȎȚȩȚ ȡȚȓțȪȦȎȓȠ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȘȓȞȎȚȖȘȖ. ȀȐȓȞȒȜȟȠȪȝȜȞȖȟȠȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȡȞȎȐțȓțȖȓȚ [113]:
VH = V0H exp( BVP ), |
(9.13) |
ȑȒȓ V0H= 27.7 DZǽȎ – ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ ȚȜțȜșȖȠțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ (Ȑ ȒȎțțȜȚ ȟșȡȥȎȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎ SiC), VH – ȠȐȓȞȒȜȟȠȪ ȝȜȞȖȟȠȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ, B – ȘȜțȟȠȎțȠȎ, ȕȎȐȖȟȭȧȎȭ ȜȠ ȢȜȞȚȩ ȝȜȞ [105, 108]. Ƕȕ ȑȞȎȢȖȘȜȐ țȎ ȞȖȟ. 9.11 ȟșȓȒȡȓȠ, ȥȠȜ B_3 Ȓșȭ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȗȕ ȑȞȎȏȎ Ȗ B= 6 7 Ȓșȭ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȗȕ ȏȡȘȎ, ȜșȪȣȖ Ȗ ȑȞȡȦȖ.
ǽȞȜȥțȜȟȠȪ țȎ ȟȔȎȠȖȓ
ǰ ȞȎȏȜȠȓ [116] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȎȟȪ ȡȟȠȜȗȥȖȐȜȟȠȪ Ș ȟȔȎȠȖȬ ȏȖȜȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗ Ȗȕ ȒȐȡȣ ȐȖȒȜȐ ȟȜȟțȩ white pine Ȗ Flanders pine. ǻȖȕȘȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȜȏȞȎȕȤȜȐ, țȖȕȘȎȭ ȐȕȎȖȚȜȟȐȭȕȪ ȥȎȟȠȖȤ SiC
ȐȝȜȞȖȟȠȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȓ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠ Ȗȣ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ. ȋȠȖ ȐȖȒȩ ȘȓȞȎȚȖȘȖ Ȗȕ white pine Ȗ Flanders pine ȚȜȔțȜ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȠȪ ȘȎȘ ȣȜȞȜȦȖȗ ȝȞȖȚȓȞ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȟȜȟȠȜȭȧȓȗ Ȗȕ ȏȓȟȘȜțȓȥțȜȗ ȟȓȠȖ (continuous network) SiC Ȗ Si ȟ ȜȥȓțȪ țȖȕȘȖȚ Ȗ ȜȥȓțȪ ȐȩȟȜȘȖȚ ȟȜȒȓȞȔȎțȖȓȚ ȜȟȠȎȠȜȥțȜȑȜ ȘȞȓȚțȖȭ. Dzșȭ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ țȖȔȓ30%, ȚȜȒȓșȪGibson ȖAshby [105] ȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȝȜȠȓțȤȖȎșȪțȡȬ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȚȓȔȒȡȟȖșȜȗȟȔȎȠȖȭȖȝșȜȠțȜȟȠȪȬ, ȘȜȠȜȞȎȭȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ
ȐȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ țȎȑȞȡȕȘȖ Ȗ ȠȖȝȎ ȚȖȘȞȜȟȠȞȡȘȠȡȞȩ.
