Исследование свойств МДП-структур
..pdfс с |
сс с |
|
В |
В |
|
В |
( |
) |
|
В ( ) |
|
-
с |
|
с |
|
с |
« |
э |
» |
с |
|
|
|
200100.62 – « |
|
э |
», |
:
сс
ИИИИИИИИ В. .
«15 » |
2013 |
– 2013
1. ВВ |
|
|
|
|
|
|
|
2. |
|
|
|
|
|
|
|
|
2.1. |
с |
|
м |
|
|
|
|
2.2. |
|
с |
с с |
с |
э |
с м |
|
2.3. В |
- |
|
с |
|
-с |
. |
3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
3.1. |
|
м |
м с |
-с |
|
|
|
3.2. |
с |
э с |
м |
с |
|
|
|
3.3. |
|
с |
с |
|
|
м |
|
3.4. |
|
|
|
|
|
|
4. |
В |
|
|
В |
|
|
|
5. |
|
|
|
|
|
|
|
2
|
|
|
|
|
|
1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
В |
м |
|
э |
м |
м |
|
э |
. В |
60- |
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
. |
|
с |
м |
|
|
|
м |
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
э |
|
|
|
сс |
, |
|
|
|
|
|
|
с |
м |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
э |
с |
|
|
. |
м |
с с |
м |
|
м |
|
|
с |
|
|
: |
- |
, |
|
с |
м |
|
с |
|
э |
|
с |
с |
м |
|
|
с |
с |
|
с |
|
|
( |
сс |
|
) |
с |
|
|
|
|
|
с |
, |
|
|
|
|
с |
|
с |
|
|
с |
|
с |
; |
|
- |
, |
|
э |
|
|
|
|
с |
э |
|
с |
|
, |
|
с |
|
|
|
м с |
с |
|
э |
|
|
|
|
|
|
с |
с . |
||
В |
э |
с |
|
|
|
|
|
сс |
|
|
|
|
|
|
э |
|
с |
|
с |
|
м э |
|
с |
с |
|
|
|
с |
|
с |
|
|
|
|
, с |
с |
м |
|
|
|
|
« |
э |
- |
|
|
|
». |
э |
м |
|
м |
|
с |
с |
с |
|
м |
- |
э |
|
- |
|
|
|
( |
) |
с |
|
с |
|
м |
|
|
м |
|
|
|
|
с |
|
с |
- |
|
|
|
|
||
с |
м |
|
|
|
|
э |
|
, |
|
с |
м |
|
м |
|
сс |
|
|
|
м |
|
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. |
|
|
Ч |
|
Ч |
|
|
|
|
|
|
2.1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
с |
|
с |
с |
|
|
|
|
|
|
с |
|
м м |
|
м |
|
с |
|
|
с |
с |
||
с |
, |
|
э |
|
с |
с |
с |
|
|
с |
с |
|||
|
|
|
? |
|
|
м, |
э |
|
с |
с |
|
|
с |
с |
с |
с |
м , |
|
м |
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
м |
|
|
|
- |
|
|
|
|
|
, |
|
м |
|
с |
с |
|
|
«м |
- |
э |
|
- |
|
|
» ( |
), «м |
|
- |
|
|
» . . |
|||
|
|
|
м |
|
|
м |
м |
|
|
ссм |
|
м |
с |
|
м |
|
|
, |
с |
|
м |
|
ссм |
|
|
-с |
. |
||
|
|
|
|
|
|
я |
я. В |
|
|
|
|
с |
с |
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
с |
э |
|
с |
м с |
|
|
э |
|
, |
|
с |
|
|
|
с . |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
, э |
|
с |
с с |
|
э |
|
|
|
с |
|
|
с |
|
|
с с |
|
|
м |
|
|
|
. |
|
с |
с |
м |
|
. |
|
|
|
|
|
с |
м, |
|
|
|
с |
|
с |
|
с |
|
|
|
с |
|
|
|
|
, . . |
|
||
|
|
|
|
с |
м м с |
|
м с . |
|
м с |
м . |
3
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
с |
с |
|
|
|
|
|
э |
|
, |
м |
|
|
|
с |
|
м |
с |
с |
с |
|
||
м |
|
|
м |
с с |
|
|
. |
э |
м |
с |
|
э |
|
|
|
|
|
с |
|
|
с |
м |
|
м м |
|
|
|
|
|
|
|
|
м с |
|
|
|
. |
В |
|
|
|
э |
|
|
|
с |
|
м |
|
с |
м |
|
|
|
|
э |
|
|
|
э |
|
|
|
|
|
э |
, |
|
|
|
|
|
|
м с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
( |
) |
|
мм |
|
м |
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
с |
|
с |
|
|
. |
|
|
|
|
|
с |
|
с с |
|
мм |
|
|
|
|
|
|
с |
1015 м 2 . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
э |
м с с |
|
м |
|
|
с |
|
с |
с |
|
м |
|
|
|
|
с с с |
м , с |
|
м с с |
|
м с |
с м |
|
с . |
|||||
В |
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
с |
|
|
м |
|
м |
|
|
с мм |
|
|
|
|
с |
с |
|
с |
|
|
м |
|
|
с м |
|
|
|
|
|
|
( |
|
э |
м |
|
|
с |
|
|
с мм |
|
|
|
|
|
с |
м |
с |
|
с |
|
|
с |
|
), |
|
с |
|
м |
|
|
|
|
с |
|
с с |
|
|
м |
|
|
|
. . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
