1

Выращивание кристаллов методом зонной плавки

Примесь 1

Исходные данные:

Примесь 2

Примесь 3

Тип расчета

1,00E+17

x, см

C_T1(x)

C_T2(x)

C_T3(x)

Материал

1

Первая примесь

0,00

NaN

45,99E+12

45,99E+12

2

Первая примесь летучая, вторая нелетучая

0,05

50,00E+15

46,76E+12

46,22E+12

Ge

3

Три графика для трех примесей

0,10

50,00E+15

47,53E+12

46,45E+12

4

Первая примесь после одного прохода, вторая после многих

0,15

50,00E+15

48,29E+12

46,68E+12

Примесь 1

Примесь 2

Примесь 3

0,20

50,00E+15

49,06E+12

46,91E+12

0,25

50,00E+15

49,82E+12

47,14E+12

Zn

Zn

Zn

0,30

50,00E+15

50,59E+12

47,37E+12

Условия выращивания:

0,35

50,00E+15

51,35E+12

47,60E+12

0,40

50,00E+15

52,12E+12

47,83E+12

Скорость

f (мм/мин) (см/c)

f (мм/мин) (см/c)

f (мм/мин) (см/c)

1,00E+16

0,45

50,00E+15

52,89E+12

48,06E+12

0,50

50,00E+15

53,65E+12

48,29E+12

кристаллизации

0,50

0,0008

0,50

0,0008

0,50

0,0008

0,55

50,00E+15

54,42E+12

48,52E+12

Длина расплавленной

L0 (см)

L0 (см)

L0 (см)

0,60

50,00E+15

55,18E+12

48,75E+12

0,65

50,00E+15

55,95E+12

48,98E+12

зоны

0,00

3,00

10,00

0,70

50,00E+15

56,71E+12

49,21E+12

Диаметр кристалла

DКР (мм)

(см)

DКР (мм)

(см)

DКР (мм)

(см)

0,75

50,00E+15

57,48E+12

49,44E+12

50,00

5,00

50,00

5,00

50,00

5,00

0,80

50,00E+15

58,25E+12

49,67E+12

L (см)

L (см)

L (см)

0,85

50,00E+15

59,01E+12

49,90E+12

Длина слитка

0,90

50,00E+15

59,78E+12

50,13E+12

60,00

60,00

60,00

0,95

50,00E+15

60,54E+12

50,36E+12

Начальная

C0 (см-3)

C0 (см-3)

C0 (см-3)

1,00E+15

1,00

50,00E+15

61,31E+12

50,59E+12

1,05

50,00E+15

62,07E+12

50,82E+12

концентрация примеси

5,00E+16

5,00E+16

5,00E+16

1,10

50,00E+15

62,84E+12

51,05E+12

Концентрация примеси

CП (см-3)

CП (см-3)

CП (см-3)

1,15

50,00E+15

63,61E+12

51,28E+12

в подпитывающем слое

5,00E+16

5,00E+16

5,00E+16

1,20

50,00E+15

64,37E+12

51,51E+12

1,25

50,00E+15

65,14E+12

51,74E+12

1,30

50,00E+15

65,90E+12

51,97E+12

Справочные и рассчитанные параметры технолог. процесса:

1,35

50,00E+15

66,67E+12

52,20E+12

1,40

50,00E+15

67,43E+12

52,43E+12

Равновесный коэффициент

k0

k0

k0

1,45

50,00E+15

68,20E+12

52,66E+12

1,50

50,00E+15

68,96E+12

52,89E+12

распределения

4,00E-4

4,00E-4

4,00E-4

1,00E+14

1,55

50,00E+15

69,73E+12

53,12E+12

a

a

a

1,60

50,00E+15

70,50E+12

53,35E+12

Линейный коэффициент

0,00E+0

0,00E+0

0,00E+0

1,65

50,00E+15

71,26E+12

53,58E+12

испарения

1,70

50,00E+15

72,03E+12

53,81E+12

Коэффициент диффузии

D

D

D

1,00E-4

1,00E-4

1,00E-4

1,75

50,00E+15

72,79E+12

54,03E+12

1,80

50,00E+15

73,56E+12

54,26E+12

k

k

k

1,85

50,00E+15

74,32E+12

54,49E+12

Эффективный коэффициент

1,90

50,00E+15

75,09E+12

54,72E+12

распределения

9,20E-4

9,20E-4

9,20E-4

1,95

50,00E+15

75,85E+12

54,95E+12

Приведенный

kИ

kИ

kИ

2,00

50,00E+15

76,62E+12

55,18E+12

2,05

50,00E+15

77,38E+12

55,41E+12

коэффициент испарения

0,00E+0

0,00E+0

0,00E+0

1,00E+13

2,10

50,00E+15

78,15E+12

55,64E+12

kОБ

kОБ

kОБ

10,0

12,5

15,0

17,5

20,0

22,5

25,0

27,5

30,0

32,5

35,0

37,5

40,0

42,5

45,0

47,5

50,0

52,5

55,0

57,5

60,0

Обобщенный коэффициент

0,0

2,5

5,0

7,5

2,15

50,00E+15

78,92E+12

55,87E+12

распределения

9,20E-4

9,20E-4

9,20E-4

x, см

2,20

50,00E+15

79,68E+12

56,10E+12

k*C0

k*C0

k*C0

4,60E+13

4,60E+13

4,60E+13