книги / Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

имя, чем в металлоподобных соединениях: низкие значения энергии активации зафиксированы для соответствующих суль­ фидов и селенидов [61]. Низкие энергии активации, характерные для продольной диффузии, обусловлены, по-видимому, преиму­ щественным ионным характером образующихся соединений, а не наличием «легких» диффузионных путей. Тем не менее опыты на массивных материалах показывают, что в случае образова­ ния Си2Те определенное влияние на диффузионный процесс оказывает наличие механических напряжений в образцах.

V.ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Всистемах с промежуточными фазами определенные экспе­ риментально энергии активации обычно оказываются слишком высокими для того, чтобы их можно было приписать диффузии по границам зерен. В системах типа Ag—А1, для которых отча­ сти возможно провести сравнение данных для пленочных и мас­ сивных образцов, наблюдается удовлетворительная корреляция этих результатов. Электронно-микроскопические исследования системы Си—Те не обнаруживают существенной роли диффу­ зии по границам зерен, даже несмотря на аномально низкие значения энергии активации по сравнению с большинством ме­ таллических систем. При переходе от поликристаллических к монокристаллическим пленкам значения энергий активации практически не изменяются. Принято считать, что энергии ак­ тивации в общем относятся к константам скорости, а не к основ­ ным коэффициентам диффузии и поэтому, к сожалению, в боль­ шинстве случаев имеющиеся данные непригодны для определе­ ния коэффициентов диффузии по константам скоростей. Резуль­ таты расчетов, проведенных для системы Ag—А1, показывают, что различия между энергиями активации константы скоростей

икоэффициентов диффузии невероятно велики.

Вто же время все эксперименты на системах с неограничен­ ной растворимостью фактически обнаруживают диффузию по границам зерен или по крайней мере высокие скорости диффу­

зии, если исключить из рассмотрения эксперименты Дюмонда и Яутца, использовавших объекты с периодическими измене­ ниями концентрации при величине периода, малой по сравнению с расстоянием между границами зерен. Однако даже и в этом последнем случае имеются указания на высокие скорости на­ чальной диффузии, тогда как диффузия на последних стадиях протекает точно так же, как и диффузии в массивных материа­ лах. Высокие начальные скорости диффузии сами по себе легко могут быть объяснены наличием избыточной концентрации ва­ кансий, которая безусловно типична для свеженанесенных пленок. Эти представления с успехом использовались для интерпрета­ ции аномалий начальной диффузии в системе Ag—А1. При этом

считалось, что вакансии конденсируются на частицах выпадаю­ щей фазы, как только последние начинают появляться.

В системах, не образующих соединений и, следовательно, частиц новой фазы, избыточные вакансии мигрируют к дисло­ кациям или другим стокам вакансий. В этой ситуации время жизни вакансий должно быть большим, а начальная диффузия с повышенной скоростью — более резко выраженной. Однако для некоторых систем с неограниченной растворимостью доста­ точно надежно было установлено, что энергия активации про­ цесса для диффузии в тонких пленках значительно ниже, чем для диффузии в массивных материалах. Это расхождение объ­ яснялось наличием диффузии по межзеренным границам. Все отмеченные эффекты в соответствии с представленными дан­ ными присущи системам с неограниченной растворимостью. Означает ли это, что сравнительно быстрая диффузия в интер­ металлических соединениях при высоких градиентах активности является обычной диффузией, а не поверхностной миграцией или диффузией по границам зерен? Данный вопрос можно сформу­ лировать и в несколько ином виде: сколь «трудно» атомам металла мигрировать по поверхности интерметаллических соеди­ нений, не подвергаясь захвату и внедрению в решетку соедине­ ния? Это, по-видимому, зависит от силы взаимодействия ком­ понентов А—В. Классические примеры диффузии по границам

зерен в массивных образцах наблюдались или в системах с не­ ограниченной растворимостью, или в разбавленных сплавах. В этих случаях также имели место эффекты, отмеченные выше. Однако данные, которыми мы располагаем, не позволяют пока сделать каких-либо однозначных заключений на этот счет.