TC |
Tys = C1(SC |
SS )3 2 |
(9.14) |
TC |
Tys = C2(SC |
SS ) |
(9.15) |
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
265 |
|
|
TC Tys = C3(SC SS )2 |
(9.16) |
ȑȒȓTC – ȟȖșȎȟȔȎȠȖȭȭȥȓȖȟȠȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎ, Tys – ȟȖșȎȟȔȎȠȖȭȟȝșȜȦțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ȝȞȖ ȒȎțțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, SC – ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȭȥȓȖȟȠȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ, SS – ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȟȝșȜȦțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ ǿ1, ǿ2, ǿ3 – ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȘȜțȟȠȎțȠȩ. ȁȞȎȐțȓțȖȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠ ȟȔȎȠȖȓ (9.14) ȐȟȝȓțȓțțȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ, ȡȞȎȐțȓțȖȓ (9.15) – ȟȜȠȜȐȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș ȝȞȖ ȜȟȓȐȜȚȟȔȎȠȖȖȖȡȞȎȐțȓțȖȓ(9.16) – ȟȜȠȜȐȩȗȚȎȠȓȞȖȎșȝȞȖ ȝȜȝȓȞȓȥțȜȚ ȟȔȎȠȖȖ. C1, C2, C3 – ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȘȜțȟȠȎțȠȩ. ǰ ȟșȡȥȎȓ ȘȓȞȎȚȖȘȖțȎȜȟțȜȐȓȒȞȓȐȓȟȖțȩȝȞȖȜȟȓȐȜȚȟȔȎȠȖȖȝȞȓȒșȎȑȎȓȠȟȭȚȓȣȎțȖȕȚ ȞȎȕȞȡȦȓțȖȭ, ȘȜȠȜȞȩȗȭȐșȭȓȠȟȭȘȜȚȏȖțȎȤȖȓȗțȎȑȞȡȕȜȥțȩȣȚȜȒ, ȜȝȖȟȩȐȎȓȚȩȣ ȡȞȎȐțȓțȖȭȚȖ (9.14) Ȗ (9.15), ȠȎȘ ȥȠȜ Ȓșȭ ȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖȝȜȘȎȕȎȠȓșȪȟȠȓȝȓțȖȐȡȞȎȐțȓțȖȭȣȝȞȖțȖȚȎȓȠȕțȎȥȓțȖȓȚȓȔȒȡ 1 Ȗ 1.5. ǽȜȞȖȟȠȩȗ SiC ȝȞȖ ȞȎȒȖȎșȪțȜȚ ȟȔȎȠȖȖ ȐȓȒȓȠ ȟȓȏȭ ȘȎȘ ȟȜȠȜȐȩȗ ȚȎȠȓȞȖȎș. ȀȎȘȖȚȜȏȞȎȕȜȚ, ȐȝȓȞȐȜȚȝȞȖȏșȖȔȓțȖȖȝȜȐȓȒȓțȖȓȝȜȞȖȟȠȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȘȎȥȓȟȠȐȓțțȜ ȜȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ ȝȞȜȟȠȩȚ țȎȏȜȞȜȚ ȡȞȎȐțȓțȖȗ.
ǽȞȜȥțȜȟȠȪ țȎ ȖȕȑȖȏ
ǰȝȜșțȓ ȜȥȓȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȐȩȕȩȐȎȓȠ ȟțȖȔȓțȖȓ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȜȗ ȝȞȜȥțȜȟȠȖ. ǶȕȐȓȟȠȓț ȞȭȒ ȚȜȒȓșȓȗ, ȡȟȠȎțȎȐșȖȐȎȬȧȖȣ ȕȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȚȓȔȒȡ ȝȞȜȥțȜȟȠȪȬ Ȗ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪȬȠȎȘȖȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ[117]. ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȜ ȡȟȠȎțȜȐșȓțȜ [118], ȥȠȜ ȝȞȖ ȝȞȜȝȖȠȩȐȎțȖȖ ȝȎȞȎȚȖ Si ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȚȎȠȞȖȤȩ Ȗȕ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ (ȎȚȓȞȖȘȎțȟȘȎȭ șȖȝȎ) ȜȠȘȞȩȠȎȭ ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȟțȖȔȎșȎȟȪ ȜȠ 65% ȒȜ 55%, ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȝȞȜȥțȜȟȠȪ țȎ ȖȕȑȖȏ ȐȜȕȞȎȟȠȎșȎ ȜȠ 7.5 ȒȜ 59 Ǻǽa.
ǺȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȞȖȟȠȩȣ ȣȞȡȝȘȖȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȑȓȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȖȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȟȠȞȜȓțȖȭ ȭȥȓȓȘ Ȗ ȐȎȞȖȎȤȖȗ Ȑ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȖțȎȑȞȡȕȘȖțȎȝȓȞȓȑȜȞȜȒȘȖ(ȟȠȓțȜȘȭȥȓȓȘ). ǰȞȎȏȜȠȓ[109] ȝȜșȡȥȓțȜ ȟșȓȒȡȬȧȓȓ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȓ
|
TS exp( AVP ) = exp ¡(S |
|
¯ |
, |
(9.17) |
T = TP |
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1)° |
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¢ |
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± |
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ȑȒȓ T – ȜȠțȜȦȓțȖȓ ȝȞȜȥțȜȟȠȖ ȝȜȞȖȟȠȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ TP Ș ȝȞȜȥțȜȟȠȖ ȝșȜȠțȜȑȜȏȓȕȟȝȜȞȖȟȠȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎTS, VP – ȝȜȞȖȟȠȜȟȠȪ, Ǯ – ȘȜțȟȠȎțȠȎ, ȕȎȐȖȟȭȧȎȭȜȠȘȜșȖȥȓȟȠȐȎȝȜȞȖȖȣȢȜȞȚȩ, ȖS = SP/ SS ȜȠțȜȦȓțȖȓ ȝșȜȠțȜȟȠȓȗ ȝȜȞȖȟȠȜȑȜ Ȗ ȏȓȟȝȜȞȖȟȠȜȑȜ ȚȎȠȓȞȖȎșȎ. Dzșȭ SS ȝȞȖțȭȠȜ ȕțȎȥȓțȖȓ 1.5 ȑ/ȟȚ3 (ȝȖȞȜșȖȠȖȥȓȟȘȖȗ ȡȑșȓȞȜȒ) Ȗ 3.2 ȑ/ȟȚ3 (SiC).
266 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ
ȀȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȝȜȞȖȟȠȜȗ SiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ
ǰȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȝȞȭȚȜȑȜ ȢȖȕȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȏȜșȪȦȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȝȜȞȖȟȠȩȣȫșȓȚȓțȠȜȐȠȓȞȚȜȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎȠȓșȓȗȟȑȎȕȜȜȏȞȎȕțȩȚȖ Ȗ ȔȖȒȘȖȚȖ țȜȟȖȠȓșȭȚȖ ȠȓȝșȜȐȜȗ ȫțȓȞȑȖȖ ȒȓșȎȓȠ Ȗȣ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚȖ ȑȓțȓȞȎȠȜȞȎȚȖ ȫșȓȘȠȞȜȫțȓȞȑȖȖ. ǽȜȞȖȟȠȜȟȠȪ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ ȐșȖȭȓȠ țȎ Ȗȣ ȫșȓȘȠȞȜ- Ȗ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ. ǽȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟ ȚȓȠȎșșȎȚȖ, Ȑ ȘȜȠȜȞȩȣ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȝȓȞȓțȜȟȜȚ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ, ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ SiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȠȞȎțȟȝȜȞȠȜȚ ȢȜțȜțȜȐ. ȂȜțȜț-ȢȜțȜțțȜȓ ȐȕȎȖȚȜȒȓȗȟȠȐȖȓ ȖȑȞȎȓȠ ȐȎȔțȡȬ ȞȜșȪ Ȑ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȖ SiC. ǾȎȟȟȓȭțȖȓ ȢȜțȜțȜȐ țȎ ȝȜȞȎȣ ȚȜȔȓȠ ȟțȖȔȎȠȪ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ SiC ȝȜȞȖȟȠȜȗ ȘȓȞȎȚȖȘȖ [119, 120]. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȠȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȡșȡȥȦȓțȩ ȝȡȠȓȚ ȜȝȠȖȚȖȕȎȤȖȖ ȠȞȓȣȚȓȞțȜȗ ȚȎȘȞȜȝȜȞȖȟȠȜȗ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ [119 124]. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ, ȥȠȜ ȠȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȡșȡȥȦȓțȩ ȐȐȓȒȓțȖȓȚ Si (ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ ȫșȓȘȠȞȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ). ǿ ȒȞȡȑȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, SiC ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȟȠȎȏȖșȪțȎ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ Ȗ țȓȠȜȘȟȖȥțȎ Ȑ ȜȠșȖȥȖȓ ȜȠ ȖțȠȓȞȚȓȠȎșșȖȥȓȟȘȖȣ ȟȝșȎȐȜȐ CoSb3, Bi2Te3, PbTe, Ȗ ȒȞ., ȘȜȠȜȞȩȓ ȝȞȖ ȐȩȟȜȘȖȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ șȓȑȘȜ ȞȎȕșȎȑȎȬȠȟȭ țȎ ȘȜȚȝȜțȓțȠȩ Ȗ ȟȜȒȓȞȔȎȠ ȠȜȘȟȖȥțȩȓ ȠȭȔȓșȩȓ ȚȓȠȎșșȩ ȠȎȘȖȓ ȘȎȘ Hg, Te, Sb.