|
|
с с |
|
м |
мм |
|
|
м |
с |
м |
с |
|||
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
с |
|
|
|
с |
|
с |
|
|
м |
|
|
с |
с |
с |
|
|
|
|
: |
с |
|
|
|
|
с |
, |
|
с |
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
м |
м |
с |
м |
с |
м , |
с |
|
|
м |
|
|
|
|
|
||
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
с |
|
э |
. |
|
|
|
э |
, |
, |
с |
|
с с |
|
– э |
|
с |
с |
с |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
с |
|
|
|
|
м |
с |
|
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
, |
|
|
м |
м |
с с |
м |
|
м |
|
|
||
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
с |
|
м . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
я . |
|
|
|
|
|
|
с |
|
с |
|
с с |
|
|
|
с |
|
сс |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
, |
|
|
м |
с м м |
|
|
с |
|
|
|
|
|
, |
|
м , 1 см2 . |
|
с |
||
|
|
с |
с с |
|
|
|
|
|
|
с м |
м NSS . |
|
|
||
|
|
|
с |
|
с с |
|
с |
|
|
с |
|
м |
|
- |
|
с |
, |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
- с |
|
|
|
э |
м |
|
см |
|
|
|
м |
|
|
|
с |
|
э |
|
м |
|
м |
|
с |
|
|
с с |
|
: |
|
|
с с |
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
– |
|
, |
|
|
|
с с |
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
м |
– |
|
. |
|
э |
м |
|
|
с |
|
м |
|
|
м |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
4
|
с |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
м |
э |
с |
|
м |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
э |
|
|
|
– |
эВ. э |
м |
|
м |
|
|
э |
с |
м |
|
с |
|
|
э |
|
. |
|
|
м |
|
м, |
с |
|
|
с |
с с |
|
|
( |
) |
|
|
|
|
с |
м |
э |
|
с с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
с cм 2 эВ 1. |
|
|
м |
|
э |
|
|
|
||
м |
м |
|
|
м |
с |
|
|
с |
|
|
с - |
||
с |
с |
|
: N |
2.2 1012cм 2эВ 1. |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
SS |
|
|
|
. |
с |
|
|
|
м |
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
, |
|
с |
|
с |
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
, . |
. с |
|
|
. |
|
|
|
|
|
- |
с |
|
|
с м с |
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
м |
с |
|
|
|
м |
с . |
с |
|
|
, |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
, |
м м |
э |
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
. |
|
, |
с |
см |
с |
|
|
|
|
|
|
|
м с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
с |
NSS (E) |
м |
|
|
|
|
с |
э с |
|
- |
|||
|
|
, |
с |
с |
с |
с |
|
с |
- |
|
|
м . |
|
Ф |
|
|
|
я |
|
|
. |
|
|
|
|
с , |
|
с |
|
|
|
м |
|
м |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
|
с |
с |
|
|
|
|
|
э |
|
с |
|
, |
|
|
, |
|
|
|
с |
с |
|
э |
|
. |
, |
м |
с |
|
м |
|
м |
|
|
с |
|
м |
с |
|
м |
SiO2 . |
|
м |
|
|
|
|
|
м |
|
с |
|
|
с |
|
м с |
|
|
( |
|
|
, |
, |
|
|
с |
|
|
. ) |
|
э |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м . |
|
с |
|
|
|
|
|
, |
|
с |
|
|
|
м |
|
с |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м. |
э |
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
э |
с |
|
м |
|
|
с |
|
( . . |
|
|
м |
|
|
м |
) |
|
э |
, с |
с |
с |
|
с |
|
|
м |
|
|
|
с |
|
с |
- |
|
с |
|
. |
|
|
|
|
|
Е |
|
|
|
|
. |
|
м |
с |
м |
|
|
с |
|
|
|
|
, |
|
с |
с |
|
|
|
э |
|
с |
|
|
Q |
|
|
м |
|
|
V: C |
Q V . |
|
- |
|
||
|
« |
|
|
– |
э |
|
» |
|
|
|
|
|
|
э |
|
|
, |
с |
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
м |
э |
с |
|
, |
|
|
|
|
|
|
|
с |
м |
ссм |
|
|
|
|
м |
с |
|
с |
с |
5
|
|
. В |
|
м |
с |
|
|
|
|
|
с м с |
