Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
4 семестр / lab / Lab3.DOC
Скачиваний:
31
Добавлен:
30.04.2013
Размер:
190.98 Кб
Скачать

12

Мати - ргту

имени К.Э.Циолковского

Кафедра

"НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"

ИССЛЕДОВАНИЕ БАРЬЕРНОЙ И ДИФФУЗИОННОЙ ЕМКОСТЕЙ

р – n ПЕРЕХОДА

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ К ЛАБОРАОРНОЙ РАБОТЕ

ПО КУРСУ "Физические основы микроэлектроники"

МОСКВА 2002

МАТИ - РГТУ

имени К.Э.Циолковского

Кафедра

"НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"

УТВЕРЖДЕНО

методической комиссией кафедры

"____" _________________ 2002 г.

ИССЛЕДОВАНИЕ БАРЬЕРНОЙ И ДИФФУЗИОННОЙ ЕМКОСТЕЙ

р – n ПЕРЕХОДА

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ К ЛАБОРАТОРНОЙ РАБОТЕ

ПО КУРСУ "Физические основы микроэлектроники"

Автор

доц., к.т.н. Шадский В.А.

МОСКВА 2002

Аннотация

В указаниях дана методика расчета основных параметров р-n перехода. Исходными данными для лабораторной работы являются материал исходного полупроводника, материалы легирующих примесей.

Содержание: выбор материала легирующей примеси и ее концентрации, расчет концентраций основных и неосновных носителей заряда, расчет контактной разности потенциалов, ширины ОПЗ, определение барьерной и диффузионной емкостей р-n перехода и построение ВФХ .

Для студентов кафедры "Наукоемкие технологии радиоэлектроники", обучающихся по дисциплине "Физические основы микроэлектроники".

Листов - 11 , рисунков - 3.

Содержание

стр.

Введение........................................................................

4

1.

Цель работы..................................................................

4

2.

Краткие теоретические сведения................................

4

3.

Задание по работе.........................................................

9

4.

Содержание отчета по работе.....................................

10

5.

Контрольные вопросы.................................................

10

6.

7.

Литература....................................................................

Приложение ………………………………………….

10

11

Соседние файлы в папке lab