ǰȞȎȏȜȠȎȣ[119, 120] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖ ȠȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȗȚȓȠȜȒȜȚȖȚȝȡșȪȟțȜȑȜȟȖțȠȓȕȎȒȞȓȐȓȟțȜȑȜ ȡȑșȭ Ȗ SiO2. ǿȜȟȠȎȐ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȎțȎșȖȕȖȞȜȐȎșȟȭ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȟȘȎțȖȞȡȬȧȓȗȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȖȖ ȖȒȖȟȝȓȞȟȖȜțțȜȑȜ ȞȓțȠȑȓțȜȐȟȘȜȑȜ ȟȝȓȘȠȞȜȚȓȠȞȎ (energy dispersive X-ray spectrometer – EDX). Ƕȟȟșȓ-
ȒȜȐȎșȜȟȪ ȐșȖȭțȖȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȟȖțȠȓȕȎ Ȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȘȖȟșȓțȖȭ țȎ ȟȐȜȗȟȠȐȎ ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǸȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ǵȓȓȏȓȘȎ ȖȚȓș ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ, ȥȠȜ ȡȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎ n-ȠȖȝ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȘȓȞȎȚȖȘȖ. ǼȘȖȟșȓțȖȓ ȝȞȖȐȜȒȖșȜ Ș ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȓȑȜ ȎȏȟȜșȬȠțȜȑȜ ȕțȎȥȓțȖȭ. ǽȜȞȖȟȠȩȓ ȜȏȞȎȕȤȩ ȜȏșȎȒȎșȖ ȏȜșȪȦȓȗ ȐȓșȖȥȖțȜȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ǵȓȓȏȓȘȎ. ǽȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠȟȭ, ȥȠȜ ȚȖȘȞȜȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȓ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȜȘȎȕȩȐȎȬȠ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ǵȓȓȏȓȘȎ. ȀȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȎȭ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȫșȓȘȠȞȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȖ ȝȞȜȭȐșȭșȎ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞ. ǽȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȪ țȓȜȘȖȟșȓțțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȏȩșȎ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ ȜȘȖȟșȓțțȩȣ. ǽȜȞȩ ȜȘȎȕȩȐȎșȖ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȓ ȐșȖȭțȖȓ țȎ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ, ȝȞȖȐȜȒȭ Ș ȞȎȟȟȓȭțȖȬ ȠȓȝșȎ. ȀȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȐȜȕȞȎȟȠȎșȖ ȟ ȝȜȐȩȦȓțȖȓȚ ȞȎȏȜȥȓȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ. ǺȎȘ-
ȅȎȟȠȪ I, DZșȎȐȎ 9 |
267 |
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ǾȖȟ. 9.12. ǸȜțȟȠȞȡȘȤȖȖ ȠȓȞȚȜȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎȠȓșȓȗ: (Ȏ) – țȎȝȞȎȐșȓțȖȓ ȠȜȘȎ ȝȎȞȎșșȓșȪțȜ ȜȟȖ ȞȜȟȠȎ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, (ȏ) – țȎȝȞȎȐșȓțȖȓ ȠȜȘȎ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜ ȜȟȖ ȞȜȟȠȎ, r – ȠȜșȧȖțȎ ȑȜȒȜȐȜȑȜ ȟșȜȭ [102]
ȟȖȚȎșȪțȎȭ ȐȓșȖȥȖțȎ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȘȎȥȓȟȠȐȎ 3.38¸10 7 ȝȜșȡȥȓțȎ ȝȞȖ ȞȎȏȜȥȓȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 700°C Ȑ ȜȏȞȎȕȤȓ, ȟȖțȠȓȕȖȞȜȐȎțțȜȚ ȝȞȖ 1800°C ȟ ȜȘȖȟșȓțȖȓȚ.