, |
. . |
|
|
с |
|
|
с |
|
|
|
|
с |
|
|
|
, |
|
с |
|
|
|
|
с |
- |
м |
|
с |
|
|
м |
с |
|
|
с |
|
. |
|
|
|
|
2.2. |
ч |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ч |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
э |
|
, |
с |
|
|
|
|
с с |
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
||||
с |
с , |
|
с |
с |
м |
с |
|
с |
|
э |
м |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
с |
. |
с |
э |
|
с |
с |
с |
|
|
с |
|
с |
|
|
|
сс |
|
с |
м |
|
с |
|
м |
– |
|
|
|
|
|
|
э |
|
– |
|
|
( |
). |
|
|
|
|
|
|
|
|
м с |
|
э |
с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
э |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
с |
|
, |
м |
с |
|
|
|
|
|
|
|
э |
|
|
|
м |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
. |
м |
с |
|
|
|
|
|
|
1. |
с |
-с |
|
|
|
с. |
|
|
|
|
|
|
d - |
м |
с |
э |
, |
||
|
|
с.1 |
|
|
|
V - |
|
. |
|
- |
||
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
мм |
|
||
- с |
|
с |
с |
|
|
|
|
|
|
с. 2. |
||
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
||||
|
с |
с |
|
|
э |
|
с |
|
|
мм |
м |
, |
|
|
|
|
|
э |
|
|
-с |
|
. |
с |
|
э |
|
с |
мм |
э |
, |
с |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
|
с |
э |
|
. |
|
|
с |
с. |
2 |
|
э |
|
- |
|
|
|
|
|
|
с |
|
мм |
|
|
|
. |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
с |
|
|
- |
|
|
|
|
|
|
:EC , EV - э
мс
EF - э |
|
м , |
|
; |
|
|
|
||
с |
с |
с |
м |
|
|
|
|
|
|
с |
-с |
. |
|
|
|
с |
ссм |
с |
|
с |
p - |
; Ei - э |
|
с.2 |
|
|
- |
6
|
|
. |
|
э |
|
( |
э |
) |
м с |
|
|
с |
« |
m , с |
с |
м ». |
|
|
|
|
|
||
. |
В |
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
b |
|
|
с |
м с |
( |
|
|
|
|
|
||
|
|
с |
м |
э |
|
|
|
, |
|
с |
с |
|
|
с |
м |
с |
|
э |
|
с |
. |
|
|
( |
|
м |
10 6 м) |
, с |
|
|
|
мм |
|
|
с |
э |
|
с |
|
|
с |
э |
|
с |
с |
|
с |
|
|
|
|
, эм |
|
с |
э |
, м |
|
|
|
|
|
|
|||
э |
|
м |
э |
|
м |
|
|
|
|
- |
|||
|
|
|
|
|
b , |
|
|
Ei |
EF |
. |
|
|
|
q |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с.2 |
|
). |
|
|
|
|
|
|
с |
э |
с |
|
м |
с |
|
э |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
с |
м с |
|
|
, |
с |
э |
с |
|
|
с |
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
. |
с |
|
|
|
|
|
м – |
с |
с м с- |
|
|
|
|
|
с.3
|
|
|
|
|
|
. |
, |
с |
с |
|
-с |
|
с с |
|
|
|
|
|
, |
») э |
|
|
|
|
|
м |
с |
м |
( |
|
« |
|
|
|
|
|
||
|
|
V |
0 |
|
|
|
« |
|
|
- |
э |
» |
щ |
с |
|
с |
. |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
, . . |
|
с |
с |
|
|
|
|
|
|
||
с |
м |
с |
м |
(см. |
с.3, |
). |
с |
|
|
м |
э |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
V |
0 , |
|
|
с |
|
|
. |
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
, . . |
|
с |
|
|
с |
м |
с |
м |
( |
с.3, |
). В э |
м |
м |
э |
|
|
|
э |
|
с |
|
|
|
с |
с |
с |
|
|
м |
м |
|
|
м с . |
с |
|
с |
э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7
|
|
LD , |
|
( |
|
|
|
|
|
) |
с |
|
|
м с : |
|
, |
|
с |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
LD |
|
s 0kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
q |
2Na |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
м |
|
с |
с |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
сс: |
|
|
|
|
|
э |
. |
|
|
, |
|
э |
м |
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
-с |
|
|
с |
с |
с |
|
|
|
|
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
с |
|
|
с |
||
, |
|
м |
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
