Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Самойликов / Дз1 / Колян№1.doc
Скачиваний:
15
Добавлен:
17.04.2013
Размер:
486.91 Кб
Скачать

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ (ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)

Домашнее задание №1

Расчет нагревательного устройства сопротивления.

ПО КУРСУ:

«ТЕХНИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И ОБОРУДОВАНИЕ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ».

Выполнил: Лисиенко Н.Н.

Группа: АиЭМ-43

Преподаватель: Самойликов В.К.

Москва 2002 Задание.

В рабочей камере диффузионной печи производится термическая обработка подложек размещаемых на кварцевой «лодочке». Для нагрева изделий в печи используется резестивный метод нагрева.

Выполнить:

  • тепловой расчет печи с определением основных геометрических размеров ее;

  • электрический расчет печи с определением конструктивных размеров нагревателя;

  • построить графики изменения температуры печи (tп=f()) и изделия (tиз=f()) за рабочий цикл.

Для выполнения задания необходимо предварительно определить:

  • толщину пластин - п=0.005Dпл;

  • шаг размещения пластин на лодочке – lпл=0.05Dпл;

  • длина центральной зоны – l2=1,3lзагр, где lзагр – длина зоны, занятой лодочкой с пластинами;

  • длина передней (l1) и задней (l3) зон нагревателя – l1=l3=0.5l2;

  • толщина торцевой футеровки – l4=0.2l1.

Исходные данные для расчета:

  1. Диаметр пластин: Dпл=300 мм;

  2. Количество пластин в загрузке: n=40 шт;

  3. Температура загрузки (выгрузки) пластин: ;

  4. Температура обработки подложек: ;

  5. Температура окружающей среды: to=35C;

  6. Температура газа-носителя на входе в реактор: tг=40С;

  7. Время выдержки пластин: в=11 мин.;

  8. Время простоя печи: пр=30 мин.;

  9. Интегральная излучательная способность материала пластин: пл=0.4;

  10. Излучательная способность материала стенок печи: ст=0.6 .

Теплофизические свойства конструкционных и обрабатываемых материалов:

Кремний

Кварц

Воздух

Теплоизо-

ляция

Нагрева-

тель

Плотность

кг/м2

2300

2655

1,29

200

7750

Теплоем-

кость

Ср

Дж/кг град

2000

1560

1050

1100

600

Теплопро-

водность

Вт/м град

25

2,5

0,05

0,058+

+0,19.10-3tср

27

Кинемати-

ческая вяз-

кость

м2

-

-

14,6.10-6

-

-

Уд. эл. соп-

ротивление

Ом.м

-

-

-

-

1,35