Совершенно очевидно, что тонкопленочным методам иссле­ дования диффузии наряду с особыми преимуществами присущи также определенные ограничения и недостатки. Последние, в частности, обусловлены трудностями определения профиля рас­ пределения или градиента концентрации, и поэтому в подобных исследованиях все чаще используются методы радиоактивных индикаторов, позволяющие избежать практически невозможного секционирования пленочных объектов. При этом в тонкопленоч­ ных системах можно пренебрегать поглощением радиации. До­ полнительные затруднения возникают также в связи с ограни­ чением по максимально допустимой температуре отжига. Пре­ небрежение этим ограничением может вызывать нежелательные структурные изменения, например образование агрегатов.

Основное достоинство тонкопленочной методики состоит в возможности проведения диффузии на очень малые расстояния. Диффузия на малые расстояния означает, что можно использо­ вать очень малые времена отжига или проводить отжиг при бо­ лее низких температурах, чем при диффузии в массивных образ­

цах. Наиболее ярко это преимущество проявляется при исполь­ зовании методики Дюмонда и Яутца, легко обнаруживающей эффекты градиентной энергии и когерентности в системах с не­ ограниченной растворимостью. Ряд диффузионных эффектов, о которых говорилось выше, удается наблюдать только тонкопле­ ночными методами. Это относится, например, к быстрой началь­ ной диффузии при образовании соединения Ag2Al и к последо­

вательности формирования Аи2А1 и АиАЬ. Для систем с проме­ жуточными фазами типично преимущественное образование определенной фазы вместо одновременного образования всех возможных фаз. Если такая ситуация возникает при взаимной диффузии двух чистых металлов, то наиболее вероятным пред­ ставляется такой случай, когда градиент химической активно­ сти почти целиком приходится на область вновь образующейся фазы, обеспечивая основную движущую силу диффузии. Это должно иметь место даже тогда, когда данная фаза существует в очень узкой области концентраций. На примере системы Аи—А1 это можно объяснить большим различием скоростей об­ разования АигА1 и АиАЬ, существующим несмотря на близость энергий активации формирования соответствующих фаз. При образовании Аи2А1 почти все изменение активности, приходя­ щееся иа область, простирающуюся от границы с чистым алю­ минием (концентрация золота равна нулю) до границы с чистым золотом, заключено в пределах этой фазы. Однако при форми­ ровании АиА1г изменение активности в пределах данной фазы отвечает изменению активности в области чистый алюминий — Аи2А1. Активность последнего соединения значительно ниже активности чистого золота. К сожалению, приведенные данные, по-видимому, непригодны для расчетов.

В будущем следует уделять гораздо больше внимания влия­ нию химической активности на диффузию. Для систем с неогра­ ниченной растворимостью и/или разбавленных растворов это было показано в оригинальной работе Даркена [62], а также в работе Бирченалла и Мела [63]. Настоящее утверждение явля­ лось лейтмотивом обзоров Леклера [64], который ввел член хи­ мической активности в классические уравнения диффузии с целью коррекции отклонений от «идеального» раствора. Роль химической активности в системах с промежуточными фазами намного значительней, так что корректирующий член такого типа становится основным фактором. Это нетрудно показать, переписав уравнение Даркена для коэффициента взаимной диф­ фузии D

D = (NADB + N&DA)( 1 + д lg у/d lg NA)

в терминах активности а:

N . da

D^ N AD'B + NBVA) - ^ - - ^

ирассмотрев систему, в которой образуется единственное ин­ терметаллическое соединение АВ с сильной А—В-связыо. При

этих условиях соединение существует в очень узком интервале составов, а наличием конечных растворов можно пренебречь в соответствии с правилом Юм-Розери. В даной ситуации полное изменение химической активности почти от нуля до почти еди­ ницы приходится на слой интерметаллического соединения, за­ ключенный между двумя чистыми металлами. Если множитель N A / CI ~ 1, то множитель da/dNA должен быть на несколько по­

рядков больше единицы, поскольку приближенно он опреде­ ляется изменением активности Да ~ 1 в слое соединения, отне­ сенным к области существования (ANa ), которая весьма узка (<С1). Большая величина D еще не означает, что соединение

растет очень быстро. Действительно, применяя упрощенное ре­ шение Гиббса для аналогичного случая, имеем

	ха +	хв — [ с\ _ с 2 +
Здесь С2—С3 соответствует ДNA. Заменяя					таким образом
(С2—C3)D,	получаем
	Г	1	1 1	2t N . Да	NBDA) »
(*л + х в ? =	[ с, -	С2 +	Сз — С4J	а W A DB +
~ [ сДсГ + c ^ c d 21 (N* D'° + N ° m					-

Для соединения АВ с узкой областью существования С2£»С3«

» '/г и, следовательно, учитывая, что	С\	1 и С4 « 0, имеем
(ХА + x Bf / t ~ 8 (N AD 'D +	N B D'A).

