Построение откачной характеристики
Для построения откачной характеристики необходимо учесть заданную быстроту откачки. Зависимость быстроты откачки от диапазона рабочих давлений дисков имеет вид:
рис.2. Откачная характеристика ТВН.
Выбор форвакуумного насоса
Форвакуумный насос должен обеспечивать молекулярный режим течения газа за последним РК на стороне нагнетания ТВН. При этом во всём диапазоне изменения давления всасывания ТВН быстрота действия форвакуумного насоса не должна быть меньше быстроты действия ТВН, приведённой к условиям нагнетания.
Результаты теоретических и экспериментальных исследований характеристик ТВН показывают, что при повышении давления всасывания примерно до p=1,0…0,1 Па в РК насоса возникает молекулярно-вязкостный или вязкостный режим течения газа, вследствие чего резко уменьшаются быстрота действия насоса и отношение давлений.
В
настоящее время в качестве форвакуумных
обычно используют плунжерные насосы,
создающие при быстроте действия S=0
давление 1,0…0,1 Па. Результаты
экспериментального исследования
влияния форвакуумного давления на
предельное остаточное давление,
создаваемое ТВН, показали, что предельное
давление всасывания, до которого
быстрота действия не зависит от p,
составляет 0,1…1,0 Па. Учитывая, что для
ТВН при работе на этих режимах
,
следует принимать промежуточное
давление, т.е. давление нагнетания ТВН
и давление всасывания форвакуумного
насоса, не более 65…130 Па. При этом
значении промежуточного давления
быстрота действия форвакуумного насоса
и быстрота действия ТВН, увеличенная
на поток газовыделения в нагнетательной
полости, должны быть равны.
Применение в качестве форвакуумных насосов, создающих давление ниже 0,1 Па, целесообразно, когда отношение давлений для ТВН меньше отношения давления всасывания предполагаемого форвакуумного насоса к предельному остаточному давлению, т.е. когда отношение давлений ТВН определяется числом ступеней, а не потоком газовыделений с внутренней поверхности корпуса насоса и деталей ротора.
Список литературы
Вакуумная техника: Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, 1992
Механические вакуумные насосы: Е.С. Фролов, И.В. Автонмова, 1989
Курс лекций: К.В. Солдатова, 2010.