Шатохин Вакуумная техника Лабораторный практикум 2010

По заданию преподавателя выполнить градуировку течеискателя в режиме дросселирования откачки.

Зафиксировать полученные данные.

Выключение течеискателя

Выключение установки производится с разрешения и под контролем преподавателя.

Для выключения течеискателя необходимо:

закрыть клапаны «Гелиевая течь» и «Входной», переключатель «Пределы измерений» установить в положение «30 В»;

выключить накал катода ионизатора, установив пере-

ключатель «Ток эмиссии» в положение «Катод выключен»;

закрыть клапан «Откачка камеры»;

установить тумблер в положение «Форвакуум»;

закрыть клапан «Дросселирование откачки»;

выключить нагреватель паромасляного насоса (тумблер «Паромасляный насос – нагреватель» установить в нижнее положение);

через 30 мин, после остывания насоса, выключить напря-

жение питающей сети, установив переключатель сети на лицевой панели в положение «Выкл».

ТРЕБОВАНИЯ К ОФОРМЛЕНИЮ ОТЧЕТА

Отчет по работе должен содержать:

1)функциональную схему масс-спектрометра течеискателя;

2)вакуумную схему течеискателя;

3)временную диаграмму откачки течеискателя;

4)величину предельного остаточного давления в течеискателе;

5) экспериментально полученные Ф, Ф МАКС, МИН, Т, Ф;

6)найденные значения цены деления измерительного прибора и минимального регистрируемого потока гелия;

7)рассчитанную чувствительность течеискателя;

8)рассчитанное значение быстроты откачки по гелию, при условии, что Ск = 0,5.

81

ВОПРОСЫ ДЛЯ ПОДГОТОВКИ

1.В чем заключается свойство герметичности вакуумной системы?

2.Чем определяется величина предельного потока натекания?

3.Что такое течеискание, какие существуют методы поиска течей?

4.На чем основан масс-спектрометрический способ течеискания?

5.Какой газ используется в качестве пробного и почему?

6.Что такое чувствительность течеискания?

7.Какие условия и режимы определяет постоянная времени течеискания?

8.Каковы устройство и принцип работы анализатора?

9.Какими особенностями обладает вакуумная система течеискателя?

10.Какие блоки входят в электронную систему течеискателя?

11.Каков принцип действия калиброванной течи «Гелит»?

12.Что регулируется клапаном «Дросселирование откачки»?

13.Для чего нужна градуировка течеискателя?

82

СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1.	Розанов Л. Н.	Вакуумная	техника: Учебник	для вузов.
М.: Высшая школа, 2007.
2.	Вакуумная	техника:	Справочник /	Е. С. Фролов,
В. Е.	Минайчев и др.: Под общ. ред. Е. С. Фролова и
В. Е.	Минайчева. М.: Машиностроение, 1992.

3.Шестак В.П. Физические основы вакуумной техники: Учебное пособие. М.: МИФИ, 1991.

4.Шатохин В.Л. Технология вакуумных систем: Учебное посо-

бие. М.: МИФИ, 2000.

5.Шестак В.П. Метрологические аспекты физики вакуума: Учебное пособие. М.: МИФИ, 1983.

6.Уэстон. Дж. Техника сверхвысокого вакуума: Пер. с англ. М.:

Мир, 1988.

	СОДЕРЖАНИЕ
Работа 1.	Моделирование вакуумной системы …………..	3
Работа 2.	Исследование характеристик
	высоковакуумного насоса ……...……….…........	24
Работа 3.	Исследование парциального состава
	остаточного газа ……….…………………………	41
Работа 4.	Изучение техники течеискания ………………...	61
Список рекомендуемой литературы ………………………		83

83

Вадим Леонидович Шатохин

Валерий Петрович Шестак

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА. Лабораторный практикум

Учебно-методическое пособие

Редактор Е.Г. Станкевич Оригинал-макет подготовлен В.Л. Шатохиным

Подписано в печать 12.03.2010 Формат 60×84 1/16

Печ. л. 5,25. Уч.-изд. л. 5,25. Тираж 100 экз.

Изд. № 070–1 Заказ №

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ».

Типография НИЯУ МИФИ. 115409, Москва, Каширское ш., 31.