То есть скорость роста зависит непосредственно от коэффициен­ тов самодиффузии и только косвенно — от ДNA, причем послед­ ний эффект является эффектом второго порядка. Величина D

обычно высока при выражении коэффициента диффузии из ура­ внений Фика, когда градиент концентрации очень мал и хими­ ческая активность является основной движущей силой диффу­ зии. В подобных случаях лучше всего отказаться от уравнений Фика и переформулировать задачу в терминах градиента хими­ ческой активности, хотя этим определяется коэффициент диф­ фузии иного типа. Это дает определенные преимущества, по­ скольку экспериментально, по-видимому, легче измерять изме­ нения химической активности Да по слою соединения с узкой областью гомогенности, чем определять пределы растворимости.

				ЛИТЕРАТУРА
1. B o l t z m a n n				L., Wied. Ann., 53,		959 (1894).
2.	M a t a n o C . ,			Jap. J. Phys., 8, 109		(1933).
3.	D a r k e n L. S., Trans. A1ME, 175,					184 (1948).
4.	J o s t	W.,	Diffusion in Solids,			Liquids, Gases, Acad.		Press,	New York,
	I960.
5.	S e i t h	W., Diffusion in Metallen, Springer, Berlin,					1955;	русский перевод:
	В. 3 а й т, Диффузия в металлах, ИЛ, М., 1958.
6. B a r r e r R. М., Diffusion in					and	Through Solids, Cambridge Univ. Press,
	London	and	New York, 1941;		русский перевод: P.		Б эр pep,		Диффузия

в твердых телах, ИЛ, М., 1948.

7.C r a n k J., The Mathematics of Diffusion, Oxford Univ. Press (Clarendon), London and New York, 1956.

8.

К i d s о n G. V., /. Nucl. Mater., 3, 21

(1961).

9.

G i b b s G. B., /. Nucl. Mater., 20, 303

(1966).

10.

W e a v e С., H i 11

R. M., Advan. Phys., 8, 375 (1959).

11.

M i c h e l

P.,

Ann.

Phys. (Paris)

[13], 1, 719

(1956).

466

(1931).

12.

E i s e n h u t t

0.,

K a u p p

E.,

Z.

Elektrochem.,

37,

13.

D u M o n d J , Y o u t z J .

P., /. Appl. Phys.,

11, 357

(1940).

14.

J o s t

W.,

Z.Phys. Chem., Abt. B,

16, 123 (1932).

15.

J o s t

W.,

Z.Phys. Chem., Abt. B, 21,158 (1933).

Trans. Amer. Soc. Me­

16.

B u r r

A.

A.,

C o l e m a n

H.

S.,

D a v e y

W. B.,

17.

tals, 33, 73 (1944).

(1950).

В о e 11 c h e

r A., Z. Angew. Phys., 2,193, 249, 340

18.

B e l s e r

R. B.,

Rep.

№

7,

Proj. Ns 163-176,

US

Army

Signal

Corps

19.

Contr. DA-36-039-SC-42453, 1954.

(1950).

H e a v e n s

O. S.,

J. Phys. Rad., 11, 355

20.

B e n j a m i n

P.,

W e a v e r

C.,

Proc. Roy. Soc., A254, 163 (1960).

21.

B e n j a m i n

P.,

W e a v e r

C.,

Proc. Roy. Soc., A274, 267 (1963).

22. W e a v e г С., H i 11 R. M., Phil. Mag. [8], 3,

1402

(1958).

23.

G a y l e r

M. L., J. Inst. Metals,

60, 249 (1937).

Soc.

Metals,

31, 105

24.

C o l e m a n

H.

S., Y e a g l e y

H.

L.,

Trans. Amer.

25.

(1943).

C , Y e a g l e y H . L., Phys. Rev., 65, 56

(1944).

C o l e m a n H .

26.

S e i t h W., E t z о 1d K., Z. Elektrochem.,

14, 122

(1935).

27.

M e h l

R. F.,

Trans. AIME, 122,

11 (1936).

28.

S ch о p p e г H., Z. Phys.,

143, 93 (1955).

29.

W e a v e r

C.,

B r o w n

L. C., Phil. Mag. [8], 7, 1 (1962).

11,

205

(1968).

