книги / Оптические методы контроля интегральных микросхем

94. Гуревич В. 3., Крупнцкнй Э. И. Модуляторы света для ввода информации в устройства оптической обработки.— Зарубеж­ ная радиоэлектроника, 1972, № 12, с. 49—63.

95. Косарев А. И., Соколов В. К. Пространственно-временные мо­ дуляторы света: Обзор. — Зарубежная радиоэлектроника, 1974,

№8, с. 59—80.

96.Крымко М. М., Пресс Ф. П. Исследование связи между де­ фектами фотолитографии и выходом годных планарных струк­ тур.— Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые при­ боры, 1972, выл. 7, с. 111—117.

97.Пат. 3909602 (США), МКИ GO 1N21/32.

98.Харкевич А. А. Избранные труды в 3-х т. Т. 3. Теория инфор­

99.	мации: Опознание образов. — М.: Наука,		1973.—524 с.
	Fehrs D. L., Munro D. F., Cuthbert J. D., Yanochko G. S. Auto­
	matic mask inspection: a new	problem	for	the	laser. — Opt.
100.	Spectra, 1975, v. 9, № 7, p. 29.	algorithms	for	automatic mask
	Munro D. F. Defect-detection
101.	inspection. — J. Opt. Soc. Amer., 1974, v. 64,			№ 10, p. 1402.
	Knox J. D., Goedertier P. V.,	Fairbanks D., Caprari F. Inspec­
	ting IC masks with a differential laser scanning inspection sys­
	tem.— Solid State Technology,	1977, v. 20, № 5,			p. 48.

102.Чуриловский В. H. Теория оптических приборов. — М.: Маши­ ностроение, 1966.—257 с.

103.Пат. 3663085 (США). МКИ G01N21/32, G01N21/60.

104.Пат. 3795452 (США). МКИ G01N21/32, G01N21/16.

105. Dammonn	Н., Klotz	Е. Generation of faultless multipinhole
masks by	means of	spatial filtering. — Optics Commun., 1975,

v.19, № 3, p. 2G8—270.

106.Пат. 3743423 (США). МКИ G01N21/32, G02B27/38.

107.Пат. 2441336 (ФРГ). МКИ G01M1/00, Н01В1/32.

108.Bruning J. Н., Feldman М., Kinsel Т. S., Sitting Е. К*, Town­

send R. L. An automated mask	inspection system. — AMIS.—
IEEE Trans., 1975, v. 12, № 8, p.	1880—1883.

109.Пат. 3790280 (США). МКИ G02N27/38, G01N21/32.

110.Пат. 108620 (ГДР). МКИ G01N21/32, G01F15/46.

111.Войтович М. А., Гуревич В. Г., Новиков В. М. и др. Обнару­ жение дефектов фотошаблонов методом пространственной фильтрации. — Газовые лазеры. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1974, вып. 1, с. 69.

112.Акаев А. А., Майоров С. А. Когерентные оптические вычисли­

тельные машины. — Л.: Машиностроение, 1977.—440 с.

ИЗ. Телешов Б. В., Азин С. Н. Контроль дефектов периодических структур с помощью многоканальной системы пространствен­ ной фильтрации. — Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование, 1977, вып. 3 (82),

с. 140—14с).

114.Крупников Г. П. Зарубежные серийно выпускаемые телевизи­ онные анализаторы изображений: Обзор. — В кн.: Автоматиза­

ция анализа цитологических препаратов. — Рига: Зннатне, 1975, с. 36—54.

115. Textur — Analyse — System. — Проспект фирмы Leitz Wetzlar, ФРГ, 1977.

116.Видеотерминал ВТ-4001.—Проспект ИЭВТ АНЛатв. ССР, 1975.

117.Jesse A. Quantitative image analysis in microscopy. — Micros­ cope, 1971, v. 19, № 2, p. 21.

131

118. Giliand D. W., Smithhand D. j., Wells A. Area sizing and pat­ tern recognition on the Quantimet-720. — Microscope, 1972, v. 20, № 5, p. 37.

119. Quantimet-720. — Проспект фирмы Imanco. .Великобритания, 1970.

120.Quantimet-720. System 10-20. Image Analysers. — Проспект фир­ мы Imanco. — Великобритания, 1975.

121.Image amendment with the Quantimet-720. — Проспект фирмы

Imanco. — Великобритания, 1975.

122. Image Enhancement/Analysis System. — Проспект фирмы STC/I2S. — США, 1978.

123.Cole M. Instrument errors in quantitative image analysis. — Microscope, .1972, v. 20, № 2, p. 183.

124.Sturges G. L., Braggins D. W. Performance criteria for image

analysis equipment. — Microscope, 19712, v. 20, № 1, p. 275.

