belyaev_a_e_konakova_r_v_red_karbid_kremniya_tehnologiya_svo

422 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.12. ǽȞȜȢȖșȖ ǼȔȓ-ȘȞȎȠȓȞȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Ni-n-21R-SiC (0001) ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȒȜ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ: a – ȒȜ; ȏ – ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȝȞȖ 400°ǿ; Ȑ – 600°ǿ;

ȑ – 750°ǿ; Ȓ – 900°ǿ; ȓ – 1100°ǿ [41]

ȞȓțȠȑȓțȜȒȖȢȞȎȘȤȖȜțțȜȑȜȎțȎșȖȕȎȖȋǼǿ, ȚȜȔțȜȝȜșȎȑȎȠȪ, ȥȠȜȕȓȞțȖȟȠȜȟȠȪ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȎ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ țȜȐȩȣ ȢȎȕ ȝȞȖ ǯȀǼ [46 50].

ǻȎ ȞȖȟ. 2.12 Ȗ 2.13 ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩ ȝȞȜȢȖșȖ ȒțȎ Ȗ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȑșȡȏȖțȩ ǼȔȓ-ȘȞȎȠȓȞȎ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ni-n-21R-SiC (0001) ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡ-

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	423

ǾȖȟ. 2.13. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȑșȡȏȖțȩ ǼȔȓ-ȘȞȎȠȓȞȎ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ

Ni-n-21R-SiC (0001) ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎ-

ȠȡȞȩ ǯȀǼ [41]

Ȟȩ ǯȀǼ. ǽȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ ǯȀǼ > 400°ǿ ȝȞȜȤȓȟȟȩ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ ȟȐȭȕȎțȩȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚȟȖșȖȤȖȒȜȐțȖȘȓșȭ, ȝȞȖȫȠȜȚȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȑșȡȏȖțȩǼȔȓ-ȘȞȎȠȓȞȎ. ǽȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣǯȀǼ> 750°ǿ țȎȥȖțȎȓȠ ȖȕȚȓțȭȠȪȟȭ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȭ ȒțȎ ǼȔȓ-ȘȞȎȠȓȞȎ, ȥȠȜ ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȐȘșȬȥȓțȖȗ, ȟȜȟȠȜȭȧȖȣ Ȗȕ ȢȎȕ ȟȖșȖȤȖȒȜȐ țȖȘȓșȭ, ȖȚȓȬȧȖȣ ȏȜșȓȓ țȖȕȘȡȬ ȟȘȜȞȜȟȠȪ ȠȞȎȐșȓțȖȭ.

ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ RC ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-21R-SiC Ȗ Ni-n-6H-SiC ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȠȎȏș. 2.5.

Ƕȕ ȠȎȏș. 2.5 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖ ǯȀǼ ȒȜ 450°ǿ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȐȩȟȜȘȜȜȚțȩȓ. ǿ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ ȒȜ 750°ǿ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȟȠȎțȜȐȭȠȟȭ țȖȕȘȜȜȚțȩȚȖ ȜȚȖȥȓȟȘȖȚȖ țȓȕȎȐȖȟȖȚȜ ȜȠ ȠȖȝȎ ȝȜșȖȠȖȝȎ Ȗ ȑȞȎțȖ, țȎ ȘȜȠȜȞȜȗ ȟȜȕȒȎț ȘȜțȠȎȘȠ. ȂȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ȑ ȫȠȜȚ ȟșȡȥȎȓ, ȘȎȘ Ȗ Ȑ [46], ȟȐȭȕȎțȜ ȟ ȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȚ ȟȖșȖȤȖȒțȩȣ ȢȎȕ ȞȎȕșȖȥțȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ Ȗ ȞȎȕȚȩȠȖȓȚ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȎ Ni Ȑ SiC (ȞȖȟ. 2.14), ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȬȧȓȑȜȟȭ ȡȐȓșȖȥȓțȖȓȚ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȖ ȘșȎȟȠȓȞȜȐ ȡȑșȓȞȜȒȎ Ȗ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȐȎȘȎțȟȖȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ.

ǿȞȎȐțȓțȖȓȝȜșȡȥȓțțȩȣȒȎțțȩȣȝȜȫșȓȘȠȞȜȢȖȕȖȥȓȟȘȖȚȖȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ Ni2Si Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ n-ȠȖȝȎ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ǯȀǼ țȓȘȜȑȓȞȓțȠțȩȚ ǶǸ ȖȕșȡȥȓțȖȓȚ, ȟ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȎȚȖ ȝȜ ȠȎȘȖȚ Ȕȓ ȘȜțȠȎȘȠȎȚ, țȜ ȝȜșȡȥȓțțȩȚ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȠȞȎȒȖȤȖȜțțȜȑȜ ȠȓȞȚȜȜȠȔȖȑȎ Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȖțȓȞȠțȩȣ ȑȎȕȜȐ ȖșȖ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ [50], ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ, ȥȠȜ ǯȀǼ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȟȝȜȟȜȏȜȚ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȖȚȡȝȞȎȐșȭȠȪȢȎȕȜȐȩȚȟȜȟȠȎȐȜȚțȖȘȓșȓȐȜȗȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ.

424 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.14. ǽȞȜȢȖșȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ȋǼǿ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ, ȖȟȣȜȒțȩȣ Ȗ ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȒȜ 1000°ǿ (Ni-n-6H-SiC) Ȗ 1100°ǿ

(Ni-n-21R-SiC) Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 10 ȟ [50]

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	425

2.3.2. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȫșȓȘȠȞȜȖȟȘȞȜȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-21R(6H)-SiC

ǶȕȐȓȟȠțȜ, ȥȠȜ țȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȐșȖȭȓȠ ȟȜȟȠȜȭțȖȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ, ȟȠȓȝȓțȪ ȓȓ ȜȥȖȟȠȘȖ, ȜȠȘșȜțȓțȖȓ ȜȠ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ, ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȚ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ, țȎșȖȥȖȓ ȚȖȘȞȜȞȓșȪȓȢȎ [27, 55, 56]. ǰ ȥȎȟȠțȜȟȠȖ, ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚțȖȭȐșȖȭȓȠțȎȝșȜȠțȜȟȠȪȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣȟȜȟȠȜȭțȖȗ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ ȚȓȠȎșș–SiC Ȗ ȚȖȘȞȜȞȓșȪȓȢ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ. ǼȏȎ ȢȎȘȠȜȞȎ ȐșȖȭȬȠ țȎ ȐȓșȖȥȖțȡ RC, ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȭ ȓȑȜ ȡȚȓțȪȦȓțȖȬ ȝȞȖ ȡȚȓțȪȦȓțȖȖ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ Ȑ ȝȓȞȐȜȚ ȟșȡȥȎȓȖȡȐȓșȖȥȓțȖȖȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȗȝșȜȧȎȒȖȘȜțȠȎȘȠȎȕȎȟȥȓȠȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȞȎȕȐȖȠȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ – ȐȜ ȐȠȜȞȜȚ. ǮȐȠȜȞȩ [42, 43, 50, 54] ȝȞȓȒșȜȔȖșȖ ȚȜȒȖȢȖȤȖȞȜȐȎȠȪ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓ ȟȐȜȗȟȠȐȎ SiC ȝȡȠȓȚ ȫșȓȘȠȞȜȖȟȘȞȜȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ (ȋǶǼ), Ȑ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȓ ȘȜȠȜȞȜȗ ȜȏȞȎȕȜȐȎȐȦȖȗȟȭ ȞȓșȪȓȢ ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȡȓȠ ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȗ ȝșȜȧȎȒȖ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ȗ ȡșȡȥȦȓțȖȬ ȎȒȑȓȕȖȜțțȩȣ ȟȐȜȗȟȠȐ țȖȘȓșȓȐȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ, ȝȜȟșȓȒȜȐȎȐȦȓȗ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ. ȋǶǼ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȐȜșȪȢȞȎȚȜȐȜȑȜ ȕȜțȒȎ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 0.25 ȚȚ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ Ȑ ȖȚȝȡșȪȟȓ 10 2 DzȔ. ǽșȓțȘȎ Ni ȠȜșȧȖțȜȗ _0.1 ȚȘȚ ȟȜȕȒȎȐȎșȎȟȪ ȞȓȕȖȟȠȖȐțȩȚ țȎȝȩșȓțȖȓȚ ȐȐȎȘȡȡȚȓȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȜȒșȜȔȘȖ 200°ǿ (n-21R-SiC) Ȗ 300°ǿ (n-6H-SiC). ȋǶǼ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪ ȘȞȓȚțȖȓȐȎȭ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȎȭ ȑȞȎțȖ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ n-21R(6H)-SiC, ȐȩȞȎȧȓțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ ǹȓșȖ.

ǹȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ ȎȕȜȠȜȚ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐ n-21R-SiC ȟȜȟȠȎȐșȭșȜ (2–3)¸1018 ȟȚ 3, ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȜȐn-6H-SiC _1.7 1017 ȟȚ 3. ǶȟȟșȓȒȜȐȎșȖȟȪ2 ȠȖȝȎȜȏȞȎȕȤȜȐ: ȝȜȒȐȓȞȑțȡȠȩȓǯȀǼȝȞȖȀ=400, 600, 750, 900 Ȗ 1100°ǿȖȘȜțȠȞȜșȪțȩȓ (ȏȓȕǯȀǼ). ǼȘȎȕȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ǰǮȃȘȎȘȘȜțȠȞȜșȪțȩȣ, ȠȎȘ Ȗ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȜȟșȓ ǯȀǼ, șȖțȓȗțȩȓ, ȟ ȚȎșȜ ȞȎȕșȖȥȎȬȧȓȗȟȭ ȐȓșȖȥȖțȜȗ RC Ȓșȭ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ Ȗ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ ȑȞȎțȓȗ SiC ȜȏȜȖȣ ȝȜșȖȠȖȝȜȐ. ȀȖȝȖȥțȩȓ ǰǮȃ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ni-n-6H-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȓ țȎ Si Ȗ ƙ ȑȞȎțȭȣ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ Ȗ ȝȞȜȦȓȒȦȖȓ ǯȀǼ, ȝȞȖȐȓȒȓțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.15. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖRC ȜȠȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩǯȀǼȒșȭȫȠȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȩțȎ ȞȖȟ. 2.15. DzșȭȟȞȎȐțȓțȖȭțȎȞȖȟ. 2.16 ȝȜȘȎȕȎțȩȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ RC ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-6H-SiC, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ Ȑ [39, 57] ȏȓȕ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȗ ȋǶǼ. ǰȖȒțȜ, ȥȠȜ RC x10 3 ǼȚ¸ȟȚ2 țȎ ȜȏȞȎȕȤȎȣ, ȝȞȜȦȓȒȦȖȣȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȡȬȋǶǼ, ȢȜȞȚȖȞȡȓȠȟȭȐȝȞȜȤȓȟȟȓ

