«Технология
производства интегральных микросхем»,
Малышев И.А., Москва: Радио и связь,
1991 год.
«Технология
производства полупроводниковых приборов
и интегральных микросхем», Курносов
А.И., Москва, 1979 год.
«Конструкторско-технологическое
проектирование электронной аппаратуры»,
К.И. Билибин, А.И. Власов, В.В. Журавлев
под редакцией В.Н. Шахнова, М., МГТУ им.
Баумана, 2002 год.
«Технология
производства микроэлектронных изделий»,
Чернозубов Ю.С., Москва, 2010 год.
«Микроэлектроника»,
Ефимов И. Е., Козырь И. Я., Москва, 1987 год.
«Материалы
электронной техники», Пасынков В. В.,
Сорокин В. С., Москва, 1986 год.
«Технология
и конструирование интегральных
микросхем», Березин А. С., 1983 год.
«Технология
и конструкции микросхем, микропроцессоров
и микросборок», Коледов Л.А., Москва,
2007 год.
http://ru.wikipedia.org/wiki/Фотолитография
- Фотолитография.
http://www.t-book.net/gistechmenu/347-techtonkgis.html
- Технологические маршруты производства
тонкопленочных ГИС.