125.Либенсон M. И., Хесин А. Я., Янсон Б. А. Автоматизация рас­ познавания телевизионных изображений.—М.: Энергия, 1975.— 160 с.

126.Блок А. С., Зюзин О. М., Крупицкий Э. И. и др. Гибридные оптико-электронные системы распознавания изображении. — Автометрия, 1974, Mb 1, с. 36—46.

127.Нестерихин Ю. С., Пушной Б. М. О системе автоматической

обработки изображений. — Автометрия, 1977, № 3, с. 6—12.

128.Браилко Л. А., Гришин М. П., Иванов А. М. и др. Цифровой автоматический микроденситометр с управлением от ЭВМ.— Оптико-механическая пром-сть, 1976, № 4, с. 34—37.

129.Варганов Н. О., Горюнов Н. Н., Лонский И- И. Диагностика состояния поверхности полупроводниковых планарных струк­ тур.— Техника средств связи. Сер. Техника радиосвязи, 1977, вып. 3, с. 167—176.

130.Голография: Методы и аппаратура/ В. М. Гинзбург, Б. М. Сте­

панов, Е. А. Антонов и др.;	Под	ред. В. М. Гинзбург и
Б. М. Степанова. — М.: Сов.	радио,	1974.—376 с.

131. Левин М. Методы выделения признаков. — ТИИЭР, 1969, т. 64,

№ 8, с. 51—69.

132.Дубицкий Л. Г., Розиньков Н. С. Применение Фурье-голограм- мы для определения степени дефектности сварных и паяных

швов корпусов интегральных схем. — Дефектоскопия, 1978, №5,

с. 87—90.

133.Гришин М. П., Иванов Е. А., Поддубный Е. В. и др. Некото­ рые методы обработки изображений в устройствах распозна­ вания образов с использованием передающей телевизионной ка­ меры.— Сборник научных трудов по проблемам микроэлектро­ ники/ МИЭТ.— М., 1976, вып. 23, с. 36—39.

134.Гришин М. П., Лягина Т. И., Поддубный Е. В. и др. Матема­ тическое описание и алгоритмы распознавания дефектов ИС.— Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники/

-МИЭТ. — М., 1976, вып. 29, с. 46—56.

135.Пат. 3805239 (США). МКИ G01N27/86, G01N21/32.

136.Gillons J., Soames М. R., Knowles W. R. Description of the Quantimet-360: Inclusion and grain size classifier. — Microscope, 1972, v. 20, № 2, p. 1.

137.Автомат фирмы Hitachi для считывания изображений. — Элек­ троника, 1973, т. 46, № 9, с. 5.

132

138.	Мини-ЭВМ, управляющая анализатором образов. — Электро­
139.	ника,	1975, т. 48, № 9, с. 4—5.
	1225	System: Проспект фирмы International Imaging System,

США, 1975.

140.EVR 4100 е. САМАС. A modular instrumentation system for data handling. Revised description and specification. ESONE Committee, 1972.

141.EVR 4600 e. CAMAC. Organisation of multicrate system spe­

cification of the brauch highway and CAMAC crate controller type A. ESONE Committee, 1972.

142. EVR 3100 e. CAMAC. A modular instrumentation system for data handling. Specification of amplitude analogue signals. ESONE Committee, 1972.

143. Нестерихин 10. E. Оптико-электрониые системы и автоматиза­ ция исследований. — Автометрия, № 5, 1977, с. 7—12.

144.Василенко Г. И. Голографическое опознавание образов. — М.: Сов. радио, 1977.—328 с.

145.Строук Дж. Оптическая и цифровая обработка информации и

ееприменение. — Автометрия, 1977, № 5, с. 18—30.

146. Отчет Комитета	по изучению проблемы распознавания. — Дзё-
хо сёри, 1975, т.	16, № 8, с. 720—736.

147.Эндрюс Г. Вычислительные методы при обработке изображе­ ний: Пер. с англ./ Пер. В. Д. Света и С. Д. Света. — М.: Энер­ гия, 1977.—160 с.

148.Bremerman Н. J. Pattern recognition: functionals and entropy.— IEEE Trans., 1968, v. BME-15, № 3, p. 201—207.

149.Wilks S. S. Matematical statistics. — New York: Willey, 1962.

150.Rao C. R. The use and interpretation of principle components

analysis in applied research. — Indian J. Stat., 1964, v. A26.

151.Watanabe S. Karhunen-Loeve expansion and factor analysis: theoretical remarcs and application. — Proc. Conf. Information Theory, 4-th Praque, 1965.

152.Raviv J., Streeter D. N. Lineas methods for biological DATA processing. — IBM Res. Rep. RD-1577, 1965.