30.

T a k e i W.

J.,

F r a n c o m b e

M. H., Solid-State

Electron,

31.

P a r k i n s o n

D., неопубликованные данные, 1963.

W. J., Thin

Solid

Films,

32.

F r a n c o m be

M.

H.,

N o r e i k a

A.

J., T a k a i

1, 353 (1967).

L. C., Phil. Mag. [8], 8, 1379

33.

W e a v e r

C.,

B r o w n

(1963).

34.

W e a v e r

C.,

B r o w n

L. C„ Phil. Mag. [8],

17, 881

(1968).

35.B u c k l e H., Metallforschung, 1, 175 (1946).

36.W e a v e r C . , Advan. Phys., 11, 83 (1962).

37.	A n d e r s o n	J. S., Proc. Roy. ISoc., A185, 69	(1946).
38.	R e e s A. L.	G., Chemistry of the Defect	Solid State, Methuen, London,
	1954.

39.W e a v e r C . , S i n с I a i г G., в печати.

40.T u г n e г P. A., T h e u г e г H. С., T a i K. L., /. Vac. Set. Technol., 6, 650 (1969).

41.	С о о k H. E., H i 11 i a г d J. E., /.			Appl. Phys., 40, 2191 (1969).	(1969).
42.	P h i l o f s k y	E. M.,	H i l l i a r d	J. E., J. Appl. Phys., 40, 2198
43.	M a t t h e w s	J. W.,	C r a w f o r d	J. L., Phil. Mag. [8], 11, 977	(1965).
44.	A 1 e s s a n d г i n i E.		I., К u p t s i 3J. DM/. VQ,C. Set. T e c h n o l6, 647 (1969),

45.

Е 11 i о 11

R. P„ Constitution

of

Binary

Alloys,

1st

suppl.,

MeGraw-Hill,

New York, 1965.

J

Vac. ScL

Technol.,

6,

46.

R i c h a r d s

J.

L.,

M c C a n n

W,

H.,

/.

644

(1969).

47. M o n c h

G. C.,

Wiss. Z. Martin-Luther-Univ., Halle-Wittenberg,

Math.-Na-

turwiss. Reihe, 2, 599 (1962).

12,

48.

M o h r T., Ann. Phys. ( Leipzig) [6],

175 (1953).

49.

M o h r

T.,

Wiss,

Z. Martin-Luther-Univ.,

Halle-Wittenberg, Math-Natur-

50.

wiss. Reihe, 2, 601

(1952).

[6], 14, 367 (1954).

M o h r T„ Ann. Phys. (Leipzig)

51.

Mo h r T . ,

Ann. Phys. (Leipzig)

[6], 14, 377 (1954).

52.

Z o r l l

U.,

Ann. Phys. (Leipzig)

[6], 14, 385 (1954).

53.

J o h n s o n

D.

B.,

B r o w n

L.

C., /.

Appl.

Phys.,

40,

1711 (1969).

54.

K i e n e l G.,

Ann. Phys. (Leipzig) [6], 6, 1

(1955).

55.

Z o r l l

U., Ann. Phys. (Leipzig) [6], 16, 7

(1955).

56.

P i n e s

В. Y a,

G r e b e n n i k

I. В.,

В a z у u г a

R.

I.,

Z о z u 1 у n

G.

V.,

57.

Phys. Status Solidi, 20, 213 (1967).

Appl.

Phys.,

40,

149

(1969).

J o h n s o n

D.

B.f

B r o w n

L. C., /.

1589

58.

B r o w n L. C.,

S a n d e r s o n

С. C., J o h n

C. St.,

Trans. AIME, 231,

59.

(1966).

P a r k i n s o n D., неопубликованные данные, 1963.

60.

Z o r l l

U.,

Wiss.

Z. Martin-Luther-Univ.,

Halle-Wittenberg,

Math.-Natur-

wiss. Reihe, 4, 283 (1955).

61. CM. [6].

L. S.,

Trans. AIME,

150,

157

(1942).

62.

D a r k e n

143

(1947).

63.

B i r c h e n a l l C . E., Me h

1 R. F.,

Trans. AfME, 171,

64.

L e C l a i r e

A. D.,

Progr.

Metal Phys., 1 , 306 (1949);

4, 265

(1953).

