Составление перечня факторов обитаемости.
Физические факторы
– воздействие энергии поля высокой частоты ;
– опасность поражения электрическим током ;
– шум при работе форвакуумных насосов;
– воздействие высокой температуры;
Химические факторы
Токсичные вещества: диборан, по токсичности близок к фосгену и влияет в основном на центральную нервную систему. Вдыхание даже небольших количеств диборана вызывает головную боль, головокружение, тошноту и обморок; гидридсодержащие смеси и галогениды кремния (германия), бора, фосфора, мышьяка, сурьмы (например диборан, фосфин, аргон), хлористый водород, водород, являющийся токсичным и пожаро-взрывоопасным веществом; силан - бесцветный газ с сильным запахом. При вдыхании силана или продуктов его горения у человека появляется головная боль, головокружение, жар, обильное потоотделение. В дальнейшем наступает полуобморочное состояние.
Биологические факторы
Производственное помещение не способствует распространению
биологически опасных факторов.
Психофизиологические факторы
- эмоциональные перегрузки;
- монотонность труда.
3. Количественная и качественная оценки факторов обитаемости.
Фактические значения факторов, получаемые при помощи измерений или на основе экспертных оценок
Концентрация токсичных газов не должна превышать ПДК. Содержание кислорода (по объему) в воздухе производственного помещения должно быть не ниже 18%.
4. Сравнение результатов оценки факторов с нормами и допустимыми значениями с целью выявления опасных и вредных факторов.
Перечень опасных и вредных производственных факторов применительно к конкретным условиям
Таким образом, работа на установке эпитаксиального наращивания характеризуется рядом опасных и вредных факторов, обусловленных наличием:
электрического тока высокого напряжения;
шума при работе форвакуумных насосов;
тока высокой частоты;
высокой температуры;
ряда токсичных препаратов: соединения мышьяка, сурьмы,
фосфора, бора.
5. Комплексная оценка жизнедеятельности и возможности возникновения опасных ситуаций.
Категория тяжести труда по рабочим местам и профессиям
6. Выбор принципов и методов (А,Б,В,Г), разработка мероприятий, выбор и расчет средств защиты работающих от опасных и вредных факторов.
Г - метод. Комбинация мероприятий.
Для создания безопасных условий труда при эксплуатации установок эпитаксиального наращивания разрабатывается и осуществляется комплекс технических, санитарно-гигиенических и противопожарных мероприятий. Прежде всего предусматривается оборудование установок местной вытяжной вентиляцией. Высокочастотный генератор и индуктор должны быть заэкранированы в соответствии с требованиями безопасности при работе с источниками ВЧ, УВЧ, СВЧ электромагнитных полей. На случай внезапного выхода из строя вентиляции установка оборудуется системой автоматического отключения генератора и подачи в реактор инертного газа.
Так как в случае подсоса воздуха в реактор или утечки водорода из газовых коммуникаций или реактора возможен взрыв в результате образования взрывоопасной смеси, то система газораспределения совместно с реактором перед началом и периодически в процессе эксплуатации проверяется на герметичность. Также, во избежание образования взрывоопасной смеси, подача водорода в реактор допускается только после продувки последнего инертным газом.
Во избежание перегрева индуктора и реактора и связанного с этим создания аварийной ситуации установка оборудуется сигнализацией о нарушении водоохлаждения индуктора, сблокированной с устройством ВЧ-генератора.
Лица, работающие на участке эпитаксиального наращивания, обеспечиваются средствами индивидуальной защиты противогазами соответствующей марки (В,Е,М), защитными очками, резиновыми перчатками. В помещении устанавливаются соответствующие средства пожаротушения.
Эпитаксиальные кремниевые пленки высокого сопротивления на сапфире получают силановым методом, основанном на термическом разложении силана (SiH4). Силан опасен как газ, взрывающийся при взаимодействии с кислородом воздуха. Хранение, транспортировку и работу с силаном необходимо, осуществлять в надежно герметизированных сосудах, аппаратах и оборудовании.
В случае разгерметизации установки, учитывая взрывоопасность силана все трубопроводы, узлы, емкости промываются четыреххлористым кремнием или четыреххлористым углеродом. Только после этого возможно проведение ремонтных работ с обязательным применением средств индивидуальной защиты (противогазы марки "B" или "M", халат, сапоги, анатомические перчатки, резиновый фартук и нарукавники).