Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Борисенко В. Е. - Наноэлектроника - часть 2 - уч. пособ - 2003

.pdf
Скачиваний:
113
Добавлен:
26.04.2017
Размер:
1.98 Mб
Скачать

76

определенных

нанотехнологические

разработанных

металлорганических

substrates

3CH

химического

Тетрасилан

Фосфин

водород

только

принимать

сверхвысокому

соединений

Однако

высокоэнергетических

Соседние файлы в предмете Наноэлектроника