Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Снятие оже-спектра(4).doc
Скачиваний:
1
Добавлен:
12.11.2019
Размер:
4.6 Mб
Скачать

Коммутация устройств:

Разъем БС блока развертки (рисунок 2, поз.5) подключается к разъему РАЗВЕРТКА видеоконтрольного устройства (рисунок 6, поз.12), так же высоковольтный соединитель ВЫХОД блока развертки (рисунок 3, поз.9) подключается ко входу РАЗВЕРТКА блока регистрации. К разъему ВХОД видеоконтрольного устройства (рисунок 6, поз. 9) подключается выход УПС с блока регистрации. Включение блоков в общую установку изображено на рисунке 7.

Рисунок 7 – Включение блоков в общую схему ОЖЕ-спектрометра

Порядок работы при снятии оже спектра:

  1. Режимы снятия оже-спектра.

    1. При работе с электронной пушкой, встроенной в анализатор, подключение пушки осуществляется согласно схеме электрических соединений ДеМ1.456.003 Э4.

    2. При работе с электронной пушкой ДеМ3.548.008 подключите кабель ДеМ4.853.070 следующим образом:

  1. ХС7, ХС5, ХС6 к разъемам ОБЩИЙ, А2, А3 блока питания пушки ОЖЕ соответственно;

  2. ХС2, ХС3, ХС4, ХС9 к разъемам НАКАЛ, НАКАЛ, МОДУЛЯТОР, БЛОКИРОВКА стабилизатора тока накала пушки ОЖЕ соответственно;

  3. ХС8 к разъему УПРАВЛЕНИЕ X, Y блока санирования.

    1. Установите с помощью манипулятора МВН-100 объект таким образом, чтобы его поверхность была обращена к анализатору.

    2. Включите приборные стойки.

    3. Включите стабилизатор тока накала пушки ОЖЕ.

    4. Установите по прибору ТОК ЭМИССИИ блока ток эмиссии электронной пушки 2-8мА, плавно вращая ручку регулировки ТОК НАКАЛА блока.

    5. Нажмите кнопки СЕТЬ ВКЛ и не менее чем через 50 с ВЫСОКОЕ ВКЛ блока питания пушки ОЖЕ.

    6. Нажмите кнопку КАЛИБРОВКА блока.

    7. Нажмите правую кнопку СЕТЬ ВКЛ ТВ-монитора. Должна загореться правая лампочка СЕТЬ блока.

    8. Установите ручку регулировки МАСШТАБ блока в крайнее правое положение.

    9. Установите правой ручкой регулировки ЯРКОСТЬ ТВ-монитора необходимую яркость электронно-лучевой трубки блока.

    10. Установите по качеству изображения объекта на экране трубки ТВ-монитора необходимый режим электронной пушки, изменяя напряжение на электродах пушки с помощью ручек регулировки А2, А3 блока питания пушки ОЖЕ и МОДУЛЯТОР стабилизатора тока накал пушки ОЖЕ.

    11. Установите электронный пучок в выбранной точке на поверхности объекта, увеличивая ручкой МАСШТАБ блока сканирования масштаб изображения объекта до максимума и нажав кнопку РАСР ВЫКЛ блока. При выборе рабочей точки необходимо помнить, что точка должна находиться на оси анализатора.

    12. Нажмите кнопки СЕТЬ ВКЛ и не ранее, чем через 50 с ВЫСОКОЕ ВКЛ блока питания анализатора.

    13. Включите блок развертки.

    14. Установите тумблер ОКНО на задней панели блока в положение ВКЛ.

    15. Установите переключатель РЕЖИМ на задней панели блока развертки в положение \/\/.

    16. Произведите программировании одного окна блока так, чтобы начало окна соответствовало показанию цифрового индикатора 970±1, а конец – 1030±1. для этого необходимо выполнить следующее:

а) поставить переключатель >, < в положение >;

б) нажать кнопку УСТАНОВКА; в) переключателем УРОВЕНЬ набрать начальное показание цифрового индикатора меньше начального значения окна; г) установить переключателем РАЗВЕРТКА скорость развертки 0,5 В/с или 1 В/с;

д) нажать кнопку УСТТАНОВКА ОКОН;

е) нажать кнопку ПУСК; ж) при совпадении текущего значения развертки с началом окна нажать кнопку ОКНО;

з) отпустить кнопку ОКНО при достижении значения развертки соответствующего концу окна;

и) нажать кнопку СТОП; к) выключить кнопку УСТАНОВКА ОКОН.

    1. Нажмите кнопку СБРОС блока.

    2. Нажмите кнопку УСТАНОВКА блока.

    3. Нажмите кнопку РАБОТА блока. Должна загореться лампочка РАБОТА блока.

    4. Установите переключателем УРОВЕНЬ блока начальный уровень показания цифрового индикатора, равный или немного меньший уровня, соответствующего началу окна.

    5. Установите режим формирования пилообразного напряжения блока, нажав кнопки СКАНИРОВАНИЕ > и < блока.

