- •88 Курс лекций «Технологии материалов и элементов электронной техники»
- •Часть 1. Основы физикохимии материалов и технологий.
- •Часть 2. Технологии материалов электронной техники.
- •Часть 3. Технологии элементов электронной техники.
- •Часть 3. Технологии элементов электронной технитки.
- •Измерение газовых потоков.
88 Курс лекций «Технологии материалов и элементов электронной техники»
Часть 1. Основы физикохимии материалов и технологий.
Лекция 1. Диаграммы состояния и классификация свойств материалов.
Классификация свойств материалов.
Диаграммы состояния материалов.
Законы Курнакова и диаграммы «состав-свойство».
Лекция 2. Методы исследования материалов.
Исследование микроструктуры материалов.
Исследование химического и фазового состава материалов.
Методы построения диаграмм состояния.
Лекция 3. Диффузия и фазовые превращения в материалах.
Модели и закономерности процессов диффузии.
Классификация фазовых превращений в материалах.
Кинетика фазовых превращений. Уравнение Аврами.
Лекция 4. Методы управления структурой и свойствами материалов.
Процессы возврата в материалах.
Первичная и вторичная рекристаллизация материалов.
Закалка и старение материалов.
Часть 2. Технологии материалов электронной техники.
Лекция 5. Технологии металлических материалов.
Технологии выращивания монокристаллов.
Технологии получения поликристаллов металлов и сплавов.
Лекция 6. Технологии порошковых материалов.
Распыление расплава инертным газом.
Распыление «вращающегося» электрода.
Электронно-лучевое распыление.
Плазменные технологии получения нанопорошков.
Лекция 7. Технологии керамических материалов.
Технология получения керамических материалов.
Конструкционная керамика.
Керамика для СВЧ диапазона длин волн.
Технология керамических покрытий.
Лекция 8. Технологии металлических и металлокерамических изделий.
Обработка металлов давлением.
Компактирование порошковых материалов.
Технологии металлокерамических изделий.
Лекция 9. Технологии стеклообразных материалов.
Особенности структуры и свойств стеклообразных материалов.
Технологии получения стекла.
Технологии получения пленок стекла.
Часть 3. Технологии элементов электронной техники.
Лекция 10. ГАЗО-ВАКУУМНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ.
Основные понятия вакуумной техники.
Методы получения вакуума в установках.
Методы измерения давления и газовых потоков.
Материалы вакуумной техники.
Лекция 11. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.
Контроль полупроводниковых слитков.
Контроль полупроводниковых пластин.
Контроль параметров носителей заряда.
Контроль эпитаксиальных структур.
Лекция 12. ТЕХНОЛОГИИ МОЛЕКУЛЯРНОЙ, ГАЗОВОЙ И ЖИДКОСТНОЙ ЭПИТАКСИИ.
Основные методы эпитаксиального осаждения.
Газофазная эпитаксия.
Жидкостная эпитаксия.
Молекулярно-лучевая эпитаксия.
Дефекты эпитаксиальных структур.
Лекция 13. ТЕХНОЛОГИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК.
Технологии термического окисления кремниевых подложек.
Анодное, пиролитическое и термическое осаждение пленок оксида.
Технологии формирования пленок нитрида кремния.
Технологии на основе СВЧ плазменных разрядов.
Лекция 14. ТЕХНОЛОГИИ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ.
Технологии ионного распыления и очистки подложек.
Технологии термоионного осаждения пленок.
Физические основы ионной имплантации
Технологии ионной имплантации.
Лекция 15. ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК.
Параметры и характеристики магнетронных источников.
Системы распыления магнитных материалов.
Реактивные и высокочастотные распылительные системы.
Лекция 16. ТЕХНОЛОГИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ.
Контактная фотолитография.
Проекционная фотолитография.
Радиационная литография.
Магнетронные системы селективного травления.