- •Министерство образования и науки украины
- •Тема 1. Введение. Полупроводники. P-n-переход Введение
- •История развития электроники
- •Электропроводность полупроводников (собственная и примесная проводимость)
- •P-n-переход в состоянии термодинамического равновесия
- •P-n-переход под воздействием внешнего напряжения
- •Тема 2. Полупроводниковые диоды
- •Выпрямительные диоды
- •Полупроводниковые стабилитроны
- •Варикапы
- •Тема 3. Транзисторы. Устройство и принцип
- •Устройство биполярного транзистора
- •Принцип действия и схемы включения биполярного транзистора
- •Тема 4. Характеристики и параметры
- •Вольт-амперные характеристики биполярных транзисторов
- •H-параметры транзистора
- •Тема 5. Полевые транзисторы
- •Тема 6. Биполярные транзисторы с изолированным затвором (igbt-транзисторы)
- •Тема 7. Тиристоры
- •Тема 8. Интегральные микросхемы (имс)
- •Элементы и компоненты имс
- •Тема 9. Общие сведения об усилителях и их классификация. Основные параметры и характеристики усилителей
- •Основные технические характеристики усилителей
- •Вопросы согласования усилителей
- •Тема 10. Каскады предварительного усиления Практические схемы ук с оэ, об и ок. Составной эмиттерный повторитель
- •Тема 11. Усилители постоянного тока
- •Дифференциальные усилители
- •Тема 12. Классы усиления
- •Тема 13. Обратные связи в усилителях Принципы обратной связи
- •Виды обратной связи
- •Тема 14. Операционные усилители Общие сведения
- •Основные схемы включения оу
- •Характеристики оу
- •Тема 15. Общие сведения об импульсных устройствах
- •Тема 16. Транзисторный ключ как формирователь импульса
- •Содержание
Тема 8. Интегральные микросхемы (имс)
Интегральная микросхема – это микроминиатюрное электронное устройство, элементы которого нераздельно связаны конструктивно и соединены между собой электрически. Первые интегральные схемы были созданы в 1958 г. в США независимо друг от друга Джеком Килби (фирма Texas Instruments) и Робертом Нойсом (фирма Fairchild Semiconductor), а в 1962 г. был начат их промышленный выпуск. По способу объединения (интеграции) элементов различают полупроводниковые, пленочные и гибридные интегральные микросхемы (ИМС) или IC (integrated circuit). Полупроводниковые ИМС изготавливают из особо чистых полупроводниковых материалов (кремния, германия), в которых перестраивают структуру кристаллов так, что отдельные области кристалла становятся элементами сложной системы. Например, возможность размещения в одном кристалле 5000 транзисторов позволила создать наручные электронно-цифровые часы. Наличие 20000 транзисторов при таких же размерах кристалла вызвало появление микрокалькуляторов.
В настоящее время принято считать, что число элементов в ИМС каждые 18 месяцев возрастает примерно в 2 раза – так называемый закон Мура (назван в честь американского исследователя Гордона Мура (фирма Intel), открывшего этот закон в 1965 г.).
Классифицируют ИМС по следующим признакам:
1) по технологии изготовления:
а) плёночные – ИМС, у которых все элементы выполнены в виде тонких плёнок, нанесенных на диэлектрическое основание (подложку);
б) гибридные – ИМС, у которых пассивные элементы выполнены по тонкоплёночной технологии, а активные элементы (диоды, транзисторы и т.д.) выполнены как отдельные, навесные, бескорпусные;
в) полупроводниковые (монолитные) – ИМС, у которых все элементы "выращены" в кристалле полупроводника;
2) по способу преобразования и обработки информации:
а) аналоговые ИМС – с непрерывной обработкой информации;
б) цифровые ИМС – с дискретной обработкой информации;
3) по степени интеграции:
Степень интеграции характеризуется показателем , гдеN – количество элементов в одном корпусе микросхемы.