ǰȞȎȏȜȠȓ[102] ȖȟȟșȓȒȜȐȎșȖȠȓȞȚȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȏȖȜȚȜȞȢțȜȗȘȓȞȎȚȖȘȖ, ȝȞȖȑȜȠȜȐșȓțțȜȗȖȕșȖȟȠȐȓțțȩȣȝȜȞȜȒ: ȏȡȘȎ, ȜșȪȣȖ, ȑȞȎȏȎȖȑȞȡȦȖ. ȋșȓȘȠȞȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪ ȖȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠǵȓȓȏȓȘȎ ȖȕȚȓȞȭșȖ ȝȞȖ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ țȎȝȞȎȐșȓțȖȭ ȝȞȜȠȓȘȎțȖȭ ȠȜȘȎȜȠțȜȟȖȠȓșȪțȜȜȟȖȞȜȟȠȎȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȝȎȞȎșșȓșȪțȜțȎȝȞȎȐșȓțȖȬ ȞȜȟȠȎ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȜȏȞȎȕȤȩ I-ȠȖȝȎ, ȞȖȟ. 9.12Ȏ, Ȗ ȝȓȞȝȓțȒȖȘȡșȭȞțȜ ȓȚȡ ȜȏȞȎȕȤȩ II-ȠȖȝȎ, ȞȖȟ. 9.12ȏ.
ǸȎȘ ȐȖȒțȜ, ȜȏȞȎȕȤȩ II-ȠȖȝȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭ țȎșȖȥȖȓȚ ȝȓȞȖȜȒȖȥȓȟȘȖȣ ȟșȜȓȐ, ȟ ȝȓȞȖȜȒȜȚ ȝȜȐȠȜȞȓțȖȭ ȞȎȐțȩȚ ȞȎȕȚȓȞȡ ȑȜȒȜȐȜȑȜ ȟșȜȭ. ǸȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȝȓȞȖȜȒȖȥȓȟȘȖȣ ȟșȜȓȐ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȝȜȞȜȒȩ ȒȞȓȐȓȟȖțȩ, ȓȓ ȐȜȕȞȎȟȠȎ Ȗ ȑȓȜȚȓȠȞȖȖ ȜȏȞȎȕȤȜȐ. ȋșȓȘȠȞȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ Ȑȟȓȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ SiC ȘȓȞȎȚȖȘȖ ȡȚȓțȪȦȎșȜȟȪ ȟ ȝȜȐȩȦȓțȖȓȚ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȥȠȜ ȠȖȝȖȥțȜ Ȓșȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ, ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ Ȗȕ ȞȖȟ. 9.13, ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȏȖȜȚȜȞȢțȎȭ SiC / Si ȘȓȞȎȚȖȘȎ ȜȏșȎȒȎȓȠȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȗȎțȖȕȜȠȞȜȝȖȓȗȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȣȟȐȜȗȟȠȐ. ǼȠțȜȦȓțȖȓȫșȓȘȠȞȜȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐȒȐȡȣȠȖȝȜȐS(II-type) / S(I-type) ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȝȓȞȖȜȒȖȥȓȟȘȖȣ ȟșȜȓȐ (N) Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ II-ȠȖȝȎ Ȗ ȚȜȔȓȠ ȝȞȓȐȩȦȎȠȪ 10.