Результаты проведенного расчета для заданного маршрута.

№ п/п	Кислородное содержание	Ориентация подложки	Сопротивление, Ом/□	Глубина залегания перехода, мкм	Толщина термического окисла (р), нм	Толщина термического окисла (авт), нм
1	100	100	128,8	2,963	142,66	142,66
2	100	111	152,3	2,881	158,81	158,81
3	10	100	109,1	2,732	42,52	42,52
4	10	111	120,1	2,654	49,57	49,57
5	1	100	103,1	2,645	13,83	13,83
6	1	111	109,4	2,568	16,87	16,87
7	0	100	101,2	2,600	0	0
8	0	111	106,2	2,500	0	0

Профиль распределения активной примеси на подложке с ориентацией (100) с разным процентным содержанием кислорода в атмосфере

Профиль распределения активной примеси на подложках с ориентацией (111) с разным процентным содержанием кислорода в атмосфере.

Зависимость Rs от содержания O₂ в атмосфере для разных ориентаций подложек

Зависимость глубины залегания перехода от содержания O₂ в атмосфере для разных ориентаций подложек

Зависимости толщины оксида Si от содержания O₂ в атмосфере для разных ориентаций

Вывод: Из полученных выше графиков видно, что с увеличением содержания кислорода в атмосфере значения интересующих характеристик увеличиваются. В зависимости от ориентации подложек ситуации для параметров разные. Так глубина p-n-перехода для подложек с ориентацией (100) больше, чем для подложек (111), что объясняется большей плотностью атомов в подложках (111). Соответственно, поверхностное сопротивление, наоборот, больше для подложек (111). Толщина выращенного окисла при равных условиях роста будет больше для подложек с ориентацией (111), так как число свободных связей на поверхности больше, чем для подложек (100), соответственно скорость реакции окисления будет выше и при одинаковых условиях окисел получится толще.

После выполнения сценария в папке появляется 113 новых файлов. При этом каждому расчетному узлу соответствует 8 файлов (*.cmd, *.err, *.job, *.out, *.plx – 3 файла, *.sta).

Файлы с расширением:

• *.out – хранят результаты вычислений;

• *.cmd – содержат командный файл (перечень команд);

• *.job – хранится дополнительная информация по отладке задач, связанных с построением графиков;

• *.plx – содержат переменные решения (профили легирования);

PART 2.

Результаты проведенного расчета для заданного маршрута.

№ п/п	Время, мин	Доза, мкКл/см^2	Ориентация подложки	Сопротивление, Ом/□	Глубина Xj, мкм
1	2	80	100	159,4	1,200
2	2	800	100	224,8	1,100
3	3	80	100	157,6	1,200
4	3	800	100	222,4	1,200
5	4	80	100	155,7	1,300
6	4	800	100	220,4	1,400
7	5	80	100	153,8	1,300
8	5	800	100	218,6	1,500
9	6	80	100	151,9	1,400
10	6	800	100	216,9	1,600
11	7	80	100	150,1	1,500
12	7	800	100	215,3	1,800
13	8	80	100	148,3	1,600
14	8	800	100	213,7	1,900
15	9	80	100	146,6	1,600
16	9	800	100	212,3	2,000
17	10	80	100	144,9	1,700
18	10	800	100	210,9	2,100
19	11	80	100	143,2	1,800
20	11	800	100	209,6	2,300
21	12	80	100	141,7	1,900
22	12	800	100	208,3	2,400
23	13	80	100	140,1	2,000
24	13	800	100	207,1	2,500
25	14	80	100	138,6	2,100
26	14	800	100	205,9	2,700