Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:новая папка 1 / 323719
.pdfУчебное издание
ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Часть 3 Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного
травления полупроводников в галогенсодержащей плазме
Учебно-методическое пособие для вузов
Составители: Владимирова Людмила Николаевна,
Дикарев Юрий Иванович, Рубинштейн Владимир Михайлович, Петраков Владимир Иванович
Корректор В.П. Бахметьев
Компьютерная верстка Е.Н. Комарчук
Подписано в печать 17.06.2014. Формат 60×84/16. Усл. печ. л. 1,2. Тираж 50 экз. Заказ 421
Издательский дом ВГУ. 394000, г. Воронеж, пл. Ленина, 10
Отпечатано в типографии Издательского дома ВГУ. 394000, г. Воронеж, ул. Пушкинская, 3
21
Соседние файлы в папке новая папка 1