    6. Включите блок регистрации.

    7. Нажмите кнопку ПОСТОЯННАЯ ВРЕМЕНИ 300 МС блока.

    8. Поверните ручку регулировки U МОДУЛЯЦИИ блока из крайнего левого положения вправо на 100-200.

    9. Нажмите любую кнопку РЕГУЛИРОВКА ФАЗЫ блока.

    10. Нажмите кнопку ПУСК блока развертки.

    11. Добейтесь регистрации сигнала упруго отраженных электронов (контролируемый по индикатору ВЫХОД УПТ блока регистрации) изменяя напряжение на электродах ВЭУ ручками регулировки 5 КВ ГРУБО и ПЛАВНО, 0…250 В блока питания анализатора.

    12. При появлении сигнала упруго отраженных электронов нажмите кнопку СТОП блока развертки.

    13. Установите максимальное значение выходного напряжения блока регистрации по индикатору ВЫХОД УПТ подстройкой резонансной частоты выходного контура блока (вращая ротор подстроечного конденсатора предварительного усилителя), регулировкой фазы опорного сигнала (изменяя положение переключателя и ручки регулировки РЕГУЛИРОВКА ФАЗЫ блока).

Примечание.

  1. При выходном напряжении блока регистрации более ±5 В, когда стрелка индикатора ВЫХОД УПТ отклоняется за пределы шкалы, необходимо уменьшить амплитуду модулирующего напряжения ручкой регулировки U МОДУЛЯЦИИ блока.

  2. При выборе фазы опорного сигнала блока регистрации необходим помнить, что положительный выброс регистрируемого сигнала соответствует отклонению стрелки индикатора вправо, а отрицательный выброс – отклонение влево.

  3. Подстройку резонансной частоты входного контура производить не реже, чем через 200 ч работы прибора.

    1. Нажмите кнопку сброс блока развертки.

    2. Включите устройство видеоконтрольное.

    3. Установите переключатель РЕЖИМ на задней панели блока развертки в положение \/\/.

    4. Установите переключателем РАЗВЕРТКА блока скорость развертки 100 В/с.

    5. Произведите запись сигнала упруго отраженных электронов на экране ЭЛТ устройства видеоконтрольного, нажав кнопку ПУСК блока развертки.

    6. При многократной записи получите форму выходного сигнала, когда отрицательный и положительный выбросы сигнала максимальны и приблизительно равны по амплитуде, путем плавной регулировки напряжения на отклоняющих пластинах электронной пушки помощью ручек ↕ и ↔ блока санирования, а также путем плавного перемещения объекта с помощью манипулятора МВН-100. При этом необходимо выполнять требования п. 31. Примечание 1.

    7. Нажмите кнопку СБРОС блока развертки.

    8. Установите ручку регулировки U МОДУЛЯЦИИ блока регистрации в крайнее левое положение.

    9. Определите точку попадания электронного пучка пушки визуально по изображению объекта на экране ЭЛТ ТВ-монитора, изменяя масштаб изображения ручкой регулировки МАСШТАБ блока сканирования.

    10. Включите графопостроитель зависимостей Н306.

    11. Нажмите кнопку РЕГУЛИРОВКА блока питания пушки ОЖЕ.

    12. Установите необходимое ускоряющее напряжения электронов Ер блока ручками регулировки Ер блока.

    13. Установите необходимый рабочий режим электронной пушки согласно методике п.12.

    14. Установите согласно методике п.13 электронный пучок в точке, определенной по п.39.

    15. Установите необходимый режим работы блока развертки.

Примечание.

  1. Программирование энергетического окна блока производится согласно методике п.18.

  2. Параметры линейно-изменяющегося напряжения блока устанавливается в соответствии с гравировкой на лицевой панели блока.

  3. Пр ивыборе режима работы блока необходимо учитывать инерционность графопостроителя зависимостей Н306.

    1. Установите переключателем ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ блока регистрации необходимую чувствительность тракта регистрации.

    2. Установите переключателем ПОСТОЯННАЯ ВРЕМЕНИЯ и ФИЛЬТР IC блока регистрации необходимую постоянную времени интегрирования.

    3. Установите переключателем и ручкой регулировки U МОДУЛЯЦИИ блока регистрации необходимую амплитуду модулирующего напряжения.

    4. Нажмите кнопку ПУСК блока развертки и произведите запись ОЖЕ-спектра.

    5. Для выключения режима необходимо произвести последовательно следующие операции:

  1. выключить графопостроитель зависимостей Н306;

  2. выключить устройство видеоконтрольное;

  3. установить органы управления блока регистрации, блока питания анализатора, ТВ-монитора, блока питания пушки ОЖЕ в исходное состояние;

  4. выключить блок регистрации, блок развертки, блок сканирования, ТВ-монитора, блока питания пушки ОЖЕ, блок питания анализатора;

  5. плавно уменьшить ток накала пушки до нуля; выключить стабилизатор тока накала пушки ОЖЕ;

  6. выключить приборные стойки.