426 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.15. ǰǮȃȘȜțȠȎȘȠȎNi-n_-6ǻ- SiC (0001)(a)ȖNi-n-6ǻ-SiC (0001) (ȏ)

ȟ ȋǶǼ ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȒȜ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ, °ǿ: 1 – ȏȓȕ ȜȠȔȖȑȎ; 2 – 400, 3 – 600; 4 – 750; 5 – 900; 6 – 1100 [9, 41, 54]

țȎȝȩșȓțȖȭ Ni ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ _300°ǿ Ȗ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ țȓ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ. ǮțȎșȜȑȖȥțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ RC ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ Ȓșȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-21R-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ țȎ Si Ȗ ƙ ȑȞȎțȭȣ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ Ȗ ȏȓȕ ȋǶǼ, ȝȞȖȐȓȒȓțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.17. ǰȖȒțȜ, ȥȠȜ ȘȎȘ Ȗ Ȓșȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-6H-SiC, țȎțȓȟȓțțȩȣ țȎ ȝȜȒ-

ǾȖȟ. 2.16. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȡȒȓșȪțȜȑȜ ȝȓȞȓȣȜȒțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-6H-SiC ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩǯȀǼ: 1, 1a – (0001); 2, 2a – (0001); 1, 2 – ȒȎțțȩȓ [39, 57]; 1a, 2a – ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȎȭ ȋǶǼ SiC [41]

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	427

ǾȖȟ. 2.17. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȡȒȓșȪțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ni-n-21R-SiC ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ: 1 – (0001) ȑȞȎțȪ, 2 – (0001) ȑȞȎțȪ [41]; 1a – (0001)

ȑȞȎțȪ; 2a – (0001) ȑȞȎțȪ, ȝȜȒȐȓȞȑțȡȠȩȓ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȗ ȋǶǼ ȝȓȞȓȒ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȓȗ Ȗ ǯȀǼ

ȐȓȞȑțȡȠȡȬ ȋǶǼ ȜȏȞȎȏȜȠȘȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ SiC, ȠȎȘ Ȗ Ȓșȭ ȎțȎșȜȑȖȥțȜ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣȘȜțȠȎȘȠȜȐNi-n-21R-SiC ȏȓȕȋǶǼ, ȐȓșȖȥȖțȎȡȒȓșȪțȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȟșȎȏȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ǯȀǼ, Ȏ ȟȎȚ ȜȚȖȥȓȟȘȖȗ ȘȜțȠȎȘȠ ȜȘȎȕȩȐȎȓȠȟȭ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȚ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ țȎȝȩșȓțȖȭ Ni țȎ ȝȜȒȜȑȞȓȠȡȬ ȒȜ 300°ǿ ȝȜȒșȜȔȘȡ n-21R-SiC. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȐȓșȖȥȖțȎ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ țȓ ȖȕȚȓțȭȓȠȟȭ Ȑ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ ȜȠ ȝȜȒȐȓȞȑțȡȠȜȗ ȋǶǼ ȑȞȎțȖ SiC (ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȖșȖ ȡȑșȓȞȜȒțȜȗ), ȥȠȜ ȝȜ ȚțȓțȖȬ ȎȐȠȜȞȜȐ [50] ȜȏȨȭȟțȭȓȠȟȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȞȎȕȐȖȠȜȑȜ ȞȓșȪȓȢȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȝȜȟșȓȋǶǼ ȖȓȓȟșȜȔțȩȚ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȚ ȟȜȟȠȎȐȜȚ. ǿȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȓ ȒȎțțȩȓ ȝȜ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-6H-SiC ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȎȠȜȚțȜ-ȟȖșȜȐȜȗ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȖȖ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȠȎȏș. 2.6.

ȃȖȚȖȥȓȟȘȖȗ ȎțȎșȖȕ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟșȜȓȐ n-6H-SiC ȒȜ Ȗ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȝȞȜȐȓȒȓțțȩȗ ȚȓȠȜȒȜȚ ǰǶǺǿ ȝȜȘȎȕȎș, ȥȠȜ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȐȜșȪȢȞȎȚȜȐȩȚ ȫșȓȘȠȞȜȒȜȚ ȖȚȓȬȠȟȭ ȟșȓȒȩ ȐȜșȪȢȞȎȚȎ Ȗ ȓȑȜ ȜȘȖȟșȜȐ. ǽȜȟșȓ ȋǶǼ ȎșȬȚȖțȖȓȐȩȚ ȫșȓȘȠȞȜȒȜȚ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-6H-SiC ȠȎȘȔȓ ȜȘȎȕȎșȖȟȪ ȟșȓȒȩ ȎșȬȚȖțȖȭ, ȘȜȖȣ, ȘȎȘ Ȗ ȟșȓȒȜȐ ȐȜșȪȢȞȎȚȎ Ȗ ȓȑȜ ȜȘȖȟșȜȐ, țȓ ȏȩșȜ ȜȏțȎȞȡȔȓțȜ Ȑ ȖȟȣȜȒțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȎȣ [54].

ȀȎȏșȖȤȎ 2.6. ǰșȖȭțȖȓ ȋǶǼ țȎ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȬ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-6H-SiC [50]

Ɍɢɩ ɨɛɪɚɡɰɚ	RMS, ɧɦ	Zr, ɧɦ
ɂɫɯɨɞɧɵɣ	3.43	47.17
ɉɨɫɥɟ ɗɂɈ	34.53	255.36

ǽȞȖȚȓȥȎțȖȓ: ȝșȜȧȎȒȪ ȎțȎșȖȕȖȞȡȓȚȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 5×5 ȚȘȚ2; RMS – ȟȞȓȒțȓȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȎȭ ȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȪ; Zr – ȞȎȕȚȎȣ ȐȩȟȜȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ

428 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǼȏțȎȞȡȔȓțțȩȗ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȟșȜȔțȩȗ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȗ ȟȜȟȠȎȐ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, țȎȞȭȒȡ ȟ ȓȓ ȞȎȕȐȖȠȩȚ ȚȖȘȞȜȞȓșȪȓȢȜȚ, ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȓȠ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ, Ȑ ȠȜȚ ȥȖȟșȓ ȕȎ ȟȥȓȠ țȓȏȎȞȪȓȞțȩȣ ȚȓȣȎțȖȕȚȜȐ ȠȜȘȜȝȓȞȓțȜȟȎ.

2.3.3. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-6H-SiC

ǸȎȘ ȖȕȐȓȟȠțȜ, Ȑ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȞȖȏȜȞțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ țȎ SiC Ȑ ȜȟțȜȐțȜȚ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȝȜȟșȓ ȟȠȎțȒȎȞȠțȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȣȖȚȖȘȜ-ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȜȗ ȝȜșȖȞȜȐȘȖ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȎȏȞȎȕȖȐțȩȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ Ȗ ȎȑȞȓȟȟȖȐțȩȣ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȣ ȟȞȓȒ [9]. ȂȜȞȚȖȞȡȓȚȩȓ ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭ țȎșȖȥȖȓȚ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȜȟȠȎȠȜȥțȜȚ ȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȚ ȟșȜȓ Ȗ țȎȞȡȦȓțȖȓȚ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ, ȥȠȜ ȝȞȜȭȐșȭȓȠȟȭ ȐȡȣȡȒȦȓțȖȖȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȝȞȖȏȜȞțȩȣȟȠȞȡȘȠȡȞȖǶǿȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȜȗ ȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ. ȋȠȜ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȓȠ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ ȞȎȕȞȎȏȜȠȘȖ ȟȝȓȤȖȎșȪțȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȝȓȞȎȤȖȗ Ȓșȭ ȡșȡȥȦȓțȖȭ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȣ ȟȐȜȗȟȠȐ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȓȘ.

ǯȜșȪȦȖțȟȠȐȜȝȞȓȒșȎȑȎȓȚȩȣȠȓȣțȜșȜȑȖȗȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭȐȩȟȜȘȜȗȟȓȏȓȟȠȜȖȚȜȟȠȪȬ, ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȗȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪȬ, ȟșȜȔțȜȟȠȪȬȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȭ. ǼțȖțȓȞȓȦȎȬȠȝȞȜȏșȓȚȡțȎȞȡȦȓțȖȭ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ Ȗ ȜȠșȖȥȎȬȠȟȭ ȟșȜȔțȜȟȠȪȬ ȘȜțȠȞȜșȭ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ [58, 59].

ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȠȞȎȒȖȤȖȜțțȩȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȢȖțȖȦțȜȗ ȣȖȚȖȘȜ-ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȜȗ ȝȜșȖȞȜȐȘȖ Ȗ ȜȥȖȟȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȓȘSiC ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭțȓȑȎȠȖȐțȩȚȎȑȞȓȟȟȖȐțȩȚȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȓȚ țȎ ȜȘȞȡȔȎȬȧȡȬ ȟȞȓȒȡ ȕȎ ȟȥȓȠ ȏȜșȪȦȜȑȜ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȜȠȣȜȒȜȐ (ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțțȩȓ ȜȟȠȎȠȘȖ ȎȏȞȎȕȖȐȜȐ, ȝȜșȖȞȡȬȧȖȣ ȝȎȟȠ, ȜȠȞȎȏȜȠȎțțȩȓ ȜȣșȎȔȒȎȬȧȖȓ ȔȖȒȘȜȟȠȖ, ȔȖȒȘȖȓ ȣȖȚȖȥȓȟȘȖȓ ȞȓȎȘȠȖȐȩ Ȗ ȠȞȎȐȖȠȓșȖ Ȗ Ƞ. Ȓ.), ȘȜȠȜȞȩȓ ȠȞȓȏȡȬȠ ȟȝȓȤȖȎșȪțȩȣ ȚȓȞ Ȓșȭ ȣȞȎțȓțȖȭ Ȗ ȡȠȖșȖȕȎȤȖȖ. ȀȎȘȜȓ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȜ ȝȞȓȒȝȜșȎȑȎȓȠ ȟȜȕȒȎțȖȓ ȟșȜȔțȩȣ ȒȜȞȜȑȜȟȠȜȭȧȖȣ ȘȜȚȝșȓȘȟȜȐ ȝȜ ȜȥȖȟȠȘȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȐȩȏȞȜȟȜȐ.

ǶȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȖȐȐȎȘȡȡȚȓȭȐșȭ- ȓȠȟȭ ȫȢȢȓȘȠȖȐțȩȚ ȚȓȠȜȒȜȚ ȟȠȞȡȘȠȡȞȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȓȘ, ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȒȎȓȠ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȖȕȚȓțȭȠȪ Ȑ ȦȖȞȜȘȖȣ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȫțȓȞȑȖȬ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭ, ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȠȪ țȓȟȠȎȤȖȜțȎȞțȩȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȠȓȝșȜ- Ȗ ȚȎȟȟȜȝȓȞȓțȜȟȎ, Ȏ ȠȎȘ Ȕȓ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȓ ȎȘȠȖȐȖȞȡȬȧȖȓ

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	429

ȢȎȘȠȜȞȩ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȋǹǼ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȫȘȜșȜȑȖȥȓȟȘȖ ȥȖȟȠȩȚ ȝȞȜȤȓȟȟȜȚ Ȗȕ-ȕȎ ȜȠȟȡȠȟȠȐȖȭ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȖȣ ȟȞȓȒ Ȗ ȐȞȓȒțȩȣ ȐȩȏȞȜȟȜȐ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ ȟȝȓȤȖȎșȪțȜȗ ȜȟțȎȟȠȘȖ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȖȕȚȓțȭȠȪ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ Ȑ ȦȖȞȜȘȖȣ ȝȞȓȒȓșȎȣ Ȗ ȖȟȘșȬȥȖȠȪ țȎȞȡȦȓțȖȓ ȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ.

ǾȎȕȞȎȏȜȠȎțțȩȗ Ȑ [60] ȚȓȠȜȒ ȢȖțȖȦțȜȗ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ Ȓșȭ ȡȒȎșȓțȖȭ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ țȎȞȡȦȓțțȜȑȜ ȟșȜȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȜȟțȜȐȎț țȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȔȖȒȘȜȢȎȕțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȖ ȟșȜȓȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ. ǼȟțȜȐțȜȓ țȎȝȞȎȐșȓțȖȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȗ Ȑ ȫȠȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ ȟȜȟȞȓȒȜȠȜȥȓțȜ țȎ ȝȜȖȟȘȓ ȫșȓȚȓțȠȜȐ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȣȜȞȜȦȜ ȞȎȟȠȐȜȞȭȬȠ SiC Ȑ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȜȚ ȟȜȟȠȜȭțȖȖ Ȗ ȖȚȓȬȠ țȖȕȘȡȬ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡ ȞȎȟȝșȎȐȎ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȜ ȜȠȒȎȓȠȟȭ ȟȖȟȠȓȚȓSiC-Si, ȠȎȘȘȎȘȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓȝșȎȐșȓțȖȭSi ȠȎȘȎȭȟȖȟȠȓȚȎ ȞȎȐțȜȐȓȟțȎ, ȐțȓȗȜȠȟȡȠȟȠȐȡȬȠ țȓȜȏȞȎȠȖȚȩȓ ȝȞȜȤȓȟȟȩ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭȖțȓȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠțȎȞȡȦȓțȖȭȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȖȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖ SiC.

ǿȡȥȓȠȜȚ ȢȖȕȖȥȓȟȘȖȣ ȜȟțȜȐ ȚȓȠȜȒȎ ȔȖȒȘȜȢȎȕțȜȗ ȫȝȖȠȎȘȟȖȖ,

Ȑ[60] ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȟȝȜȟȜȏȜȏȞȎȏȜȠȘȖSiC ȐȘȜȠȜȞȜȚȝșȎȟȠȖțȎ SiC, ȟ țȎțȓȟȓțțȩȚ țȎ ȓȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȟșȜȓȚ Si, țȎȑȞȓȐȎȓȠȟȭ ȒȜ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȝșȎȐșȓțȖȭ ȘȞȓȚțȖȭ. ȁȟșȜȐȖȭ ȟȠȞȎȐșȖȐȎțȖȭ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ SiC Ȑ ȞȎȟȝșȎȐȓ Si ȞȓȎșȖȕȡȬȠȟȭ șȖȏȜ ȕȎ ȟȥȓȠ ȡȟȠȞȎțȓțȖȭ ȑȞȎȒȖȓțȠȎ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ țȎ ȑȞȎțȖȤȓ ȞȎȕȒȓșȎ SiC–ȞȎȟȝșȎȐ Si, șȖȏȜ ȕȎ ȟȥȓȠ ȞȓȎșȖȕȎȤȖȖ «ȜȏȞȎȠțȜȑȜ» ȑȞȎȒȖȓțȠȎ.

ǽȞȖȚȓțȓțȖȓȒȐȖȔȡȧȓȑȜȟȭșȓțȠȜȥțȜȑȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȑȜșȡȥȎȝȜȕȐȜșȭȓȠ șȜȘȎșȪțȜ ȐȐȜȒȖȠȪ ȫțȓȞȑȓȠȖȥȓȟȘȖȓ ȝȜȠȜȘȖ ȏȜșȪȦȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ

ȐȕȜțȡ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, ȘȜțȠȞȜșȖȞȜȐȎȠȪ ȞȓȔȖȚȩ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ, ȖȕȚȓțȭȭȚȜȧțȜȟȠȪȖȟȘȜȞȜȟȠȪȒȐȖȔȓțȖȭșȡȥȎȐȕȜțȓȜȏȞȎȏȜȠȘȖ. ǰȜȕȚȜȔțȎȠȎȘȔȓȞȓȎșȖȕȎȤȖȭȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȩȣȫȢȢȓȘȠȜȐȕȎ ȟȥȓȠ ȏȩȟȠȞȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ țȎȑȞȓȐȎ-ȜȣșȎȔȒȓțȖȭ, ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭ ȐțȓȦțȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ Ȗ țȎȐȓȒȓțȖȭ ȐțȡȠȞȓțțȓȑȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ [61, 62]. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȜȠȝȎȒȎȓȠ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ ȘȜțȟȠȞȡȖȞȜȐȎțȖȭ ȚȜȧțȜȑȜțȎȑȞȓȐȎȠȓșȭ, ȝȜȕȐȜșȭȬȧȓȑȜțȎȑȞȓȐȎȠȪȝȜȒșȜȔȘȖȏȜșȪȦȜȑȜ ȒȖȎȚȓȠȞȎ ȟ ȐȩȟȜȘȜȗ ȞȎȐțȜȚȓȞțȜȟȠȪȬ.

ǿȜȑșȎȟțȜ [63], Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ 1420–1600°ǿ ȘȞȎȓȐȜȗ ȡȑȜș ȟȚȎȥȖȐȎțȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȔȖȒȘȖȚ ȘȞȓȚțȖȓȚ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 37–27 ȑȞȎȒȡȟȜȐ. ȀȜ ȓȟȠȪ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȩȗ ȘȞȓȚțȖȗ, ȟ ȜȒțȜȗ ȟȠȜȞȜțȩ, ȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȞȎȐțȜȚȓȞțȜ ȟȚȎȥȖȐȎȓȠ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ SiC (ȜȟȜȏȓțțȜ ȝȞȖ ȖȟȣȜȒțȜ-ȞȎȐțȜȚȓȞțȜȚ țȎțȓȟȓțȖȖ ȝșȓțȘȖ ȘȞȓȚțȖȭ, țȎȝȞȖȚȓȞ, ȝȞȖ

430 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

țȎȝȩșȓțȖȖ), Ȏ ȟ ȒȞȡȑȜȗ – ȣȜȞȜȦȜ ȡȒȓȞȔȖȐȎȓȠȟȭ țȎ țȓȗ ȟȖșȎȚȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ țȎȠȭȔȓțȖȭ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȞȎȟȝșȎȐșȓțțȩȗ ȘȞȓȚțȖȗ țȓ ȟȜȝȞȖȘȎȟȎȓȠȟȭ ȟ ȒȞȡȑȖȚȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȎȚȖ, Ȗ ȎȐȠȜȚȎȠȖȥȓȟȘȖ ȞȓȦȎȓȠȟȭ ȝȞȜȏșȓȚȎ ȠȖȑșȭ.

ǶȕȚȓțȭȭȟȘȜȞȜȟȠȪȒȐȖȔȓțȖȭșȡȥȎ, ȓȑȜȚȜȧțȜȟȠȪ, ȎȠȎȘȔȓȠȜșȧȖțȡ țȎțȜȟȖȚȜȗ ȝșȓțȘȖ Si (Ȏ ȕțȎȥȖȠ Ȗ ȜȏȨȓȚ ȞȎȟȝșȎȐȎ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC), ȚȜȔțȜ ȞȓȎșȖȕȜȐȩȐȎȠȪ ȞȎȕșȖȥțȩȓ ȡȟșȜȐȖȭ Ȗ ȚȓȠȜȒȩ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ: ȜȥȖȟȠȘȎ, ȡȒȎșȓțȖȓ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ, ȚȖȘȞȜȝȞȜȢȖșȖȞȜȐȎțȖȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ.

ȋȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȞȓȔȖȚȜȐ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȏȩșȖ ȝȞȜȐȓȒȓțȩ țȎ ȘȎȢȓȒȞȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȚȖȘȞȜ- Ȗ țȎțȜȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ȎȝȝȎȞȎȠȡȞȩ ȀȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ǶțȟȠȖȠȡȠȎ ȌȔțȜȑȜ ȂȓȒȓȞȎșȪțȜȑȜ ȁțȖȐȓȞȟȖȠȓȠȎ (ȑ. ȀȎȑȎțȞȜȑ), ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȜȑȜ Ȗ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȜȑȜ țȎ ȘȎȢȓȒȞȓ ȜȏȜȞȡȒȜȐȎțȖȭ Ȓșȭ ȫșȓȘ- ȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȒșȜȔȓȘ.