с |
с |
|
. |
э м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
( |
с.3, |
|
|
). |
В |
э |
|
м |
|
м |
с |
с |
||||||||
|
|
с |
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
м с , |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 s 0kT |
|
|
|
Na |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
W |
|
|
ln |
. |
|
|
|
(1) |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
q 2N |
a |
|
|
|
|
ni |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
м |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
м |
с |
- |
с |
м м |
- Cmin . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
с |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
м |
|
с с |
|
( |
с. 2). В э м |
|
|
|
м |
|
|
м |
|||||||||||||
|
V 0 |
|
м |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
м |
м |
||
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
s |
м : |
|||
м |
s , |
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
э |
|
|
|
|
|
с |
|
. |
с |
м |
э |
м с |
|
|
|
|
|
м |
с |
|
с |
|
|
|
с |
|||||||
с |
|
э |
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
C0 |
|
|
s |
0 |
. |
|
|
|
|
|
|
|
(2) |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
LD |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
м |
с с |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
с |
|
|
|
э:
|
|
|
Q ик |
|
С V , |
|
|
(3) |
|
C - |
м с |
э |
, |
|
V V 0 |
- с |
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
|
, |
|
м |
с |
|
|
|
|
с с |
с |
с |
, |
|
м с |
-с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
C C 0 |
|
|
|
(4) |
|
|
|
|
C |
C 0 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
8
|
|
|
|
с |
|
|
мм |
|
|
|
ссм |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
n - |
|
с |
|
|
|
|
с. 3 |
|
м |
|||||
|
|
м |
|
|
м |
|
м . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
2.3. |
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ссм |
|
|
-с |
|
|
м |
|
|
, |
|
|
|
|
|
||
с |
м |
|
с |
. |
|
|
|
|
м |
с |
, с |
|
|
с |
|
, |
||
м |
|
|
с |
э |
, |
|
с |
|
|
|
– |
|
|
с |
|
с |
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
|
|
э |
|
|
– э |
|
э |
|
с |
|
|
с |
, |
|
|
|
э |
|
|
|
с |
м |
|
с |
|
. |
|
|
|
|
с |
с |
с |
с |
м |
|
с |
м |
|
|
|
|
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
-с |
|
|
м с |
|
с |
с . |
|
|
|
|
|
|
с |
|
||
|
|
с |
, |
|
|
|
|
|
м |
м |
|
с |
м |
|
с |
|
м , |
|
|
|
|
м |
э |
|
м, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
м . |
с |
|
|
, |
м |
с |
|
|
|
с |
с |
|
с |
м |
|
|
|
|
м |
с |
|
м |
Q . |
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
- |
с |
|
|
|
с |
|
|
|
|
с |
|
с |
|
|
|
|
|
, |
|
с |
|
с |
|
с |
ссм |
м |
|
|
|
м |
|||
|
|
|
|
|
м м , |
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
|
с |
с |
|
|
|
|
м |
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
с . В |
|
м |
|
м |
|
|
|
м |
|
|
|
с |
|
|
с |
|
|
|
|
|
с |
с |
|
( |
|
м |
|
|
) |
|
|
с |
|
|
|
с |
|
|
|
( |
м |
|
с |
). |
|
|
|
, |
э |
|
м |
|
||
|
|
с |
с с |
|
|
|
|
|
|
|
|
- Qs . В |
|
м |
|
|
, |
|
с |
|
, |
э |
|
с |
с |
с |
|
|
|
|
м |
м |
|
|
|
с |
, |
|
|
|
|
|
|
м с . |
э |
м |
э |
м |
|
м |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
м |
|
|
Qs |
|
|
м |
|
, |
м |
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
с . |
|
м |
|
|
м, |
|
с м с Qs V м |
|
|
|
м м м |
|
с |
|
|
|
V , |
|||||||
с |
|
с |
|
|
|
. |
м с |
с |
|
|
с |
|
|
|
с |
|||