Элементы и компоненты имс
К пассивным компонентам ИМС относятся резисторы, конденсаторы, индуктивности и внутрисхемные соединения.
Резисторы в тонкоплёночных ИМС представляют собой или полоску, или плёнку определённой конфигурации, нанесенную между двумя контактами на непроводящем основании (подложке). На рис. 41, а, б показаны две основные конфигурации плёночных резисторов.
|
Рис. 41. Конструкция плёночных резисторов (а, б); структура диффузионного резистора (в): 1 – плёнка резистора; 2 – эпитаксиальная плёнка; 3 – подложка; В – выводы |
Изменение сопротивления резистора осуществляется как за счёт изменения геометрических размеров плёнки (ширины, длины и толщины), так и за счёт изменения её материала. Металлоплёночные резисторы получают путём осаждения из паров нихрома, тантала, нитрида тантала или из смесей металлов с диэлектриком, которые называются керметами. Их применение обеспечивает высокое удельное сопротивление. Керметы получают их хрома и монооксида кремния путём одновременного осаждения их из паров на подложку. Подложку выполняют из стекла, керамики или пластмассы.
В монолитных ИМС роль резистора выполняет объёмное сопротивление участка монокристалла полупроводника, в объёме которого изготавливают ИМС. Кристалл в этом случае является подложкой. Чаще всего такие резисторы получают методом локальной диффузии и поэтому называют диффузионными (структура подобного резистора показана на рис. 41, в). При этом одновременно создаются базовые или эмиттерные области соответствующих транзисторов.
Конденсаторы в ИМС используются двух типов: тонкоплёночные и конденсаторы, основанные на использовании барьерной ёмкости p-n-перехода. Тонкоплёночные конденсаторы (рис. 42, а) представляют собой трёхслойную структуру металл-диэлектрик-металл. В качестве диэлектрика обычно используют оксид тантала Ta2O5, сульфид цинка ZnS, оксид алюминия Al2O3 и монооксид кремния SiO или германия GeO и др.
|
Рис. 42. Структура тонкоплёночного конденсатора (а); структура конденсатора с обкладкой в виде кремниевой подложки (б); структура конденсатора монолитных ИМС (в): 1 – диэлектрик; 2 – обкладки конденсатора; 3 – эпитаксиальный слой; 4 – подложка; А, В – выводы |
В ряде случаев одной из обкладок конденсатора является кремниевая подложка (в случае монолитных ИМС), на которой методом окисления получен слой диэлектрика SiO2. На диэлектриках, в свою очередь, напылена вторая обкладка. Структура такого конденсатора показана на рис. 42, б.
Конденсаторы полупроводниковых ИМС могут выполняться в виде закрытого p-n-перехода. Технология их изготовления аналогична технологии изготовления резисторов; их также создают одновременно с формированием соответствующих областей транзисторов. Структура конденсатора монолитных ИМС показана на рис. 42, в.
При создании ИМС наибольшую трудность представляет изготовление катушек индуктивности. В настоящее время для этого используют только тонкоплёночную технологию, при которой катушки индуктивности получают осаждением на подложку материала, имеющего малое удельное сопротивление. Их обычно выполняют в виде спирали с малым шагом (рис. 43).
|
Рис. 43. Плёночная индуктивная катушка: 1 – тонкая плёнка; 2 – подложка |
Тонкоплёночные индуктивные катушки имеют размеры, значительно бóльшие размеров других компонентов ИМС. Трудности, возникающие при изготовлении индуктивных катушек, заставляют при разработке ИМС почти полностью отказаться от их использования.
Полевые и биполярные транзисторы, применяемые в ИМС, изготавливают по технологии монолитных ИМС. Иногда используют отдельные дискретные миниатюрные бескорпусные транзисторы. Диоды, используемые в ИМС, выполняют либо по технологии монолитных ИМС, либо применяют дискретные навесные. Для упрощения технологического процесса в монолитных ИМС в качестве диодов используют транзисторы, выводы которых на стадии формирования контактов соединяют между собой.