Dzșȭ ȋǹǼ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ n-6H-SiC (n=1.5¸1017 ȟȚ 3)

ȢȖȞȚȩBandgap Technologies, Inc. (1428 Taylor St., Columbia, SC 29201).

ǽȜȟșȓ ȟȠȎțȒȎȞȠțȜȗ ȝȞȜȤȓȒȡȞȩ RCA ȜȥȖȟȠȘȖ ȜȏȞȎȕȤȩ ȝȜȘȞȩȐȎșȖȟȪ ȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȝșȓțȘȜȗ, ȘȜȠȜȞȎȭ ȝȜȟșȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȟȠȞȎȐșȖȐȎșȎȟȪ Ȑ ȝȜșȖȞȡȬȧȓȚ ȠȞȎȐȖȠȓșȓ HNO3:HF (3:1). ȋșȓȘȠȞȜțțȜșȡȥȓȐȎȭ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȞȜȖȕȐȜȒȖșȎȟȪ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎȣ 1350–1400°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 30 ȟ.

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȓȘ n-6H-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ ȎȠȜȚțȜ-ȟȖșȜȐȜȗ ȚȖȘȞȜȟȘȜȝȖȖ ȝȜȘȎȕȩȐȎȬȠ, ȥȠȜ ȫșȓȘȠȞȜț- țȜ-șȡȥȓȐȎȭ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎȠȪ ȟȑșȎȔȓțțȩȗ Ȗ ȜȒțȜȞȜȒțȩȗ ȞȓșȪȓȢ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ (ȞȖȟ. 2.18, ȠȎȏș. 2.7) Ȗ ȝȞȜȐȜȒȖȠȪ ȓȓ ȑșȡȏȜȘȡȬ ȜȥȖȟȠȘȡ. ǿȞȓȒțȓȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȎȭ ȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ n-6H-SiC ȝȜȟșȓ ȋǹǼ ȟțȖȔȎȓȠȟȭ Ȑ 3 ȞȎȕȎ, Ȏ ȞȎȕȚȎȣ ȐȩȟȜȠ – Ȑ 4 ȞȎȕȎ.

ȀȎȏșȖȤȎ 2.7. ǰșȖȭțȖȓ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ țȎ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȬ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ n-6H-SiC [48, 50]

Ɉɛɪɚɡɟɰ	RMS, ɧɦ	Zr , ɧɦ
ɂɫɯɨɞɧɵɣ	3.43	47.17
ɉɨɫɥɟ ɗɅɈ	1.35	11.95

ǽȞȖȚȓȥȎțȖȓ: ǽșȜȧȎȒȪ ȎțȎșȖȕȖȞȡȓȚȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ 5×5 ȚȘȚ2

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	431

ǾȖȟ. 2.18. ǽȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ SiC: Ȏ – ȖȟȣȜȒțȩȗ ȜȏȞȎȕȓȤ; ȏ – ȜȏȞȎȕȓȤ, ȝȜȟșȓ ȋǹǼ [48]

ǿȠȞȡȘȠȡȞțȩȓ ȖȕȚȓțȓțȖȭ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ n-6H-SiC ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠȟȭȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȓȚȟȝȓȘȠȞȎșȪțȩȣȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȓȗȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȎ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ ȜȏȞȎȕȤȜȐ. ǼȝȠȖȥȓȟȘȎȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ SiC ȝȜȟșȓȋǹǼȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭȝȜȥȠȖȐ2.5 ȞȎȕȎ, ȥȠȜȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝȏ ȡȒȎșȓțȖȖțȎȞȡȦȓțțȜȑȜȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜȟșȜȭȖȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚ ȡșȡȥȦȓțȖȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȑȜ ȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȜȏȞȎȕȤȎ.

ǽȜȟșȓ ȋǹǼ țȎ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ n-6H-SiC ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȠȓȟȠȜȐȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩTi-n-6H-SiC. ǰțȎȥȎșȓțȎȑȞȎțȪn-6H-SiC (0001) țȎȝȩșȭșȟȭ ȟșȜȗ țȖȘȓșȭ (200 țȚ) ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȜȒșȜȔȘȖ 300°ǿ, ȘȜȠȜȞȩȗ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȟȭ ǯȀǼ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 1000°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 3ȣ ȚȖțȡȠ Ȓșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ. ǵȎȠȓȚ țȎ (0001)

432 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȑȞȎțȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȐȎȘȡȡȚțȩȚ țȎȝȩșȓțȖȓȚ țȎțȜȟȖșȖȟȪ ȝșȓțȘȖ Ti ȠȜșȧȖțȜȗ 100 țȚ. ȀȖȠȎțȜȐȩȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȞȎȕȚȓȞȜȚ 955×162 ȚȘȚ2 ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȓȗ Ȗ ȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȓ țȓ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪ. ǼȘȎȕȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-n-6H-SiC (0001) țȎ ȘȜțȠȞȜșȪțȜȚ ȜȏȞȎȕȤȓ Ȗ ȜȏȞȎȕȤȓ ȝȜȟșȓ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜȗ ȋǹǼ ȝȞȎȘȠȖȥȓȟȘȖ ȜȒȖțȎȘȜȐȎ. ǼȒțȎȘȜ ǰǮȃ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȞȎȕșȖȥȎȬȠȟȭ. ǻȎ ȘȜțȠȞȜșȪțȜȚ ȜȏȞȎȕȤȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ti-n-6H-SiC (0001) ȭȐșȭȬȠȟȭ ȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȚȖ ȟ ȐȩȟȜȠȜȗ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ 0.63 ȫǰ. ǻȎ ȜȏȞȎȕȤȓ, ȝȞȜȦȓȒȦȓȚ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȡȬ ȫșȓȘȠ-

ȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȡȬ ȜȏȞȎȏȜȠȘȡ, ȘȜțȠȎȘȠȩ Ti-n-6H-SiC (0001) ȜȚȖȥȓȟȘȖȓ

ȟ RC !3.8¸10 3 ǼȚ¸ȟȚ2.

ǻȎȏșȬȒȎȓȚȜȓȖȕȚȓțȓțȖȓȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȝȜȚțȓțȖȬȎȐȠȜȞȜȐȞȎȏȜȠȩ[56], ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜȟȠȞȡȘȠȡȞțȩȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎTi-n-6H-SiC, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȓȓȐșȖȭțȖȓțȎȘȜȠȜȞȩȓȜȘȎȕȩȐȎȓȠ țȎșȖȥȖȓțȎȞȡȦȓțțȜȑȜȟșȜȭȐȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗ ȜȏșȎȟȠȖȝȜȒșȜȔȘȖ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ Ȗ ȡșȡȥȦȓțȖȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞțȜȑȜ ȟȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȝȜȟșȓȋǹǼ– ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜȘȜțȠȎȘȠȎ. DzȓȗȟȠȐȖȠȓșȪțȜ, ȏȎȞȪȓȞțȎȭȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȘȜțȠȞȜșȪțȜȑȜȜȏȞȎȕȤȎȜȏȡȟșȜȐșȓțȎȠȓȚ, ȥȠȜ Ȑ ȞȓȎșȪțȩȣ ȘȜțȠȎȘȠȎȣ ȐȩȟȜȠȎ ȏȎȞȪȓȞȎ ȆȜȠȠȘȖ ȟșȎȏȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȞȎȕțȜȟȠȖ ȞȎȏȜȠȩ ȐȩȣȜȒȎ ȚȓȠȎșșȎ Ȗ ȟȞȜȒȟȠȐȎ Ș ȫșȓȘȠȞȜțȡ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ Ȗ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȝșȜȠțȜȟȠȪȬ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ. ȋȠȜ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȕȎ ȟȥȓȠ ȕȎȘȞȓȝșȓțȖȭ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ țȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȭȣ, ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȘȜȠȜȞȩȣ ȐȩȟȜȘȎ.

ǽȜȟșȓȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȜȒșȜȔȘȖSiC ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȥȎȟȠȖȥțȜȓȡȒȎșȓțȖȓȞȎȕȡȝȜȞȭȒȜȥȓțțȜȑȜȟșȜȭȖȟțȖȔȓțȖȓȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣȟȜȟȠȜȭțȖȗ. ǽȞȖȫȠȜȚȜȟșȎȏșȭȓȠȟȭȕȎȘȞȓȝșȓțȖȓȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ, Ȗ ȝȜȟȘȜșȪȘȡ ȞȎȏȜȠȎ ȐȩȣȜȒȎ Ti (4.1 ȫǰ) ȚȓțȪȦȓ ȟȞȜȒȟȠȐȎ Ș ȫșȓȘȠȞȜțȡ 6H-SiC (4.7 ȫǰ), ȘȜțȠȎȘȠ ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȚ.

ǮțȎșȜȑȖȥțȩȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȏȩșȖ ȝȜșȡȥȓțȩ Ȑ [64] ȝȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȐ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȝȓȞȓȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-n-6H-SiC (ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȣ ȒȜțȜȞȜȐ _5¸1017 ȟȚ 3), Ȏ ȖȚȓțțȜ ȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȟ ȐȩȟȜȠȜȗȏȎȞȪȓȞȎȆȜȠȠȘȖ0.65 ȫǰȖȜȚȖȥȓȟȘȖȓȘȜțȠȎȘȠȩ ȟȡȒȓșȪțȩȚȝȓȞȓȣȜȒțȩȚȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȚ_6¸10 3 ǼȚ¸ȟȚ2 ȏȓȕȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞ. ȋȠȖ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȘȜȞȞȓșȖȞȡȬȠ ȟKB ȖRC, ȝȜșȡȥȓțțȩȚȖ ȝȜȟșȓ ȋǹǼ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ n-6H-SiC ȝȓȞȓȒ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȓȗ Ti, ȖȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȬȠȟȝȞȎȐȓȒșȖȐȜȟȠȪȞȎȟȥȓȠȜȐ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȣ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [65], ȐȘȜȠȜȞȜȗȝȜȘȎȕȎțȜ, ȥȠȜȝȞȖȝșȜȠțȜȟȠȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	433

ȟȜȟȠȜȭțȖȗ -1012 ȟȚ 2 ȫǰ 1 ȘȜțȠȎȘȠ Ti-n-6H-SiC (ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȖȜțȖȕȖȞȜȐȎțțȩȣ ȒȜțȜȞȜȐ 1016 ȟȚ 3) ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȚ.

