5. Задания по работе

1. Изучите эллипсометрические методы измерения толщины и показателя преломления диэлектрических слоев.

2. Изучите конструкцию и основные принципы работы лазерного эллипсометрического микроскопа ЛЭМ-2М.

3. Изучите методы расчета параметров диэлектрических слоев по результатам измерений.

4. Проведите измерения углов поворота лимбов анализатора и поляризатора А и Р диэлектрических слоев структур «диэлектрик–полупроводник», выданных преподавателем.

5. Произведите расчет толщины и показателя преломления.

6. Исследуйте равномерность и однородность диэлектрических слоев выданных структур «диэлектрик–полупроводник».

7. Проанализируйте полученные данные.

6. Содержание отчета

1. Основные принципы эллипсометрических методов измерения параметров диэлектрических слоев и области их применения.

2. Основные принципы работы лазерного эллипсометрического микроскопа.

3. Результаты измерений в виде таблиц.

4. Расчеты параметров диэлектрических слоев.

5. Анализ полученных результатов.

7. Литература

1. Микроскоп лазерный телевизионный ЛЭМ-2М (СЖМО 384 000). Техническое описание.

2. Оптические методы контроля интегральных микросхем / Под редакцией Л. Г. Дубовицкого. — М. : Радио и связь, 1982.

3. Павлов П. В., Хохлов А. Ф. Физика твердого тела. — М. : Высшая школа, 2000.

Содержание

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №1. ИЗУЧЕНИЕ КОНСТРУКЦИИ И ОСНОВНЫХ ПРИНЦИПОВ РАБОТЫ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОСКОПА 3

1. ЦЕЛЬ РАБОТЫ 3

2. МИКРОСКОПЫ 3

2.1. Общие сведения 3

2.2. Стереоскопический микроскоп. Устройство и принцип работы микроскопа МБС-1 5

3. ПОРЯДОК РАБОТЫ 8

3.1. Подготовка к работе 8

3.2. Работа с окулярным микрометром 9

4. ЗАДАНИЕ ПО РАБОТЕ 10

5. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА 11

6. ЛИТЕРАТУРА 11

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №2. ИЗУЧЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ФОТОДИОДОВ 12

1. ЦЕЛЬ РАБОТЫ 12

2. ФОТОДИОДНЫЕ СТРУКТУРЫ 12

2.1. Германиевые и кремниевые фотодиоды 12

3. ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ И СХЕМЫ СПЕКТРОФОТОМЕТРА 15

3.1. Принцип действия 15

3.2. Оптическая схема 16

4. ОПИСАНИЕ УСТАНОВКИ 18

5. ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ 19

6. ЗАДАНИЕ ПО РАБОТЕ 20

7. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА 21

8. ЛИТЕРАТУРА 21

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №3. ИЗУЧЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ФОТОТРАНЗИСТОРА 23

1. ЦЕЛЬ РАБОТЫ 23

2. ФОТОТРАНЗИСТОРЫ 23

3. ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ И СХЕМЫ СПЕКТРОФОТОМЕТРА 27

3.1. Принцип действия 27

3.2. Оптическая схема 27

4. ОПИСАНИЕ УСТАНОВКИ 29

5. ПОРЯДОК ВЫПОЛНЕНИЯ РАБОТЫ 30

6. ЗАДАНИЕ ПО РАБОТЕ 31

7. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА 33

8. ЛИТЕРАТУРА 33

ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА №4. ИЗУЧЕНИЕ КОНСТРУКЦИИ И ОСНОВНЫХ ПРИНЦИПОВ РАБОТЫ ЛАЗЕРНОГО ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО МИКРОСКОПА 34

1. ЦЕЛЬ РАБОТЫ 34

2. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 34

2.1. Эллипсометрические методы контроля параметров структур «диэлектрик–полупроводник» 34

2.2. Лазерная эллипсометрическая микроскопия 37

3. ОПИСАНИЕ ЛАЗЕРНОГО ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО МИКРОСКОПА ЛЭМ-2М 37

3.1. Назначение 37

3.2. Принцип действия 38

3.3. Устройство и работа микроскопа 41

3.4. Указание мер безопасности 44

4. ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ 45

4.1. Порядок работы 45

4.2. Методика измерения параметров 45

4.3. Порядок подсчета результатов измерения 48

5. ЗАДАНИЯ ПО РАБОТЕ 55

6. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА 55

7. ЛИТЕРАТУРА 56