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
с |
|
|
м |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
. |
м |
с |
|
э |
|
с |
с |
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
|
Qs |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
s |
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
Qs |
|
с |
V |
|
|
|
|
м |
м, |
|
Cs |
Cs V - |
|||
м |
с |
|
- |
|
с |
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
, |
|
м |
|
м . |
|
|
|
|
м |
с |
|
- с |
|
|
СΣ |
9
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
с |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
: |
|
|
э |
|
- |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Cs |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
1 |
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
С |
С |
C |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
s . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с м с |
|
|
|
|
|
|
|
С |
С V |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(В |
) |
- |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
. |
|
В |
|
|
|
с м с |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
|
- |
||
|
|
|
|
|
|
с. 4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
м |
с |
( |
|
|
м |
|
|
|
- |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
м |
|
|
|
|
м |
м |
|
с |
|
|
|
|
|
|
) |
|
|
|
|
|||
|
|
ч |
|
|
(В ) |
|
|
|
|
ч |
|
|
|
|
|
( |
|
) В . |
|
|
|
|
с. 4 |
|
|
||||||||||
с |
с |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
В |
|
|
|
|
. |
-с |
|
с |
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
м |
с |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
C |
|
- |
|
|||||||
э |
|
|
с |
|
с |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
с |
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
||
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
В |
|
; |
Сmin |
- |
|
м |
|
м |
|
|||||||
м |
с |
с |
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
с |
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|||
|
с |
|
В |
В |
. В с |
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
||||||
м |
с |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
м |
с |
|
|
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
м |
м |
|
|
СΣ ≈ С . |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
3. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ч |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3.1. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
м |
с |
|||
|
|
с |
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
С , |
||||
с |
|
|
|
м |
|
с |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
|||||
|
|
|
с |
э |
|
|
|
|
Сэ , . . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
с |
|
с |
с |
|
|||||||
|
с |
. |
с |
|
|
э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
м |
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
U |
|
, |
с |
м |
м |
|
с э |
|
|
|
|
|
м |
с |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
(см. |
с.5): |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
U x |
I |
|
1 |
|
|
|
U |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
Сэ |
|
|
|
U |
|
. |
|
|
|||||
|
|
|
j Cэ |
|
|
|
|
|
|
|
|
j Cэ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
1 |
|
|
|
|
С |
Сэ |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
j Cx |
|
j Cэ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
м |
|
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10