Скачиваний:
26
Добавлен:
08.02.2019
Размер:
117.12 Кб
Скачать

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра ЭПУ

отчет

по лабораторной работе №8

по дисциплине «Вакуумная и плазменная электроника»

Тема: ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ МЕТОДОМ ЗОНДОВ

Студент гр. 4209

Хабибулин А.Р.

Преподаватель

Лисенков А.А.

Санкт-Петербург

2016

Цель работы.

Ознакомление с зондовой методикой диагностики газоразрядной плазмы и экспериментальное определение параметров положительного столба разряда низкого давления.

Основные теоретические положения.

Газоразрядная плазма – это ионизированный газ, в котором концентрации положительно и отрицательно заряженных частиц приблизительно равны между собой, а дебаевский радиус экранирования существенно меньше характерного размера объема, в котором находится ионизованный газ. Примером низкотемпературной плазмы является положительный столб тлеющего разряда и дуги низкого давления. Плазма положительного столба в осевом направлении однородна и стационарна во времени. Распределение электронов по скоростям является, как правило, максвелловским, при этом хаотическое движение частиц преобладает над их направленным движением. В газоразрядной плазме электроны и ионы приобретают энергию под действием продольного электрического поля, поэтому энергия электронов и ионов выше энергии нейтральных атомов. В свою очередь, энергия электронов много больше энергии ионов. Объясняется это тем, что электроны, приобретая энергию в электрическом поле, теряют ее в результате соударения с атомами. В слабоионизованной плазме преобладают упругие соударения электронов с атомами, при этом обмен энергией зависит от отношения массы электрона к массе атома. Поскольку это отношение гораздо меньше единицы, то потери энергии электронов при соударении с атомами весьма малы. Для ионов получается другая ситуация: масса ионов соизмерима с массой атома и при упругом соударении с ним ион может терять значительную часть своей энергии.

Зонд – это вспомогательный металлический электрод, который вводится в плазменный объем для его исследования. Размеры зонда выбираются обычно достаточно малыми, чтобы можно было пренебречь падением потенциала вдоль зонда и искажениями поля, вносимыми зондом в исследуемый разряд. Применяются плоские, цилиндрические и сферические зонды. Относительно одного из электродов на зонд задается потенциал и снимается зависимость поступающего тока от значения этого потенциала. Параметры плазмы определяются из вольт-амперной характеристики зонда. Электрический ток с зонда складывается из токов электронов и положительно заряженных ионов: ионов: . На рис. 1 представлена типичная зондовая характеристика, получаемая при погружении в плазму вспомогательного электрода. Ток частиц, поступающий на поверхность, зависит от приложенной разности потенциалов между плазмой и рабочей поверхностью зонда.

Рис. 1. Зондовая характеристика и метод ее обработки

Схемы измерений.

  • Схема измерения характеристик зонда

Рис.2. Схема экспериментальной установки

Характеристики диода.

Экспериментальные результаты.

  1. ВАХ зонда при различных токах накала

при Iн=

72 мА

при Iн=

60 мА

U, B

I, мА

U, B

I, мА

-33,3

-0,01

-33

-0,01

-31

-0,01

-31,3

-0,009

-29

-0,01

-19

-0,008

-18,3

-0,008

-18

-0,007

-16,6

-0,007

-16,6

-0,005

-15,6

-0,004

-15,6

-0,002

-15

-0,001

-15,3

0

-14,6

0

-14,6

0,005

-14,3

0,002

-13,3

0,018

-14

0,005

-12,3

0,047

-13,6

0,01

-11,3

0,8

-13,3

0,015

-10

2

-12,6

0,031

-9

4,6

-12,3

0,046

-8

6,2

-9,3

1

-6,6

8,4

-8,3

4,8

-6,3

9,8

-8

6,4

-5,6

17,3

-7,3

8

-4,6

21,3

-6,6

9,6

-3,6

23,3

-6,3

17,3

-2,6

24,6

-5,6

20

-2,3

25

-5

22,6

-1,6

26

-4,6

24,6

-1

26,6

-4

26

0

27,3

-3,6

26,6

-3

27,3

-2,6

28

-2

28,6

-1,33

29,3

-1

30

0

30,6

Таблица 1. Протокол наблюдений

Исследование проводилось на зонде со следующими геометрическими размерами: h3=20 мм, d= 1 мм

Обработка результатов эксперимента.

  1. Построим зависимости i3=f(U3) и ln[ie]=f(U3).

Для Iн= 72 мА:

Рис. 3. Зондовая характеристика при In=72мА

Рис.4. Зависимость ln(Ie)=f(Uз) при In=72 мА

Для Iн= 60 мА:

Рис. 5. Зондовая характеристика при In=60 мА

Рис.6. Зависимость ln(Ie)=f(Uз) при In=60 мА

  1. Из графика зависимости можно определить температуру

электронного газа, а также потенциалы плазмы:

;

Для зонда при Iн= 72 мА:

Для зонда при Iн= 60 мА:

  1. Определим продольный градиент поля и концентрацию частиц в зонде:

Для зонда при Iн= 72 мА:

Для зонда при Iн= 60 мА:

ВЫВОД:

Соседние файлы в папке Плазменная электроника