МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра МНЭ
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №1
по дисциплине «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники»
Тема: моделирование диаграмм состояния полупроводниковых систем с неограниченной растворимостью компонентов в жидкой и твердой фазах
|
Студент гр. 4209 |
|
Розкалий Ю. С. Самоделов А. Ю. |
|
Преподаватель |
|
Максимов А. И. |
Санкт-Петербург
2016
-
T- x проекции диаграмм состояния и параметры взаимодействия
-
T- x проекции диаграмм состояния построенная в соответствии с п.11 из методических указаний.
-
Мольные доли компонентов в жидкой и твердой фазах
Таблица 1
|
T, K |
|
|
|
895 |
1 |
1 |
|
903 |
0,6 |
0,34 |
|
908 |
0,5 |
0,3 |
|
913 |
0,43 |
0,27 |
|
918 |
0,36 |
0,24 |
|
923 |
0,33 |
0,2 |
|
928 |
0,29 |
0,16 |
|
933 |
0,25 |
0,15 |
|
938 |
0,23 |
0,13 |
|
979 |
0 |
0 |
,
мол. дол.
,
мол. дол.Таблица 2
|
T, K |
|
|
|
895 |
0 |
0 |
|
903 |
0,4 |
0,66 |
|
908 |
0,5 |
0,7 |
|
913 |
0,57 |
0,73 |
|
918 |
0,64 |
0,76 |
|
923 |
0,67 |
0,8 |
|
928 |
0,71 |
0,84 |
|
933 |
0,75 |
0,85 |
|
938 |
0,77 |
0,87 |
|
979 |
1 |
1 |
,
мол. дол.
,
мол. дол.
-
Концентрационные зависимости термодинамических функций
-
Для
температура тугоплавкого компонента(
)
равна 979 K
Таблица 3
|
T, K |
|
|
|
|
|
895 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
903 |
-10297,68 |
5,59272695 |
-17752,78503 |
-7455,11 |
|
908 |
-10726,75 |
5,76005307 |
-18404,90074 |
-7678,15 |
|
913 |
-10516,506 |
5,67834693 |
-18085,74216 |
-7569,24 |
|
918 |
-9885,7728 |
5,4299052 |
-17123,83643 |
-7238,06 |
|
923 |
-9486,7377 |
5,27002446 |
-16511,68031 |
-7024,94 |
|
928 |
-8834,5513 |
5,00388048 |
-15504,72398 |
-6670,17 |
|
933 |
-8045,0625 |
4,67300505 |
-14274,17823 |
-6229,12 |
|
938 |
-7598,8297 |
4,4813864 |
-13572,51777 |
-5973,69 |
|
979 |
0 |
0 |
0 |
0 |
Рисунок 1. Графики зависимости энтропии, энтальпии, свободной энергии Гиббса от концентрации.
-
Для
температура легкоплавкого компонента(
)
равна 895 K
Таблица 4
|
T, K |
|
|
|
|
|
895 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
903 |
-6490,3212 |
5,32700482 |
-13591,21863 |
-7100,9 |
|
908 |
-6073,83 |
5,07628235 |
-12840,51437 |
-6766,68 |
|
913 |
-5700,7233 |
4,84688096 |
-12161,61562 |
-6460,89 |
|
918 |
-5275,5552 |
4,5794742 |
-11379,99431 |
-6104,44 |
|
923 |
-4627,68 |
4,15834414 |
-10170,75274 |
-5543,07 |
|
928 |
-3887,2512 |
3,6536567 |
-8757,575578 |
-4870,32 |
|
933 |
-3687,6825 |
3,51271252 |
-8370,128289 |
-4682,45 |
|
938 |
-3271,1913 |
3,21087353 |
-7551,285715 |
-4280,09 |
|
979 |
0 |
0 |
0 |
0 |
Рисунок 2. Графики зависимости энтропии, энтальпии, свободной энергии Гиббса от концентрации