6 Минусы метода
Метод
лазерной абляции имеет определённые
трудности, связанные с получением
плёнок веществ, слабо поглощающих
(оксиды различных веществ) или отражающих
(ряд металлов) лазерное излучение в
видимой и близкой ИК-области спектра.
Существенным недостатком метода
является низкий коэффициент использования
материала мишени, поскольку его
интенсивное испарение происходит из
узкой зоны эрозии, определяемой размером
фокального пятна (~10-2
см2),
и вследствие этого небольшая площадь
осаждения (~10см2).
Значение коэффициента полезного
использования материала мишени при
лазерном напылении составляет 1 —
2 % и менее. Образование кратера в
зоне эрозии и его углубление изменяет
пространственный угол разлёта вещества,
вследствие чего ухудшается однородность
пленок, как по толщине, так и по составу,
а также выводит мишень из строя, что
особенно характерно для высокочастотного
напыления (частота следования импульсов
порядка 10 кГц). Повышение однородности
плёнок и увеличения срока службы мишени
требует использования скоростной
системы (~1 м/с) плоскопараллельного
сканирования мишени, что позволяет
избежать перекрытия соседних фокальных
пятен, и вследствие этого локального
перегрева мишени и образования на ней
глубоких кратеров, что, однако существенно
усложняет конструкцию внутрикамерного
устройства и сам процесс напыления.