- •Эффективные импульсно-периодические эксимерные лазеры
- •1. Введение
- •2. Кинетика
- •2.1 Эксимерные молекулы
- •2.2 Плазмо-химические реакции.
- •3.Упрощенная моделькинетики образования XeCl молекулы.
- •3. Система возбуждения.
- •3.1 Механизмы возбуждения эксимерных лазеров
- •3.2 Возбуждение эксимерного лазера элекронным пучком
- •3.3 Возбуждение зксимерного лазера разрядом
- •3.4 Общая характеристика систем предыонизации
- •3.5 Основные схемы возбуждения ээл
- •3.6 Использование lc-контура для возбужденияэлектроразрядных эксимерных лазеров
- •3.7 Описание схемы lc-инвертора
- •4. Системы прокачки рабочей смеси
- •5. Резонатор лазера
- •5.1 Формирование лазерного излучения
- •5.2 Формирование расходимости выходного излучения при использовании различных типов резонаторов
- •5.3 Формирование узкой спектральной линии излучения в селективных резонаторах, включающих в себя дифракционные решетки и эталоны Фабри-Перо
- •6. Экспериментальные приборы и методики измерений
- •6.1 Приборы и методы измерения
- •6.2 Погрешности измерений
- •6.3. Экспериментальные установки и их характеристики
- •7. Исследования формирования качественного излучения
- •7.1 Расходимость выходного излучения сформированного в плоско-параллельном резонаторе.
- •7.2 Формирование излучения с узкой спектральной линии в селективном резонаторе.
- •Литература
Литература
Борисов В.М., Брагин И.Е., Виноходов А.Ю., Водчиц В.А. Квантовая электроника, 22(6), 533-536, 1995.
Lacour B. et al., SPIE Vol. 2206, pp. 41-45, 1994.
Riva R., Legentil M., Pasquiers S. and Puech J. Phys. D.: Appl. Phys. 28, 856-872, 1995.
Macarov M., Bonnet J., Pigach D. Appl. Phys. B 66, 417, 1998.
Lo D., Xie J. A megawatt excimer laser of small discharge volume (3.8cm3). Optical and Quantum Electronics, 21, 147–150, 1989.
Miyazaki K, Toda Y., Hasama T., Sato T. Efficient and compact discharge XeCl laser with automatic UV preionization . Rev. Sci. Instrum., 56, 201–204, 1985.
Панченко Ю.Н., Иванов Н.Г., Лосев В.Ф. «Особенности формирования активной среды в короткоимпульсном электроразрядном XeCl лазере», Квантовая электроника, 35(9), 618-620, 2005.
Yu. I. Bychkov, V.F.Losev, Yu. N. Panchenko, A.G.Yastremsky, and S.A. Yampolskaya. - Research of short pulse discharge XeCl laser // SPIE Vol. 5777, 558-561, 2005.
Yu.I. Bychkov, V.F. Losev, Yu.N. Panchenko, A.G.Yastremsky. Efficiency of discharge XeCl laser with 30 ns radiation pulse duration // SPIE Vol. 6053, 266-269, 2006.
Yu. I. Bychkov, E. F. Balbonenko, N. G. Ivanov, V. F. Losev, Yu. N. Panchenko, and A.G.Yastremsky Discharge pulse-repetition XeCl laser with high efficiency and intensity of radiation.- XII Conferrence on Laser Optics.- St.Petersburg, Russia, 2006, June 26-30.
Боранов В.Ю., Борисова В. М., Степанова Ю.Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. - М.: Энергоатомиздат, 1988. - 216 с.
Роудз Ч. Эксимерные лазеры. - изд. «Мир», 1981, - 241 с.
А.В. Елецкий. Эксимерные лазеры. - Успехи физических наук, Июнь, 1978, - Том 125, вып. 2, 279 – 313 с.
A.A. Filippo and M.R. Perrone Experimentol Study of Situlated Brillouin Scattering byBroad Band Pamping// IEEE journal of quantum electronics. vol. 28, no 9. september 1992.
