Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Борисенко В. Е. - Наноэлектроника - часть 2 - уч. пособ - 2003

.pdf
Скачиваний:
113
Добавлен:
26.04.2017
Размер:
1.98 Mб
Скачать

наноразмерных

с

помощью

растворимыми

улучшение достигается

750

представлены

зонды

границы

силового

разрешения

б

в

лучевая

литография технологическим

Одним

Соседние файлы в предмете Наноэлектроника