	УКАЗАТЕЛЬ АВТОРОВ
А б е л е с Ф.	A b e l e s F., Faculte des	Sciences	et Institut
	d’Optique, Paris, France
Д е ль* 0 к а С. Док:.	D e 1 Г О с a C. J., University	of British	Columbia,
	Vancouver, Canada

Яе л о н А.

Ла р с о н Д . /С-

П у л ф р и Д. Л.

Уи в е р К.

Ян г Л.

Y e 1 о n	A., Yale	University, New Haven, Connec­
ticut
L a r s o n	D. C.,	Drexel University, Philadelphia,

Pennsylvania

P u 1 f г e у D. L., University of British Columbia, Vancouver, Canada

W e a v e r C., Department of Applied Physics, Uni­ versity of Strathclyde, Glasgow, Scotland

Y o u n g L., University of Britsh Columbia, Van­ couver, Canada

Предисловие к английскому изданию								5
!■ Анодные окисные пленки. С. Д ж. Д е л ь’О к а, Д. Л. П у л ф р и,								7
Л. Я н г (перевод А,	С. Даревского) .					.	.
I. В в ед ен и е .....................................................................					. .			7
И. Обзор некоторых основных характеристик анодирования								8
1. Поле перенапряжения								8
2. П одл ож к и .......................................................................								II
3. Методы получения: анодирование при постоянном токе
4. Мгновенные	значения ионной проводимости: нестационар­
ные п р о ц ессы .......................................................			напряжении . .				. . .	16
5. Анодирование при постоянном								18
6. Термическая	рекристаллизация		пленок пятиокисн тантала					20
и ниобия..................................
7. Фотостимулированный рост .								20
III. Теории ионной проводимости								21
1. В в е д е н и е ............................................................
2. Классические работы................................................................						. . .		23
3. Аномалия наклона Тафеля и теория Дюальда
4. Нестационарные процессы: генерация дефектов						по	Френ­
келю электрическим полем .......................................................								24
5. Эффективное	поле Дигнама. Теория медленной поляриза­							25
ции при нестационарных процессах впостоянном поле
6. Модель с двухзначной длинойактивации................................							пара­	28
7. Аморфные окислы: изменчивость и				распределение
метров узлов......................................................................		l g / от Е						2
8. Нелинейная	зависимость			lg /	от Е .
9. Объяснение	нелинейной	зависимости						31
10. Доказательства подвижности двух сортов					ионов .			24
11. Эллипсометрические доказательства				двухслойности . .				38-

12.Теории подвижности при переносе ионов двух сортов . . 41

13.Новая интерпретация экспериментальных данных по ионной

	проводимости на основе двухслойной модели .	. . . .	42
14. Основные данные по ионной проводимости .			45
15.	Границы применимости классической модели и	необходи­	46
16.	мость рассмотрения нормальных мод колебаний .
	Влияние электронов на ионную проводимость .		48
IV. Газовое анодирование			48

1.В в е д е н и е ................................................................

2.Методы получения плазмы .................................................

3. Обсуждение экспериментальной методики		56
4.	Результаты . .
5.	Возможные механизмы роста окисных пленок	62

V. Диэлектрические свойства		65
1.	Введение . . . . .	65
2.	Процессы поляризации.....................	67
3.	Электронный перенос на постоянном токе	79
4.	Диэлектрический пробои	82

2 -	Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических				97
	пленок		и проволок. Д. К. Л а р с о н (перевод Э. М. Эпштейна) .
	I. В в еден и е...............................................................				97
	II. Теория классических размерныхэффектов				98
		1. Объемная проводимость			98
		2. Тонкие пленки		. • • .	100
		3.	Тонкие проволоки		103
		4.	Параметр зеркальности .		105
		5. Анизотропия монокристалла			107
		6. Температурная зависимость			110
	III.	7. Измерения на одном образце .			117
		Экспериментальные измерения			118
		1.	Приготовление образцов . . . .		118
		2.	Эксперименты с тонкими пленками .		121
		3.	Эксперименты с тонкими проволоками		137
		4.	Температурная зав и си м ость .........................		144
		5.	Обсуждение экспериментальных результатов		152
	IV.	Квантовые размерные эффекты .			158
		1.	Теория..............................................	измерения	158
		2.	Экспериментальные		161
3«	Оптические свойства металлических пленок. Ф. А б е л е с (Перевод				171
	Э.	М. Эпштейна)
	I.	В ведение...........................................		м еталл ов	171
	II.	Оптические свойства			172

