- •Методические указания
- •«Новые физические явления и материалы в микроэлектронике»
- •140402 «Физика и техника полупроводников»
- •Составители: канд. Техн. Наук н.Н. Кошелева,
- •Лабораторная работа № 2 Исследование структуры пленок диоксида олова с помощью электронного просвечивающего микроскопа
- •Обратная решетка. Условия дифракции коротковолнового излучения на кристалле
- •Основная формула электронографии
- •Типы электронограмм
- •Электронограммы от поликристалла, их расшифровка и применение
- •Практическая часть
- •Контрольные вопросы
- •Библиографический список
- •Содержание
- •394026 Воронеж, Московский просп., 14
- •«Новые физические явления и материалы в микроэлектронике»
- •140402 «Физика и техника полупроводников»
- •Составители Кошелева Наталья Николаевна,
Обратная решетка. Условия дифракции коротковолнового излучения на кристалле
Важную роль в теории дифракции на кристалле как рентгеновских, так и электронных волн играет понятие обратной решетки.
В курсе «Кристаллография» понятие обратной решетки формализовано и вводится через векторы элементарных трансляций a, b, c прямой решетки [1].
где V = (a[dc]) – объем параллепипеда, построенного на этих трансляциях.
Вектора a*, b*, c* называются базисными векторами обратной решетки в отличие от базисных векторов a, b, c прямой решетки.
Построив на векторах a*, b*, c* с общим началом координат (000) множество векторов вида:
где h, k, l – целые числа, получим решетку, которую называют обратной. Hhkl – вектор обратной решетки, hkl - узлы обратной решетки, (000) – начальный узел обратной решетки.
Между прямой и обратной решетками можно установить следующие соответствия:
(aa*) = (bb*) = (cc*) = 1
произведения типа (a*b) = (a*с) = (ab*)= (ac*) = (bc*) = (b*c) = 0, что означает, что разноименные векторы прямой и обратной решетки взаимно перпендикулярны.
Объем элементарной ячейки равен смешанному произведению осевых векторов.
(a[bc]) = V,
4. Вектор обратной решетки Hhkl перпендикулярен к плоскости (hkl) прямой решетки и по своей абсолютной величине обратно пропорционален межплоскостному расстоянию dhkl.
.
В дифракционных методах исследования понятие обратной решетки приобретает вполне конкретный физический смысл. В своей монографии «Структурная электронография» [2] Б.К. Вайнтшейн, рассматривая рассеяние коротковолнового излучения на трехмерном периодическом объекте, каким является кристалл, показывает, что распределение точек, в которых амплитуда рассеяния отлична от 0 и принимает значения Фhkl периодично в обратном пространстве и образует обратную решетку.
.
Это выражение для структурной амплитуды, определяющей рассеяние одной элементарной ячейкой кристалла. φ(r) - распределение рассеивающей материи внутри ячейки. Каждая точка обратной решетки узел hkl - характеризуется вектором обратной решетки,
имеющим начало в узле (000), где S = k - k0; k и k0 соответственно единичные волновые вектора рассеянной и падающей волн.
Условие дифракции от кристалла заключается в соотношении:
Это соотношение определяет возможные направления к дифрагируемых кристаллом волн, а его геометрическая интерпретация реализуется с помощью сферы отражения (сферы Эвальда) и обратной решетки.
При фиксированном значении кo возникают лишь те дифрагированные лучи, которые соответствуют пересечению узлов обратной решетки сферой отражения. Поскольку радиус сферы отражения относительно обратной решетки равен 1/λ.
На рис. 2 представлена геометрическая интерпретация условия дифракции в свете обратной решетки и сферы отражения для рентгеновских лучей, когда последняя имеет заметную кривизну.
Рис. 2
В электронографии, учитывая, что длина волны на два порядка меньше длин волн рентгеновских лучей, радиус сферы отражения велик и с достаточной степенью точности участок сферы отражения, соответствующий малому интервалу углов Вульфа-Брэгга можно считать плоским (рис. 2).
Таким образом, электронограмма является плоским сечением обратной решетки, проведенным через начальный узел (000) перпендикулярно падающему пучку в определенном масштабе.
Это определение применимо для всех типов электронограмм и существенно упрощает рассмотрение их геометрии.