2.3.4. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗ Ȗ ȫșȓȘȠȞȜȖȟȘȞȜȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȜȘ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ p-6H-SiC

ǺȓȠȜȒȩȫșȓȘȠȞȜȖȟȘȞȜȐȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȘȎȞȏȖȒȎȘȞȓȚ- țȖȭȝȓȞȓȒȓȓȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȓȗȖȫșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȜȗȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗȝȜȟ- șȓ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ ȏȩșȖ ȝȞȖȚȓțȓțȩ Ȑ [60] Ȓșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎȘȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎȚp-6H-SiC ȟȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗȎȘȤȓȝȠȜȞțȜȗ ȝȞȖȚȓȟȖ 1018 ȟȚ 3, ȐȩȞȎȧȓțțȩȚ ȝȜ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ǹȋȀǶ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ. ǽȜȟșȓ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȥȖȟȠȘȖ țȎ (0001) ȑȞȎțȪ p-6H-SiC ȞȓȕȖȟȠȖȐțȩȚ țȎȝȩșȓțȖȓȚ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ ȝȜȒșȜȔȘȖ 300°ǿ țȎțȜȟȖșȖȟȪ ȝșȓțȘȖ ȎșȬȚȖțȖȭ Ȗ ȠȖȠȎțȎ Ȝȏȧȓȗ ȠȜșȧȖțȜȗ 0.2 ȚȘȚ. ǼȠțȜȦȓțȖȓ ȠȜșȧȖț Ti/Al ȝȜȒȏȖȞȎșȜȟȪ ȟ ȡȥȓȠȜȚ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ Ȓșȭ ȜȏȓȟȝȓȥȓțȖȭ ȜȠțȜȦȓțȖȭ 90/10 ȎȠ.%. ǸȜțȠȎȘȠțȩȓ ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȓȗ. ǼȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȟȜȕȒȎȐȎșȖȟȪ ȝȞȓȒȐȎȞȖȠȓșȪțȜ țȎ (0001) ȑȞȎțȖ n-6H-SiC.

ǶȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȚȓȠȜȒȎȚȖȜȝȠȖȥȓȟȘȜȗȖȎȠȜȚțȜ-ȟȖșȜȐȜȗȚȖȘȞȜȟȘȜ- ȝȖȖȝȜȘȎȕȎșȖ, ȥȠȜȝȜșȡȥȓțțȩȓȘȜțȠȎȘȠȩȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭȜȒțȜȞȜȒțȜȗ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȓȗ ȚȓȠȎșșȖȕȖȞȜȐȎțțȜȗ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ, ȜȏȓȟȝȓȥȓțțȜȗ ȚȓșȘȜȒȖȟȝȓȞȟțȜȗȝȜșȖȘȞȖȟȠȎșșȖȥȓȟȘȜȗȟȠȞȡȘȠȡȞȜȗȝșȓțȘȖȠȖȠȎțȎ. ǿȞȓȒțȓȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȎȭ ȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȪ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ _21.3 țȚ.

ȅȎȟȠȪ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȟ ȘȜțȠȎȘȠȎȚȖ Ti-Al-p-6H-SiC ȝȜȒȐȓȞȑȎșȎȟȪ ȋǹǼ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ _1000°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 10 ȟ. ǿȠȞȡȘȠȡȞțȎȭ ȟȣȓȚȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȟ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓȚ ȋǹǼ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 2.19.

ǽȜȟșȓ ȋǹǼ ȝșȓțȘȎ ȠȖȠȎțȎ ȟȠȎțȜȐȖȠȟȭ ȘȞȡȝțȜȕȓȞțȖȟȠȜȗ, ȟȞȓȒțȓȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȎȭȦȓȞȜȣȜȐȎȠȜȟȠȪȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭȒȜ 50.6 țȚ. ǰ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ ȝȜȭȐșȭȬȠȟȭ ȐȘșȬȥȓțȖȭ ȟ șȎȠȓȞȎșȪțȩȚȖ ȞȎȕȚȓȞȎȚȖ ȒȜ 2 3 ȚȘȚ.

ǻȎȥȎȟȠȖȜȏȞȎȕȤȜȐȒșȭȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭȐșȖȭțȖȭȫșȓȘȠȞȜȖȟȘȞȜȐȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȝȓȞȓȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȝȞȜȐȜȒȖșȎȟȪ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȎșȬȚȖțȖȓȐȩȚ ȕȜțȒȜȚ ȒȖȎȚȓȠȞȜȚ 0.25 ȚȚ, ȖȚȝȡșȪȟȎȚȖ ȞȎȕșȖȥțȜȗ ȝȜșȭȞțȜȟȠȖ ȟ ȫțȓȞȑȖȓȗ ȝȜȞȭȒȘȎ 10 2 DzȔ. ǽȜȟșȓ ȋǶǼ ȜȏȞȎȕȤȩ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪ ȣȖȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȥȖȟȠȘȓ Ȓșȭ ȡȒȎșȓțȖȭ ȜȘȖȟșȜȐ Ȗ ȝȞȜȒȡȘȠȜȐ ȞȎȕșȜȔȓțȖȭ. ǸȜțȠȎȘȠȩ Ti-Al (90/10 ȎȠ.%) ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȖȟȪ ȝȜ ȜȝȖȟȎțțȜȗ ȐȩȦȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ. DzȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȗ

434 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.19. ǿȠȞȡȘȠȡȞțȎȭ ȟȣȓȚȎ ȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȋǹǼ

ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȓȜȏȞȎȕȤȩțȓȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪ. ǿȣȓȚȎȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-Al-p-6H-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ ȋǶǼ ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 2.20.

ǼȘȎȕȎșȜȟȪ, ȥȠȜ ȝȞȖ ȋǶǼ ȟ ȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȩȚ ȝȜȠȓțȤȖȎșȜȚ țȎ ȫșȓȘȠȞȜȒȓ ȝȞȜȖȟȣȜȒȖȠ ȫȞȜȕȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȟ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎ-

ǾȖȟ.2.20.ǿȠȞȡȘȠȡȞțȎȭȟȣȓȚȎȠȓȣțȜșȜȑȖȥȓȟȘȜȑȜȝȞȜȤȓȟȟȎȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȘȜțȠȎȘ- ȠȜȐTi-Al-p-6H-SiC ȚȓȠȜȒȜȚȋǶǼ

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	435

ǾȖȟ. 2.21. – ǰǮȃ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-Al-p-6H-SiC: 1 – ȘȜțȠȞȜșȪțȩȓ; 2 – ȝȜȟșȓ ȋǶǼ Al ȫșȓȘȠȞȜȒȜȚ, țȎ ȫșȓȘȠȞȜȒȓ / /; 3 – ȝȜȟșȓ ȋǶǼ Al ȫșȓȘȠȞȜȒȜȚ, țȎ ȫșȓȘȠȞȜȒȓ /+/; 4 –ȝȜȟșȓ ȋǹǼ

țȖȓȚ ȞȎȕȐȖȠȜȑȜ ȞȓșȪȓȢȎ, ȟȜȟȠȜȭȧȓȑȜ Ȗȕ ȝȓȞȓȘȞȩȐȎȬȧȖȣȟȭ ȒȞȡȑ ȟ ȒȞȡȑȜȚȫȞȜȕȖȜțțȩȣșȡțȜȘ, ȘȎțȎșȜȐȝȞȜȏȜȭȖȠȞȓȧȖț, ȚȜȞȢȜșȜȑȖȭȖ ȟȠȞȡȘȠȡȞȎ ȘȜȠȜȞȩȣ ȕȎȐȖȟȭȠ ȜȠ ȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȗ ȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ, Ȏ ȑșȡȏȖțȎ ȝȞȓȐȩȦȎȓȠ 1 ȚȘȚ.

ǽȞȖ ȋǶǼ ȟ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȩȚ ȝȜȠȓțȤȖȎșȜȚ țȎ ȫșȓȘȠȞȜȒȓ ȝȞȜȤȓȟȟ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȓțțȜȗȫȞȜȕȖȓȗȚȎȠȓȞȖȎșȎȫșȓȘȠȞȜȒȎ. ǹȡțȘȖțȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȝȜȒșȜȔȘȖȚȓșȘȖȓȖțȓȝȓȞȓȘȞȩȐȎȬȠȟȭȒȞȡȑȟ ȒȞȡȑȜȚ. ȂȜȞȚȎșȡțȜȘțȓȕȎȐȖȟȖȠȜȠȘȞȖȟȠȎșșȜȑȞȎȢȖȥȓȟȘȜȗȜȞȖȓțȠȎȤȖȖ, ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȓȠȟȭ ȝșȜȟȘȖȚ ȒțȜȚ Ȗ ȑșȡȏȖțȜȗ ȝȜȞȭȒȘȎ 400 țȚ.

ǵȎȘȜțȜȚȓȞțȜȟȠȖ ȖȕȚȓțȓțȖȭ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ, ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ Ȗ ȢȎȕȜȐȜȑȜ ȟȜȟȠȎȐȎȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȗȜȏșȎȟȠȖȝȜȒșȜȔȘȖp-6H-SiC ȝȜȟșȓȋǶǼȎțȎșȜȑȖȥțȩ ȝȜȒȜȏțȩȚ ȖȕȚȓțȓțȖȭȚ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȝȜȒșȜȔȓȘ n-6H-SiC [50].

ǰǮȃȘȜțȠȎȘȠȜȐ, ȖȕȚȓȞȓțțȩȓțȎȘȜțȠȞȜșȪțȩȣȜȏȞȎȕȤȎȣ, ȎȠȎȘȔȓ țȎ ȜȏȞȎȕȤȎȣ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ Ȗ ȋǹǼ, ȝȞȖȐȓȒȓțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.21. Ƕȕ ȟȞȎȐțȓțȖȭ ǰǮȃ ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȘȜțȠȎȘȠȩ țȎ ȘȜțȠȞȜșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȎȣ ȭȐșȭȬȠȟȭ ȏȎȞȪȓȞțȩȚȖ. ǻȎ ȝȜȒșȜȔȘȎȣ ȝȜȟșȓ ȋǶǼ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȭȐșȭȬȠȟȭ țȓȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȚȖ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ ȕțȎȘ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ țȎ ȫșȓȘȠȞȜȒȓ țȓȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȐșȖȭȓȠ țȎ ȐȓșȖȥȖțȡ RC (6¸10 1 ǼȚ¸ȟȚ2 ȝȞȖ ȜȠȞȖȤȎȠȓșȪțȜȚ ȝȜȠȓțȤȖȎșȓ Ȗ 8¸10 1 ǼȚ¸ȟȚ2 ȝȞȖ ȝȜșȜȔȖȠȓșȪțȜȚ).

ȁȥȖȠȩȐȎȭȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȓȜȠșȖȥȖȭȚȜȞȢȜșȜȑȖȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖȝȜȒșȜȔȘȖ, ȚȜȔțȜȝȞȓȒȝȜșȜȔȖȠȪ, ȥȠȜȜȟțȜȐțȜȗȝȞȖȥȖțȜȗȐșȖȭțȖȭ ȋǶǼ țȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC ȭȐșȭȓȠȟȭ ȐȐȓȒȓțȖȓ ȒȓȢȓȘȠȜȐ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȡȬ ȜȏșȎȟȠȪ ȝȜȒșȜȔȘȖ Ȗ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓ ȑȓțȓȞȎȤȖȜțțȜ-Ȟȓ- ȘȜȚȏȖțȎȤȖȜțțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȕȎȝȞȓȧȓțțȜȗ ȕȜțȓ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ.

ȋșȓȘȠȞȜțțȜ-șȡȥȓȐȎȭ ȜȏȞȎȏȜȠȘȎ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ti-Al-p-6H-SiC ȟȜȝȞȜȐȜȔȒȎȓȠȟȭ ȟțȖȔȓțȖȓȚ ȡȒȓșȪțȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ

436 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

(ȒȜ 2¸10 2 ǼȚ¸ȟȚ2), ȥȠȜ ȟȐȭȕȎțȜ, Ȑ ȜȟțȜȐțȜȚ, ȟ ȝȜȒșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȑȜ ȟșȜȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ SiC ȎșȬȚȖțȖȓȚ.

ǽȜșȡȥȓțțȩȓ ȐȓșȖȥȖțȩ RC, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ ȚȜȞȢȜșȜȑȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȟȜȐȝȎȒȎȬȠ ȟ ȒȎțțȩȚȖ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȚȖ Ȑ ȞȎȏȜȠȎȣ [66 68] Ȓșȭ ȎțȎșȜȑȖȥțȜȑȜ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ Ti Ȗ Al, Ȗ ȡȘȎȕȩȐȎȬȠ țȎ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜȟȠȪ ȜȝȠȖȚȖȕȎȤȖȖ ȞȓȔȖȚȜȐ ȋǹǼ Ȗ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȭ Ti Ȗ Al.

2.3.5. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȖȚȝȡșȪȟțȜȑȜ șȎȕȓȞțȜȑȜ ȖȕșȡȥȓțȖȭ

ǹȎȕȓȞțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȜȠșȖȥȎȓȠȟȭȜȠȒȞȡȑȖȣȚȓȠȜȒȜȐȫȘȟȝȞȓȟȟțȜȟȠȪȬ, ȚȎșȩȚȞȎȕȚȩȠȖȓȚȑȞȎțȖȤȩ ȞȎȕȒȓșȎ ȚȓȠȎșș–ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘ, ȐȩȟȜȘȜȗ ȞȎȟȠȐȜȞȖȚȜȟȠȪȬ șȓȑȖȞȡȬȧȓȗ ȝȞȖȚȓȟȖ. ǰ ȝȜȟșȓȒțȖȓ ȑȜȒȩ ȝȞȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȖ țȖȕȘȜȜȚțȩȣ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȘȘȎȞȏȖȒȡȘȞȓȚțȖȭȝȜșȡȥȖșȖȞȎȕȐȖȠȖȓȚȓȠȜȒȩ șȎȕȓȞțȜȗȎȏșȭȤȖȖȖșȎȕȓȞțȜȑȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ, ȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬȘȜȠȜȞȩȣ ȭȐșȭȓȠȟȭȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓțȓȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȣȘȜțȠȎȘȠȜȐȏȓȕȒȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȗȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȖ. ǽȜșȎȑȎȭ, ȥȠȜȚȓȠȜȒȩȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗȒȖȢȢȡȕȖȖ Ȗ ȖȜțțȜȑȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȜȠȔȖȑȜȚ, Ȓșȭ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȠȜțȘȜȑȜ ȟȖșȪțȜșȓȑȖȞȜȐȎțțȜȑȜ n+-ȟșȜȭ Ȑ ȘȎȞȏȖȒȓ ȘȞȓȚțȖȭ țȓȝȞȖȑȜȒțȩ Ȑ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȝȜșȓȐȩȣ ȠȞȎțȕȖȟȠȜȞȜȐ țȎ ȜȟțȜȐȓ SiC Ȗȕ-ȕȎ ȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟȎ (.900°ǿ), ȎȐȠȜȞȩ [69] ȞȎȕȞȎȏȜȠȎșȖ țȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȗ șȎȕȓȞțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ n+-ȟșȜȭȐSiC ȒșȭȟȜȕȒȎțȖȭțȎȓȑȜȜȟțȜȐȓȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜȘȜțȠȎȘȠȎ. ǰȞȎȏȜȠȓ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ KrF ȫȘȟȖȚȓȞțȩȗ șȎȕȓȞ țȎ ȒșȖțȓ ȐȜșțȩ 248 țȚ, ȝșȜȠțȜȟȠȪ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ ȟȜȟȠȎȐșȭșȎ 1 DzȔ/ȟȚ2, ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪ ȖȚȝȡșȪȟȎ20 țȟ, ȖȟȝȎȞȓțȖȓNi ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȜȟȪȐȐȎȘȡȡȚȓ2¸10 6 ȀȜȞȞ țȎ ȝȜȒșȜȔȘȡ n-6H-SiC, șȓȑȖȞȜȐȎțțȡȬ ȎȕȜȠȜȚ ȒȜ 1018 ȟȚ 3, ȥȓȞȓȕ ȚȎȟȘȡȟȜȠȐȓȞȟȠȖȭȚȖȒȖȎȚȓȠȞȜȚ0.8 ȚȚ. DzșȭȟȞȎȐțȓțȖȭȘȜțȠȎȘȠțȩȗ n+-ȟșȜȗ ȟȜȕȒȎȐȎșȟȭ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗ Ni Ȑ ȎȠȚȜȟȢȓȞȓ ȎȞȑȜțȎ ȝȞȖ Ȁ=1000°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 500 ȟ.

ǰǮȃ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȜȏȜȖȣ ȠȖȝȜȐ ȝȜȘȎȕȎțȩ țȎ ȞȖȟ. 2.22. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȜȠ ȞȎȟȟȠȜȭțȖȭ ȚȓȔȒȡ ȫșȓȘȠȞȜȒȎȚȖ ȝȞȖȐȓȒȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 2.23. ǰǮȃ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȜȏȜȖȣ ȠȖȝȜȐ șȖțȓȗțȩ, Ȏ ȐȓșȖȥȖțȎ RC ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȜȑȜ șȎȕȓȞțȩȚȚȓȠȜȒȜȚ, ȞȎȐțȎȭ1.26¸10 2 ǼȚ¸ȟȚ2, ȐȟȓȑȜșȖȦȪȐ1.08 ȞȎȕȎ ȐȩȦȓ ȥȓȚ RC ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȜȚ ȠȓȞ-

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	437

ǾȖȟ. 2.22. ǰǮȃ ȒȐȡȣ Ni ȫșȓȘȠȞȜȒȜȐ țȎ SiC ȝȜȒșȜȔȘȓ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȚ șȎȕȓȞțȜȑȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ (Ȝ) Ȗ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ (+) [69]

ȚȖȥȓȟȘȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ, ȣȜȠȭ ȫȠȖ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩ țȎ 1.5 2 ȝȜȞȭȒȘȎ ȐȩȦȓ ȖȕȐȓȟȠțȩȣ Ȑ șȖȠȓȞȎȠȡȞȓ [3, 70].

ǼȒțȎȘȜ ȎȐȠȜȞȩ ȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜ ȑșȎȐțȩȚ ȒȜȟȠȜȖțȟȠȐȜȚ ȝȞȓȒșȜȔȓțțȜȑȜ șȎȕȓȞțȜȑȜ ȚȓȠȜȒȎ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȠȜ, ȥȠȜ ȜȚȖȥȓȟȘȖȗ ȘȜțȠȎȘȠ ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎț ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ, ȏȓȕ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȑȜ ȠȓȞȚȜȜȠȔȖȑȎ.

ǺȓȠȜȒȜȚ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȞȓȕȓȞȢȜȞȒȜȐȟȘȜȑȜ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ Ȑ ȜȏȞȎȕȤȎȣ ȜȏȜȖȣ ȠȖȝȜȐ ȏȩșȎ ȜȝȞȓȒȓșȓțȎ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȭ ȎȠȜȚȜȐ țȖȘȓșȭ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ. ǼțȎ ȟȜȟȠȎȐȖșȎ 3.7¸1021 ȟȚ 3 (șȎȕȓȞțȩȗ ȚȓȠȜȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭȘȜțȠȎȘȠȜȐ) Ȗ4.6¸1021 ȟȚ 3 (ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȎ). DZșȡȏȖțȎ ȕȎșȓȑȎțȖȭ n+-ȟșȜȭ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȜȑȜ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ

ǾȖȟ. 2.23. ǶȕȚȓȞȓțțȩȓȘȜțȠȎȘȠțȩȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ ȫșȓȘȠȞȜȒȜȐ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȣȚȓȠȜȒȜȚșȎȕȓȞțȜȑȜșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ(Ȝ) ȖȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȚ ȚȓȠȜȒȜȚ (+) [69]

438 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 2.24. ǽȞȜȢȖșȖ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ni-n-6H-SiC ȖȕȚȓȞȓțțȩȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȞȓȕȓȞȢȜȞȒȜȐȟȘȜȑȜ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ [69]