III.Формулы для тонких однородных и изотропных металлических

	п л ен о к ..............................................				175
	I.	Определения и обозначения			175
	2	Формулы			176
	3. Примеры.................				178
IV.	Очень тонкие пленки . . . .				191
	1. Отражение и пропускание...............................................................				191
	2. Эллиптическая поляризация света при отражении и пропу­
V.		скании ..........................		. 1 9 7
	Анизотропные пленки .				197
	1. Общие выражения				197
	2.	Интенсивности .			199
	3.	Ф а з ы .....................	.		200
	4. Полное отраж ение..............................				200
VI.	5. Очень тонкие анизотропные пленки ......................................				201
	Измерение оптических параметров металлических пленок				203
	1.	Фотометрические измерения .			203
	2. Поляриметрические измерения . .				207
	3.	Интерферометрические измерения			208
VII.	4. Комбинированные м е т о д ы ....................................................................				208
	Специфические		оптические свойства	тонких металлических
	п л ен ок ..............................		.		210.
	1. Вводные за м еч а н и я ...........................................				210
	2.	Аномальный	скин-эффект в тонких пленках . . .		211
	3.	Оптические плазменные резонансы в тонких пленках .			217
	4. Оптические		свойства, связанные со	структурой пленки .	221

Взаимодействия в многослойных пленочных магнитных структурах.

А.	И е л о и (п е р е в о д Н . Я. К и р ю х и н а )						.	228
I.	Введение...................		.	.				228
II.	Типы взаимодействия .							231
	1. Прямое обменное взаимодействие............................................				связь (обменная		ани­	231
	2. Ферромагнитно-антиферромагнитная							237
	зотропия) .......................................		связь пленок		.
	3. Магнитостатическая							249
	4. Магнитостатическая		связь доменныхстенок					253
	5. Дырочная и косвенная связи.......................................							268
III.	6. Разделение эффектов связи. Комбинацияэффектов .							275
	Эффекты связи ...............................................................					. . .		278
	1. Квазистатическое перемагничивание (намагниченность в ка­							279
	ждом слое постоянна)...........................................				Намагниченность		.
	2. Квазистатическое перемагничивание						не­	290
	постоянна по толщине слоя .
	3. Импульсное перемагничивание							300
	4. Резонансные	явления . .		....................................			. .	303
	5. Доменная структура взаимодействующих пленок							306
IV.	6. Анизотропия высших порядков и спиральная анизотропия .							310
	Применения многослойных пленок........................					.	. .	322
	1. Системы памяти со считыванием с разрушением информации							323
	2. Системы памяти со считыванием без разрушения информации							324
V.	3. Некоторые другие применения				.			326
	Заключение .	.						326
5 - Диффузия в металлических пленках, К. У и в е р (п е р е в о д Л, С. Д а -								334
р е в с к о г о )
I.	Введение	системы				334		334
II.	Металлические					.
	1. Системы с неограниченной			растворимостью .				334
	2. Системы с ограниченной растворимостью					.		337
III.	3. Системы с интерметаллическими соединениями							338
	Экспериментальные методы					350		343
IV.	Экспериментальные результаты							350
	1. Системы с интерметаллическими соединениями
	2. Системы с неограниченной растворимостью							373
V.	3. Продольная диффузия							377
	Заключение							383
Указатель авторов								389
	Ф И ЗИ К А Т О Н К И Х П Л Е Н О К . Т. VI
		Редактор В , С. Х А Н Г У Л О В А
Переплет художника Я. А. У с а ч е ва			Художественный редактор Ю . С . У р м а н ч е е в
	Технический редактор Я. А . И о в л е в а			Корректор Я. Я. Б а р а н о в а
Сдано в набор 27/Х 1972 г. Подписано к печати 20/Ш 1973 г.						Бумага № I 60X90*/,12,25
	бум. л. 24,50 печ. л.			Уч.*изд,	л. 25,03
	Изд. JV» 20/6827. Цена 2 р. 12 к. Зак. 395

ИЗДАТЕЛЬСТВО „МИР“ Москва. 1-й Рижский пер., 2

Ордена Трудового Красного Знамени Ленинградская типография № 2 имени Евгении Соколовой «Союзполиграфпрома» при Государственном комитете

Совета Министров	СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли.
гд	Ленинград, Л-52, Измайловский проспект, 29