153.Me Laughlin J. A., Raviv J. N-th order autocorrelations in pat­

tern recognition. — Inform. Control, 1968, № 2, p. 121—142.

154.Algazi V. R., Saurison D. J. On the optimality on the harhuenLoeve expansions GIT, IT-15, 1969, № 3, p. 319.

155.Boulton P. I. P. Smearing techniques in pattern recognition. Ph. D. Thesis University Toronto, 1966.

156.Логинов В. П. Функции Уолша и области их применения: Обзор. — Зарубежная радиоэлектроника, 1973, № 4, с. 8—23.

157.Передача и обработка информации голографическими метода­

ми/ С. Б. Гуревич, В. Б. Константинов, В. К. Соколов, и др.; Под ред. С. Б. Гуревича. — М.: Сов. радио, 1978.—304 с.

158.Галушкин А. И. Синтез многослойных систем распознавания образов.— М.: Энергия, 1974.—367 с.

159.Розенфельд А. Распознавание и обработка изображений с по­ мощью вычислительных машин/ Пер. с англ. И. Б. Гуревича,

В.М. Рудакова, Л. П. Ярославского; Под ред. Д. С. Лебе­ дева.— М.: Мир, 1972.—232 с.

160.Понсен. Использование преобразования Адамара для кодиро­ вания и сжатия сигналов изображения. — Зарубежная радио­ электроника, 1972, № 3, с. 18—26.

161.Быков Р. Е., Коркунов Ю. Ф. Телевидение в биологии и меди­ цине. — Л.: Энергия, 1968. — 224 с.

133

О Г Л А В Л Е Н И Й

								Стр.
Предисловие		.				.		3
1. Состояние и		перспективы		совершенствования оптических				5
методов	контроля		интегральных			микросхем	. . .
1.1. Проблема повышения эффективности оптических мето­								5
дов	контроля		процесса.................................................................		обработки оптической ин­
1.2. Характеристика								7
формации		направления.................................................................................		развития оптических			методов
1.3. Основные								И
контроля		.		.		. . .	.
2. Дефекты интегральных микросхем						и критерии их отбраковки		21
2.1. Отказы интегральных микросхем, возникающие при их								21
испытаниях и			эксплуатации...........................................				готовых
2.2. Роль	оптических методов				в	оценке качества		23
изделий		...........................

2.3.Критерии отбраковки ИС по результатам оптического контроля . ........................................................ 28

2.1.Пути дальнейшего повышения информативности мето­ дов и совершенствования документов по оптическому

контролю	И С ..........................	.	. 3 8
3. Совершенствование средств оптического контроля			41
3.1. Классификация и критерии применимости средств опти­
ческого	контроля .............................................................		41
3.2. Микроскопы: технические характеристики, области при­
менения,	перспективы совершенствования . . . .		42

3.3.Оптические проекционные устройства: технические ха­ рактеристики, возможности применения при контроле

внешнего вида	итопологии ИС .	.	. . . . 4 8
3.4. Устройства оптической фильтрации: особенности опти­				58
ческой схемы и	область применения		.
4. Методы и устройства для автоматического распознавания				65
дефектов . . . .	. .	. .	.
4.1. Сложность автоматического оптического контроля ка­				65
чества фотошаблонов, кристаллов и сварных соединений

4.2.Устройства автоматического анализа изображений: технические характеристики и перспективы применения 71

4.3.Алгоритмы распознавания некоторых типов дефектов

кристаллов	и	фотошаблонов . .	. . .	85
Заключение	.		. 9 8
П р и л о ж е н и е !			.	100
П р и л о ж е н и е		2	.	122
Список литературы			.	126

134

ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Состояние и перспективы совершенствования

Юрий Самсонович Вартанян Никита Сергеевич Розиньков Лев Григорьевич Дубицкий Евгений Васильевич Поддубный Дмитрий Иванович Закс

Редактор И. М. В о л к о в а Художественный редактор Н. С. Ше и н Технический редактор Г. И. К о л о с о в а Корректор Т. Г. З а х а р о в а

ИБ № 124

Сдано в набор 09.02.82.		Подписано в печать 09.08.82.			Т-13542
Формат 84ХЮ8/ з2		Бумага кн.-журн.		Гарнитура литературная
Печать высокая	Уел.	неч. л. 7.14	Уел.	кр.-отт. 7,35	Уч.-нзд. л. 7,44
Тираж 7000 экз.		Изд. № 19674		Зак. № 32	Цена 35 к.

Издательство «Радио и связь». 101000 Москва, Главпочтамт, а/я 693

Московская типография № 10 Союзиолиграфпрома при Государствен­ ном комитете СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли. 113114, Москва, М-114, Шлюзовая наб„ Ю