- •Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ульяновский государственный технический университет
- •Введение
- •Лабораторная работа № 1. Термическое окисление кремния
- •Лабораторная работа № 2. Диффузия
- •Лабораторная работа №3 ионная имплантация
- •Лабораторная работа №4. Катодное распыление
- •Приложение Основные параметры химических элементов
Приложение Основные параметры химических элементов
Название элемента |
Символическое обозначение |
Порядковый номер Z |
Молярная масса, г/моль |
Плотность, г/см3 |
Алюминий |
Al |
13 |
26,98 |
2,7 |
Аргон |
Ar |
18 |
39,94 |
1,78 |
Бор |
В |
5 |
10,81 |
2,3 |
Вольфрам |
W |
74 |
183,8 |
19,3 |
Золото |
Au |
79 |
196,97 |
19,32 |
Индий |
In |
49 |
114,82 |
7,36 |
Кремний |
Si |
14 |
28,08 |
2,33 |
Медь |
Cu |
29 |
63,54 |
8,96 |
Мышьяк |
As |
33 |
74,92 |
5,72 |
Никель |
Ni |
28 |
58,70 |
8,9 |
Сурьма |
Sb |
51 |
121,7 |
6,69 |
Тантал |
Ta |
73 |
180,95 |
16,6 |
Титан |
Ti |
22 |
47,90 |
4,5 |
Фосфор |
Р |
15 |
30,97 |
2,3 |
Хром |
Cr |
24 |
52,0 |
7,19 |
Учебное издание
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ
Составитель СМИРНОВ Виталий Иванович
Печатается в авторской редакции
Подписано в печать 09.10.2006 Формат 6084/16.
Бумага писчая. Печать трафаретная. Усл. печ. л. 1,40.
Тираж 150 экз. Заказ 1207
Ульяновский государственный технический университет
432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.
Типография УлГТУ, 432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.