19

Содержание

ПЕРЕЧЕНЬ УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ, СИМВОЛОВ И ТЕРМИНОВ 6

ВВЕДЕНИЕ 7

1СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ 8

2МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТИ 9

2.1Измерение электрических параметров 9

2.2Методы определения физико-механических параметров 10

2.2.1Измерение упругости 10

2.2.2Измерение трения 10

3ЭКОНОМИЧЕСКИЙ РАЗДЕЛ 12

3.1Затраты на основные материалы 12

4ОХРАНА ТРУДА 13

4.1Техника безопасности и производственная санитария 13

4.1.1Метеорологические условия 13

ЗАКЛЮЧЕНИЕ 14

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 15

ПРИЛОЖЕНИЕ А 16

ПРИЛОЖЕНИЕ Б 18

ПРИЛОЖЕНИЕ В 19

ПЕРЕЧЕНЬ УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ, СИМВОЛОВ И ТЕРМИНОВ

ВВЕДЕНИЕ

Изучению состояния поверхности твердых тел в настоящее время уделяется все больше внимания в научных и прикладных исследованиях. Известно, что состояние поверхности конструкционных материалов во многом определяет их прочностные свойства [1]. Современная микроэлектроника буквально и фигурально базируется на поверхности полупроводникового материала или покрытия. Одной из тенденций современной техники и приборостроения является создание микромашин. Здесь, по мере уменьшения размеров приборов, состояние поверхностей их элементов оказывает все большее влияние на свойства этих приборов.

В микроэлектронном производстве проводится подготовка поверхности пластин и структур с целью прецизионной очистки от загрязнений различной природы и создания определенного физико-химического состояния поверхности, отвечающего в наиболее полной мере требованиям, предъявляемыми маршрутными технологическими процессами. От качества очистки зависят структурное состояние и физико-технические свойства формируемых диэлектрических, полупроводниковых и металлических слоев, а также электрофизические свойства границ раздела контактирующих фаз. Современное материаловедение нуждается в новых универсальных методах, позволяющих более широко исследовать, описывать и диагностировать состояние поверхности материалов и покрытий. Разработка таких методов является фундаментальной задачей современной техники.

В данной работе разработаны метод и установка, позволяющие существенно увеличить точность и чувствительность измерения коэффициента трения качения и провести количественную оценку характера затухания амплитуды маятника, что в совокупности позволяет разделить механизмы диссипации энергии, и таким образом повысить точность контроля физико-механического состояния поверхности.

1. Структура поверхности твердых тел

При образовании кристалла между частицами действуют либо межатомные, либо межмолекулярные силы. В результате этих взаимодействий в кристалле между частицами возникает ковалентная, ионная или металлическая связь [2, 3].

На произвольную частицу внутри кристалла действуют силы со стороны окружающих ее частиц. Для частиц, расположенных в поверхностном слое, характерна нескомпенсированность связей, поэтому частицы, расположенные на поверхности, обладают сильной адсорбционной способностью [1].

Наиболее широко используется следующая модель строения поверхностного слоя реального твердого тела рисунок 1.1.

1. σ₁ = 0,50 мкм, R1 = 13,3 мкм; (2) = 0,1 мкм,

R₂ = 0,20мкм, D₂= 3,2 мкм^-2; (3) σ₂ = 0,1 мкм, R₂ = 0,10 мкм,

D₂ = 25 мкм^-2.

Рисунок 1.1 – Фактическая (пунктирная линия) и физическая (сплошные линии) площади контакта в зависимости от нагрузки