C.B. Dane, W.A Neuman, and L.A. Hackel High Energy SBS Pulse Compression// IEEE journal of quantum electronics. vol. 30, no 8. Avgust 1994.
Ануфрик С.С., Зноско К.Ф., Курганский А.Д.. Влияние параметров LC-контура на энергию генерации XeCl-лазера.// Квантовая электроника, Т.16, №11, с.2228-2231 (1989).
Газовые лазеры: Пер. с англ. / Под ред. И.Мак–Даниеля и У.Нитэна. – М.: Мир, 1986. – 548 с.
Верховский В.С., Мельченко С.В., Тарасенко В.Ф. Генерация на молекулах XeCl при возбуждении быстрым разрядом // Квант. электрон. – 1981. – Т.8, №2. – С.417–419.
Борисов В.М., Борисов А.В., Брагин И.Е., Виноходов А.Ю. Эффекты ограничения мощности в компактных импульсно-переодических KrF-лазерах // Квантовая электроника – 1995.-Т.22., № 5.- С.446-450.
Азотный лазер с частотой повторения импульсов 11 кГц и расходимостью излучения 0.5 мрад / Аттежев В.В., Вартапетов С.К., Жигалкин А.К., Лапшин К.Э., Обидин А.З. // Квантовая электроника – 2004.-Т.34., № 9.- С.790-794.
Атежев В.В., Вартапетов С.К., Жуков А.Н., Курзанов М.А., Обидин А.З. Эксимерный лазер с высокой когерентностью // Квантовая электроника – 2003.-Т.33., № 8.- С.689-692.
Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и проблема расходимости лазерного излучения.- М.: Наука. 1979.-328 с.
Partanen J.P., Shaw M.J. A Single-mode KrF laser // Appl. Phys. B.- 1987.- Vol.43, PP.231-237.
Thomas J. Pacala, I. Stuart McDerid, James B. Laudenslager Ultranarrow linewidth, magnetically switched, long pulse, xenon chloride laser // Appl. Phys. Lett.-1984.- Vol. 44, No.7., PP.658-660.
Goldhar J., Rapoport W.R., Murray J.R. An injection-locked unstable resonator rare-gas halide discharge laser of narrow linewigth and high spatial quality // IEEE J. of Quant Elect.-1980.- Vol.QE-16, No.2., PP.235-241.
Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Панченко Ю.Н. Экспериментальное исследование эффективности ОВФ пучка XeCl-лазера при ВРМБ // Квантовая электроника – 1992.-Т.19., № 7.- С.688-690.
Terrence J. McKee Optical cavity design for long pulse eximer lasers // Appl. Opt.-1991.- Vol.30, No.6., PP.635-644.
Осипов В.В., Орлов А.Н., Каширин В.И., Соломонов В.И, Коротаев А.В. Характеристики излучения XeCl-лазера с неустойчивым резонатором и несимметричным выводом излучения// Квантовая электроника – 1999.-Т.28., № 2- С.157-161.
Анохов С.П., Марусий Т.Я., Соскин М.С. Перестраиваемые лазеры / Под ред. проф. М.С. Соскина.- М.: Радио и связь, 1982.- 360 с.
Кудинов И.А., Платоненко В.Т., Слободчиков Е.В. Узкополосный перестраиваемый эксимерный лазер на XeCl // Квантовая электроника – 1990.-Т.17., № 5- С.543-547.
Иващенко П.А., Калинин Ю.А., Морозов Б.Н. Измерение параметров лазеров.-М.: Издательство стандартов, 1982.-168с.
Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Шевера В.С. и др. Малогабаритный электроразрядный лазер на хлоридах ксенона и криптона // ЖПС.-1990.-Т.53, №2.-С.337-339.
Зайдель А.Н. Ошибки измерений физических величин.- Л.: Наука. 1974.-108 с.