1. Вимірювання величини інтервалу між смугами.

   Величина інтервалу між смугами визначається числом поділок шкали барабану окулярного мікрометра. Для більшої точності вимірювання юстування нитки перехрестя сітки окулярного мікрометра краще всього проводити по середині, а не по краю смуги.

   На мал. 3 показаний вигляд вузької полоски поля зору мікроінтерферометра у збільшеному масштабі та вказане правильне положення горизонтального штриха перехрестя гвинтового окулярного мікрометра при вимірюванні.

   Перший відлік N₁ знімають з шкали гвинтового окулярного мікрометра при суміщенні однієї з ниток перехрестя рухомої сітки з серединою смуги; потім

   суміщають цю ж нитку перехрестя з серединою наступної смуги або, у випадку роботи з монохроматичними світлом, з серединою якої-небудь іншої смуги і отримують другий відлік N₂; при цьому необхідно відмітити число інтервалів n між смугами.

2. Вимірювання величини згину смуг.

   Величину згину смуг також виражають в поділках шкали барабану окулярного гвинтового мікрометра.

   Одну з ниток перехрестя сітки мікрометра суміщають з серединою смуги і по шкалах окулярного мікрометра знімають відлік N₃. Потім нитку перехрестя суміщають з серединою тієї ж смуги в місці згину і отримують другий відлік N₄.

   Величина згину смуги в долях інтервалу між смугами задається формулою:

   .

   

3. Визначення величини нерівності.

   При роботі в білому світлі викривлення в одну інтерференційну смугу відповідає висоті нерівності на досліджуваній поверхні, яка рівна 0,27 мкм. В такому випадку висота нерівності Н в мікрометрах визначається з формули:

   ,

   де N₁ - перший відлік при вимірюванні інтервалу між смугами,

   N₂ - другий відлік при вимірюванні інтервалу між смугами,

   N₃ - перший відлік при вимірюванні величини згину смуги,

   N₄ - другий відлік при вимірюванні величини згину смуги,

   n - число інтервалів між смугами.

4. Методика визначення характеру нерівностей (впадини, виступи).

   Інтерференційна картина у вигляді смуг утворюється в результаті того, що поверхня досліджуваного зразка розміщена під невеликим кутом a до поверхні хвильового фроту, відбитого від дзеркала. Хвильовий фронт представляє собою систему паралельних площин рівних фаз, віддалених одна від одної на відстань l

   Інтерференційні смуги, що спостерігаються, є геометричним перерізом поверхні зразка системою вказаних поверхонь рівних фаз. (мал. 4).

   З мал. 4а видно, що у випадку впадини згини інтерференційних смуг направлені в сторону вершини кута a, утвореного поверхнею зразка та площиною хвильового фронту.

   З мал. 4б видно, що у випадку виступу згини інтерференційних смуг направлені в сторону розтину кута a.

   Зрозуміло, що для визначення характеру нерівності необхідно вияснити напрямок розтину кута a та співставити побачене з мал. 4а,б. Для цього тубус мікроскопа переміщуємо у напрямку до поверхні зразка. При цьому інтерференційна картина починає зміщуватися в сторону розтвину кута a.

   

   Це пов’язано з тим, що для спостереження інтерференційної картини повинна зберігатися рівність відстаней від розділяючої грані кубика до дзеркала та до поверхні (тобто ОА=ОВ, мал.5). Іншими словами, вздовж розділяючої грані кубика система інтерферометра завжди «вибирає» ділянку, відстань від якої до об’єкта та до опорного дзеркала рівні (ОА=ОА=ОВ).

   

   5. Визначення параметрів для контролю якості обробки поверхонь.

   В якості основних параметрів, затверджених Держстандартом для контролю чистоти обробки поверхні, використовуються величини R_a і R_z. Основний параметр R_a - середнє арифметичне відхилення нерівностей від середньої лінії профілю. Так звана «середня лінія» прийнята для кількісної

   характеристики шорсткої поверхні при обробці профілю. Вона поділяє профіль

   таким чином, що площі фігур по обидві сторони від цієї лінії рівні між собою.

   Математично величина R_a може бути визначена як

   ,

   де h - відхилення нерівностей від середньої лінії профілю поверхні.

   Іншими важливим параметром при контролі чистоти обробки поверхонь є величина R_z, яка представляє собою середню різницю між п’ятьма найвищими та п’ятьма найнижчими точками профілю в межах базової лінії:

   ,

   де h_i - висоти вказаних точок від деякої лінії, яка паралельна до середньої лінії.

   В даний час часто використовується параметр шорсткості, який називають середньоквадратичним відхиленням від середньої лінії профілю, і який позначається s:

   .

   Вимоги до змісту звіту

   Звіт повинен містити:

   1.назву і номер роботи,

1. мету роботи й завдання,

2. перелік обладнання,

3. короткий реферат з теоретичної частини,

4. схему установки або приладу, що використовується,

5. таблиці з результатами вимірювань,

6. обчислення й розрахунки шуканих величин,

7. графіки, виконані на міліметровому папері,

8. розрахунок похибок шуканих величин.