ИДЗ 3
.docxСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет
кафедра ФЭТ
Дисциплина
«Технология материалов и элементов электронной техники»
Расчет по заданию № 2
Вариант 4
Выполнил студент:
группы 5207 Иванов А.Д.
Преподаватель:
профессор Шаповалов В.И.
Санкт - Петербург
2018 г.
Дано:
E = 200..500 кэВ
Z=74
M = 183,8 кг/кмоль
ρ = 19,25 г/см3
Na = 6,02*1026 кмоль-1
b = 1,166
Найти: Rp(E), Rp(ε)
Решение:
Для описания потерь энергии электроном вдоль нормали к мишени (координата х) часто применяют уравнение Виддингтона-Томсона
Рисунок 1 – Графики проекционного пробега, рассчитанный по разным приближениям
Сделаем аналогичный расчет для безразмерной энергии , где ε лежит в пределах от 233 до 584
При Z > 40 I определяется только величиной Z и не зависит от энергии электрона:
Переведем I в кэВ
Рисунок 2 - Графики проекционного пробега, рассчитанный по разным приближениям для безразмерной энергии
Проверим, что расчеты верные, вычислив длину траекторного пробега по формуле :
, где
Рисунок 3 – Длина траекторного пробега по аппроксимирующей степенной зависимости
Поместим на одном графике зависимости траекторного и проекционного пробега:
Рисунок 4 – Траекторный и проекционный пробеги
Выводы: в данной работе рассчитывалось значение проекционного пробега по 2 различным приближенным формулам, применяемыми в диапазоне энергий от 10 до 1000 кэВ, учитывающими различные механизмы потерь энергии на единицу пути вдоль нормали к мишени. Значения различаются почти в 2 раза (рис.1, 2), но все равно они меньше траекторного пробега (рис.4), значит, можно предположить, что расчеты в данной работе верны.