ȜȠȔȖȑȎ ȝȞȖ Ȁ= 1000°ǿ (500 ȟ), ȟȜȟȠȎȐȖșȎ _350 țȚ, ȥȠȜ Ȑ 2.3 ȞȎȕȎ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ Ȑ șȎȕȓȞțȜȚ ȚȓȠȜȒȓ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ, ȘȎȘ ȟșȓȒȡȓȠ Ȗȕ ȝȞȜȢȖșȓȗ ȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ(ȞȖȟ. 2.24), ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȗȟșȜȗ SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțțȩȗșȎȕȓȞțȩȚșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȚțȖȘȓșȓȚ, ȜȘȎȕȎșȟȭțȓȟȠȓȣȖȜȚȓȠȞȖȥțȩȚȖȜȏȜȑȎȧȓțțȩȚȘȖȟșȜȞȜȒȜȚ. ǽȜȟșȓȒțȓȓȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȜ, ȝȜ ȚțȓțȖȬ ȎȐȠȜȞȜȐ, ȟȝȜȟȜȏȟȠȐȜȐȎșȜ ȡȐȓșȖȥȓțȖȬ ȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȭ. ǻȓȟȚȜȠȞȭțȎȫȠȜ, ȚȓȠȜȒȝȜșȡȥȖșȒȎșȪțȓȗȦȓȓȞȎȕȐȖȠȖȓ Ȑ ȞȎȏȜȠȓ [71], ȑȒȓ ȜȚȖȥȓȟȘȖȗ ȘȜțȠȎȘȠ ȟȜȕȒȎț Ș n-6H-SiC ȚȓȠȜȒȜȚ șȎȕȓȞțȜȗȎȏșȭȤȖȖȖșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭȟȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚKrF ȫȘȟȖȚȓȞțȜȑȜ ȖȚȝȡșȪȟțȜȑȜ șȎȕȓȞȎ. ǼȚȖȥȓȟȘȖȗ ȘȜțȠȎȘȠȟRC x1 2¸10 2 ǼȚ¸ȟȚ2 ȟȜȕȒȎț țȎ ȜȟțȜȐȓ W-ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ [72], W-Ti ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ș n-6H-SiC Ȗ Al-Ti-ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ Ș p-6H-SiC. ǮȐȠȜȞȩ [73] ȝȞȓȒșȜȔȖșȖ ȚȓȠȜȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ș n-6H-SiC (nx4.2¸1018 ȟȚ 3) ȝȡȠȓȚ șȎȕȓȞțȜȗ ȜȏȞȎȏȜȠȘȖ ȠȖȠȎțȜȐȜȗ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȖ șȎȕȓȞȜȚ YAG țȎ ȒșȖțȓ ȐȜșțȩ 1.06 µm Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 8 țȟ Ȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȫțȓȞȑȖȖ ȖȕșȡȥȓțȖȭ 30 DzȔ/ȟȚ2 ȐȜȠȟȡȠȟȠȐȖȓ ȞȎȕȜȑȞȓȐȎȜȏȞȎȕȤȎ. ǰȓșȖȥȖțȎ RC ȝȞȖ ȫȠȜȚ ȟȜȟȠȎȐȖșȎ 4¸10 5 ǼȚ¸ȟȚ2.

ǰ [74] ȏȩș ȞȎȕȞȎȏȜȠȎț ȚȓȠȜȒ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș ȘȎȞȏȖȒȡ ȘȞȓȚțȖȭ ȝ- Ȗ Ȟ-ȠȖȝȜȐ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ, ȜȟțȜȐȎțțȩȗ țȎ șȎȕȓȞțȜȗ ȎȏșȭȤȖȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗ ȓȓ ȚȓȠȎșșȖȕȎȤȖȓȗ ȝȡȠȓȚ ȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎ (Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎ n-SiC – ȚȓȒȖ ȖșȖ țȖȘȓșȭ) Ȗȕ ȟȠȎțȒȎȞȠțȜȑȜ ȞȎȟȠȐȜȞȎ Ȓșȭ ȎȐȠȜȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȝȞȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 40 50°ǿȒșȭȚȓȒȖȖ90°ǿ ȒșȭțȖȘȓșȭ. DzȜȝȜșțȖȠȓșȪțȜȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȓȚȓȠȎșșȖȕȖȞȜȐȎțțȩȓ ȠȎȘȖȚ ȟȝȜȟȜȏȜȚ ȜȏȞȎȕȤȩ SiC țȓ ȝȜȒȐȓȞȑȎșȖȟȪ. ǶȟȣȜȒțȩȓ ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȩ n-SiC ȏȩșȖ șȓȑȖȞȜȐȎțȩ ȎȕȜȠȜȚ ȒȜ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȗ Ȑ ȖțȠȓȞȐȎșȓ 1017 1018 ȟȚ 3 Ȓșȭ ȞȎȕțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȗ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȩ ȢȖȞȚȜȗ

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	439

Cree Research Inc. Dzșȭ ȚȓȒțȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȐȓșȖȥȖțȎ RC ȟȜȟȠȎȐȖșȎ _2.5¸10 3 ǼȚ¸ȟȚ2, Ȓșȭ țȖȘȓșȓȐȜȑȜ _2.1¸10 3 ǼȚ¸ȟȚ2.

ǹȎȕȓȞțȎȭ ȎȏșȭȤȖȭ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖ SiC ȜȟȡȧȓȟȠȐșȭșȎȟȪ șȎȕȓȞȜȚ țȎ ȝȎȞȎȣȚȓȒȖȟȒșȖțȜȗȐȜșțȩ510,6 țȚ, ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪȬȖȚȝȡșȪȟȎ10 țȟ, ȥȎȟȠȜȠȜȗȝȜȐȠȜȞȓțȖȭ8 ȘDZȤȖȝșȜȠțȜȟȠȪȬȫțȓȞȑȖȖ10 20 DzȔ/ȟȚ2 țȎȐȜȕȒȡȣȓ, Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ _10 1 ȀȜȞȞ Ȗ ȝȜȒ ȟșȜȓȚ ȒȖȟȠȖșșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȐȜȒȩ.

ǼȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ ȝȡȠȓȚ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎ țȎ ȎȏșȖȞȜȐȎț- țȡȬȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪȏȩșȖȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȩȖțȎȘȎȞȏȖȒȓȘȞȓȚțȖȭȞ-ȠȖȝȎ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ, șȓȑȖȞȜȐȎțțȜȚ ȎșȬȚȖțȖȓȚ ȒȜ 1017 ȟȚ 3 Ȓșȭ ȞȎȕțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ. ǼȒțȎȘȜȖȕȚȓȞȓțțȎȭȐȓșȖȥȖțȎRC ȐȫȠȜȚȟșȡȥȎȓȜȘȎȕȎșȎȟȪ țȎ țȓȟȘȜșȪȘȜ ȝȜȞȭȒȘȜȐ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ Ȓșȭ n-SiC.

ǮȐȠȜȞȩ [74] ȟȥȖȠȎȬȠ, ȥȠȜ ȖțȠȓțȟȖȐțȜȓ ȜȟȎȔȒȓțȖȓ ȚȓȠȎșșȎ țȎ ȎȏșȖȞȜȐȎțțȡȬ Ȑ ȐȜȕȒȡȣȓ ȖșȖ ȐȎȘȡȡȚȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ SiC ȜȏȡȟșȜȐșȓțȜ țȎșȖȥȖȓȚ țȎ ȝȜȟșȓȒțȓȗ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ Ȑ ȐȖȒȓ țȎțȜȥȎȟȠȖȤ Si Ȗ ȜȏșȎȟȠȓȗ ȟ ȜȟȠȎȠȜȥțȩȚȖ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȚȖ țȎȝȞȭȔȓțȖȭȚȖ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ țȓȘȜȠȜȞȜȓ ȘȜșȖȥȓȟȠȐȜ țȎțȜȥȎȟȠȖȤ Si ȟ ȞȎȕȚȓȞȜȚ 10 20 țȚ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ șȖȦȪ țȎ țȎȥȎșȪțȜȚ ȫȠȎȝȓ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȕȎȠȞȎȐȜȥțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ, ȝȜȟșȓ ȥȓȑȜ ȝȞȜȤȓȟȟ ȝȜȒȒȓȞȔȖȐȎȓȠȟȭ ȎȐȠȜȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȖ. ǯȜșȓȓ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȎ ȞȜșȪ ȜȟȠȎȠȜȥțȩȣ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎȐȦȖȣȟȭ Ȑ ȝȞȖȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȜȚ ȟșȜȓ SiC Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ șȎȕȓȞțȜȗ ȎȏșȭȤȖȖ. ȁȞȜȐȓțȪ ȫȠȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ ȜȘȎȕȩȐȎȓȠȟȭ ȒȜȟȠȎȠȜȥțȩȚ, ȥȠȜȏȩ ȜȟȡȧȓȟȠȐȖȠȪ ȖȕȑȖȏ ȕȜțȩ ȝȞȜȐȜȒȖȚȜȟȠȖ ȒȜ ȡȞȜȐțȭ ȂȓȞȚȖ Ȗ ȝȓȞȓȟȓȥȪ ȡȞȜȐȓțȪ ȝȜȠȓțȤȖȎșȎ ȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎȖȕȞȎȟȠȐȜȞȎȒșȭȎȐȠȜȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜȜȟȎȔȒȓțȖȭ(ȞȖȟ. 2.25). ǽȜȟșȓȒțȓȓ ȜȏȟȠȜȭȠȓșȪȟȠȐȜ ȜȏȡȟșȜȐșȖȐȎȓȠ țȎșȖȥȖȓ ȐȏșȖȕȖ ȡȞȜȐțȭ

ǾȖȟ. 2.25. ȁȝȞȜȧȓțțȎȭ ȟȣȓȚȎ ȡȞȜȐțȓȗȒȜțȜȞțȜȑȜSiC, țȎȣȜȒȭȧȓȑȜȟȭ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȓ ȟ ȞȎȟȠȐȜȞȜȚ Ȓșȭ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎ: ȦȠȞȖȣȜȐȎȭ ȘȞȖȐȎȭ – ȖȟȘȞȖȐșȓțȖȓ ȕȜțȩ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȎ ȝȜȒ ȒȓȗȟȠȐȖȓȚ ȚȓȣȎțȖȥȓȟȘȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȗ; EF – ȡȞȜȐȓțȪȂȓȞȚȖ; UF – ȝȜȠȓțȤȖȎșȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȭȚȓȠȎșșȎȖȕ ȞȎȟȠȐȜȞȎȒșȭȎȐȠȜȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ; EW=0 – ȡȞȜȐȓțȪ ȐȎȘȡȡȚȎ [74]

440 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȭ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȫșȓȘȠȞȜțțȩȣ ȟȜȟȠȜȭțȖȗ Ȗ țȎȥȎșȪțȩȗ ȝȞȜȤȓȟȟ ȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȭ ȚȓȠȎșșȎ Ȗȕ ȞȎȟȠȐȜȞȎ. ǽȞȖ ȫȠȜȚ, ȜȝȖȞȎȭȟȪ țȎ ȎțȎșȖȕ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȒȎțțȩȣ, ȎȐȠȜȞȩ [74] ȝȜșȎȑȎȬȠ, ȥȠȜ ȜȚȖȥȓȟȘȖȚȖ ȟȐȜȗȟȠȐȎȚȖ ȜȏșȎȒȎȓȠ ȟȎȚȎ ȎȏșȖȞȜȐȎțțȎȭ (țȓȚȓȠȎșșȖȕȖȞȜȐȎțțȎȭ) ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȪ SiC.

ǻȎȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȖSiC, ȎȏșȖȞȜȐȎțțȜȗȝȜȒȟșȜȓȚȒȖȟȠȖșșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȐȜȒȩ, Ȗȕ-ȕȎ ȚȓțȪȦȓȗ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠțȩȣ ȎȘȠȖȐțȩȣ ȤȓțȠȞȜȐ ȐȜȟȟȠȎțȜȐșȓțȖȓ ȚȓȠȎșșȎ Ȗȕ ȞȎȟȠȐȜȞȎ Ȓșȭ ȎȐȠȜȘȎȠȎșȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȜȟȎȔȒȓțȖȭ ȖȒȓȠ ȚȓȒșȓțțȓȓ, ȥȓȚ Ȑ ȟșȡȥȎȓ ȝȜȐȓȞȣțȜȟȠȓȗ SiC, ȎȏșȖȞȜȐȎțțȩȣ țȎ ȐȜȕȒȡȣȓ ȖșȖ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ.

ǼȒțȎȘȜ, ȘȎȘ Ȗ Ȑ [69, 71], ȐȓșȖȥȖțȩ RC, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC ȚȓȠȜȒȜȚ șȎȕȓȞțȜȗ ȎȏșȭȤȖȖ, ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȐȩȦȓ, ȥȓȚȝȞȖȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖȠȞȎȒȖȤȖȜțțȩȣȚȓȠȜȒȜȐ. ǿȜȐȓȞȦȓțȟȠȐȜȐȎțȖȓ ȚȓȠȜȒȎ ȎȐȠȜȞȩ [74] ȐȖȒȭȠ Ȑ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ șȎȕȓȞȜȐ ȟ ȒșȖțȜȗ ȖȕșȡȥȓțȖȭ Țȓțȓȓ 300 țȚ.

ǰ[75, 76] ȜȚȖȥȓȟȘȖȓ ȘȜțȠȎȘȠȩ Ș ȚȜțȜȘȞȖȟȠȎșșȎȚ n-B-SiC ȟ ȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗșȓȑȖȞȡȬȧȓȗȝȞȖȚȓȟȖ(ȎȕȜȠȎ) _2¸1018 ȟȚ 3 ȏȩșȖȟȜȕȒȎțȩ

ȚȓȠȜȒȜȚ șȎȕȓȞțȜȑȜ ȐȎȘȡȡȚțȜȑȜ țȎȝȩșȓțȖȭ ȟșȜȓȐ W-Si3N4-W-Ni țȎțȜ- ȚȓȠȞȜȐȜȗȠȜșȧȖțȩȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗșȎȕȓȞțȜ-ȟȠȖȚȡșȖȞȜȐȎțțȜȗȒȖȢ- ȢȡȕȖȓȗȖȜȠȔȖȑȜȚ. ǰȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȓȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭYAG șȎȕȓȞ(ȐȠȜȞȎȭ ȑȎȞȚȜțȖȘȎ) ȟ ȚȜȒȡșȖȞȜȐȎțțȜȗ ȒȜȏȞȜȠțȜȟȠȪȬ (ȒșȖțȎ ȐȜșțȩ 0.53 ȚȘȚ, ȒșȖȠȓșȪțȜȟȠȪ ȖȚȝȡșȪȟȎ 10 țȟ Ȗ ȫțȓȞȑȖȭ ȖȕșȡȥȓțȖȭ 0.05 DzȔ).

ǿșȜȗ Si3N4 ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȟȭ Ȑ ȘȎȥȓȟȠȐȓ ȖȟȠȜȥțȖȘȎ ȎȕȜȠȎ Ȓșȭ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭn+ ȝȞȖȘȜțȠȎȘȠțȜȑȜȟșȜȭSiC, ȎSi ȐȫȠȜȚȟșȜȓ – ȒșȭȘȜȚȝȓțȟȎȤȖȖ

ȖȟȝȎȞȭȬȧȓȑȜȟȭȘȞȓȚțȖȭȖȕSiC Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓșȎȕȓȞțȜȑȜȜȠȔȖȑȎ. ǰȓșȖȥȖțȎ RC ȝȜȟșȓșȎȕȓȞțȜȑȜȜȠȔȖȑȎȟȜȟȠȎȐȖșȎ3 5¸10 4 ǼȚ¸ȟȚ2 ȒșȭȞȎȕțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ Ȗ țȓ ȖȕȚȓțȭșȎȟȪ ȝȞȖ ȐȩȒȓȞȔȘȓ ȜȏȞȎȕȤȜȐ ȝȞȖ ȝșȜȠțȜȟȠȖ ȠȜȘȎ _4¸103 Ǯ¸ȟȚ 2 Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 100 ȥȎȟȜȐ.

ǰ[77] ȝȞȓȒȝȞȖțȭȠȎ ȝȜȝȩȠȘȎ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ș n-4H-SiC c n = 2¸1018 ȟȚ 3 ȝȡȠȓȚ ȖȚȝȡșȪȟțȜȑȜ șȎȕȓȞțȜȑȜ

țȎȝȩșȓțȖȭ ȟșȜȭ Ni2Si (99.9%) ȝȞȖ ȘȜȚțȎȠțȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ Ȑ ȐȎȘȡȡȚȓ 10 6 ȀȜȞȞ ȟ ȝȜȟșȓȒȡȬȧȓȗ ȏȩȟȠȞȜȗ ȠȓȞȚȜȜȏȞȎȏȜȠȘȜȗ ȝȞȖ

Ȁ= 700 Ȗ 950°ǿ Ȑ ȠȓȥȓțȖȓ 30 ȟ. ǶȟȣȜȒțȩȓ ȜȏȞȎȕȤȩ Ni2Si-n-4H-SiC Ȗ ȝȞȜȦȓȒȦȖȓ ǯȀǼ ȝȞȖ Ȁ= 700°ǿ ȖȚȓșȖ ȏȎȞȪȓȞțȩȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ. ǼȏȞȎȕȤȩ ȝȜȟșȓ ǯȀǼ ȝȞȖ 950°ǿ ȖȚȓșȖ șȖțȓȗțȩȓ ǰǮȃ, ȝȜ ȒȎțțȩȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗǼȔȓ-ȟȝȓȘȠȞȜȟȘȜȝȖȖ(ȞȖȟ. 2.26) – ȏȜșȓȓȞȓȕȘȡȬȑȞȎțȖȤȡ

ȞȎȕȒȓșȎ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȓ Ni2Si-n-4H-SiC, ȥȓȚ ȑȞȎțȖȤȎ ȞȎȕȒȓșȎ Ni2Si-n-SiC, ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎȐȦȎȭȟȭ Ȑ ȝȞȜȤȓȟȟȓ ǯȀǼ ȘȜțȠȎȘȠȎ Ni-n-SiC.

ȅȎȟȠȪ III, DZșȎȐȎ 2	441

ǾȖȟ. 2.26. ǽȞȜȢȖșȖȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭ ȘȜȚȝȜțȓțȠȜȐ Ȑ ȘȜțȠȎȘȠȓ Ni2Si-n-4H-SiC, ȖȕȚȓȞȓțțȩȓ ȚȓȠȜȒȜȚ ȫșȓȘȠȞȜțțȜȗ ǼȔȓ-ȟȝȓȘȠ- ȞȜȟȘȜȝȖȖ: (Ȏ) ȖȟȣȜȒțȩȗ ȘȜțȠȎȘȠ; (ȏ) ȜȠȜȔȔȓțțȩȗ ȝȞȖ 950°C [77]

Ƕȕ ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ ȒȎțțȩȣ ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ șȎȕȓȞțȩȣ ȚȓȠȜȒȜȐ Ȑ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȜȚȖȥȓȟȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȓȠ Ȝ ȞȓȎșȪțȜȗ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȖ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎțȖȭ țȓȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȣ ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ ȏȓȕ țȎȑȞȓȐȎ ȜȏȞȎȕȤȎ. ȋȠȜ, ȏȓȕȡȟșȜȐțȜ, ȭȐșȭȓȠȟȭȦȎȑȜȚȐȝȓȞȓȒȐȞȎȕȐȖȠȖȖțȖȕȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȣ ȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȐȠȓȣțȜșȜȑȖȖȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ. ǼȒțȎȘȜ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȩȚ țȓȒȜȟȠȎȠȘȜȚ ȠȎȘȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ Ȗȣ ȐȩȟȜȘȜȓ ȡȒȓșȪțȜȓ ȘȜțȠȎȘȠțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ. ǸȞȜȚȓ ȠȜȑȜ, ȜȠȟȡȠȟȠȐȡȓȠ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȭ Ȝȏ Ȗȣ ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȖ.

2.3.6. ǿȜȕȒȎțȖȓ ȜȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ ȟ ȝȜȚȜȧȪȬ ȞȎȒȖȎȤȖȜțțȜ-ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȑȜ ȐȜȕȒȓȗȟȠȐȖȭ

ǾȎȒȖȎȤȖȜțțȜ-ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȖȗ ȚȓȠȜȒ ȟȜȕȒȎțȖȭ țȓȐȩȝȞȭȚșȭȬȧȖȣ ȘȜțȠȎȘȠȜȐ Ș SiC ȝȞȖȐșȓȘȎȓȠ ȖȟȟșȓȒȜȐȎȠȓșȓȗ ȘȎȘ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