Электронорезисты

Так как для проведения электроно-, рентгенолитографии в качестве резиста используются одни и те же составы полимеров, их обычно в литературе называют электронорезистами.

Чувствительность электронорезистов (Кл/см²) зависит от величины минимального электрического заряда, приходящегося на единицу площади, необходимого для полного проявления резиста. Чувствительность негативных резистов выше, чем позитивных, но проявленный в нем рисунок имеет наклонные боковые стенки, что уменьшает его разрешающую способность. В качестве негативных резистов используют полиглицидилметакрилаткоэтилакрилат (ПГМАКЭА). При облучении в негативном резисте образуются стимулированные радиацией поперечные связи в молекулах полимера, происходит соединение соседних цепочек молекул. В результате возникает сложная трехмерная структура с молекулярным весом, превышающим вес полимера в необлученных местах.

В позитивных электронорезистах, напротив, уменьшается молекулярный вес в экспонированной области из-за разрыва химических связей или расщепления цепочек под действием радиации. Полимер становится растворимым в растворителе, который не действует на высокомолекулярный материал. Позитивными резистами являются полиметилметакрилат (ПММА), полибутен-1 сульфона (ПБС). Растворителем для позитивного резиста служит смесь метилизобутилового кетона (МИБК) и изопропилового спирта в соотношении 1:1. Позитивные электронорезисты имеют разрешающую способность менее 0,1 мкм, тогда как разрешающая способность негативных резистов, ограниченная их разбуханием, не превышает 1 мкм.

140