- •Введение. Поверхность.
- •Введение.
- •Поверхность.
- •Раздел 1. Взаимодействие электронов с поверхностью твердых тел.
- •1.1. Генерация электронных потоков.
- •1.2 Процессы при взаимодействии электронов с поверхностью твердого тела.
- •1.2.8.3. Истинно вторичные электроны.
- •1.3. Применение процессов взаимодействия электронов с поверхностью твердых тел.
- •Раздел 2. Взаимодействие атомов, молекул и радикалов с поверхностью твердых тел.
- •2.1. Источники потоков атомов, молекул и радикалов (нч).
- •2.2. Процессы при взаимодействии атомов, молекул и радикалов с поверхностью.
- •2.3. Применение процессов взаимодействия нч с поверхностью
- •Раздел 3.Взаимодействие ионов с поверхностью твердого тела
- •3.1. Источники ионных потоков.
- •3.2. Процессы при взаимодействии ионов с поверхность твердого тела.
- •3.3. Применение процессов взаимодействия ионов с поверхностью твердых тел.
- •Раздел 4. Взаимодейсвие плазмы с поверхностью.
- •4.1. Общие представления и терминология физики плазмы.
- •4.2. Элементарные процессы в низкотемпературной плазме.
- •4.3. Модели состояния плазмы.
- •4.4. Генераторы плазмы.
- •Тлеющий разряд постоянного тока.
- •4.4.3. Диагностика плазмы
- •Раздел 5.Методы формирования пленочных покрытий.
- •5.1.Термическое нанесение
- •5.2. Химическое осаждение из парогазовой фазы
- •5.3. Плазмохимическое осаждение
- •5.4. Ионно-плазменное(магнетронное) нанесение покрытий
- •5.5.Ионно-лучевое осаждение
- •5.7. Механизм формирования пленки
- •Раздел 6. Методы травления пленок и поверхностей.
- •6.1. Химическое жидкостное травление.
- •6.2. Ионно-плазменные процессы травления
4.3. Модели состояния плазмы.
Полное термодинамическое равновесие плазмы (ПТР) или равновесная плазма.
Плазма, ограниченная идеальной стенкой со всех сторон, находится в состоянии ПТР. Идеальная стенка – это такая стенка, что всё, что попадает на неё, возвращается в плазму (в том числе и фотоны). Пока идеальная стенка не создана. Пример ПТР плазмы – внутренняя часть звёзд и чёрные дыры.
В реальных условиях плазма не находится в состоянии ПТР. Однако, описывающие ПТР плазму математические соотношения используются для других моделей (реальных).
ПТР – состояния плазмы описываются Больцмановской статистикой:
а) Распределение каждого сорта частиц по скоростям (Максвеловское).
б) Распределение атомов, ионов и молекул по энергетическим состояниям описываются формулой Больцмана.
, где g – статистический вес уровня.
в) Закон действующих масс (уравнение Саха) для диссоциации.
, где – частота колебательного движения молекулы, – момент инерции молекулы.
г) Уравнение Саха для однократной ионизации ( ).
, где – статистическая сумма (сумма по уровням), причём сумма, ограничиваемая уровнем , - снижение энергии ионизации, обусловленное действием микрополей. .
д) Условие квазинейтральности.
е) Закон парциальных давлений.
ж) Излучение плазмы описывается излучением абсолютно чёрного тела (АЧТ).
,
где – коэффициент испускания, K=1 –коэффициент поглощения, – спектральная плотность излучения АЧТ.
Уравнения (1) – (7) записаны для плазмы простого химического состава. В случае, когда плазмообразующим веществом служит химическое соединение, к этим уравнениям добавляются законы действующих масс для химических реакций.
Уравнения (1) – (7) позволяют получить полную информацию о равновесном состоянии плазмы, зная лишь два его параметра (T и p).
Отклонение от ПТР.
В большинстве случаев плазма является оптически тонкой ( ), то есть излучение, генерируемое в любой точке плазмы выходит за её пределы без поглощения. Это приводит к нарушению детального равновесия (нет компенсации прямого и обратного процесса). Это может привести к отклонению от Больцмановского распределения по уровням и от ионизации (диссоциации) по Саху.
Модель локального термодинамического равновесия (ЛТР).
Описывает состояние плазмы с неравновесным излучением, но с Больцмановскими функциями распределения и одной температурой этих распределений. Такое состояние плазмы реализуется тогда, когда частоты столкновительных процессов намного больше частот процессов с участием фотонов.
Критерий существования ЛТР:
а) Поскольку максимальными частотами обладают столкновительные процессы с участием электронов, то для ЛТР , где - наибольшая энергетическая щель, обычно совпадает с . Обычно ; , где - электронная плотность, - суммарное давление.
Модель частичного, локального термодинамического равновесия (ЧЛТР).
Если (9) не выполняется, то нарушается распределение Больцмана по возбуждённым состояниям, так как в этом случае всегда перезаселён основной уровень. Однако в широком диапазоне существует детальное равновесие столкновительных процессов, в которых участвуют атомы (молекулы, ионы) в возбуждённых состояниях.
Установлено, что при , все уровни заселены по Больцману. Причём в качестве температуры заселения уровней служит .
При , по Больцману заселены все уровни кроме двух нижних. Такую последовательность можно продолжить для более низких .
Таким образом, состояние ЧЛТР – это состояние, когда отсутствует равновесность излучения, и один или более нижних уровней атомов (молекул, ионов) не подчиняются распределению Больцмана.
Двухтемпературная модель.
Такое состояние наиболее часто встречается для плазмы электрических разрядов, когда энергия внешнего источника (E- и H-поля) передаётся электронам, а тяжёлые частицы нагреваются путём столкновений с ними. Однако температура электронов остаётся всегда выше.
В этой модели вводится 2 температуры: и .
Распределение по скоростям Максвеловское с и для электронов и тяжёлых частиц; распределение по уровням Больцмановское с температурой ; в закон действующих масс входит температура .
В такой модели , где , - длина свободного пробега электрона.