belyaev_a_e_konakova_r_v_red_karbid_kremniya_tehnologiya_svo

480 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǾȖȟ. 4.6. ǰȜșȪȠȎȚȝȓȞțȩȓȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȘȜȞȝȡȟȖȞȜȐȎțțȜȑȜ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȎ (ȠȜșȧȖțȎ i ȜȏșȎȟȠȖ _6 ȚȘȚ, ȒȖȎȚȓȠȞ – 80 ȚȘȚ), ȖȕȚȓȞȓțțȩȓȐȖțȠȓȞȐȎșȓȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ20 700°ǿ:Ȏ –ȝȞȭ- Țȩȓ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ, ȏ – ȜȏȞȎȠțȩȓ ȐȓȠȐȖ ǰǮȃ

ǰ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȖȖ ȟ (4.1) ȚȜȔțȜ ȕȎȘșȬȥȖȠȪ, ȥȠȜ țȎ ȐȓșȖȥȖțȡ Ri ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȐșȖȭȬȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȩȓ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ U Ȗ ȝȜȒȐȖȔțȜȟ-

ǾȖȟ. 4.7. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪ Rs 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȎ ȜȠ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ, ȖȕȚȓȞȓțțȎȭ țȎ ȥȎȟȠȜȠȓ 1 ǺDZȤ ȝȞȖ ȝȞȭȚȜȚ ȠȜȘȓ 40 ȚǮ (ȒȖȎȚȓȠȞ

80 ȚȘȚ) [28]

ȅȎȟȠȪ IV	481

ǾȖȟ. 4.8. ǽȓȞȓȘșȬȥȎȠȓșȪțȎȭ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȎ, ȖȕȚȓȞȓțțȎȭ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞ 20 700°ǿ (ȒȖȎȚȓȠȞ 80 ȚȘȚ) [28]

ȠȖ ȫșȓȘȠȞȜțȜȐ Ȗ ȒȩȞȜȘ Ȑ ȏȎȕȓ ȒȖȜȒȎ. ȋȢȢȓȘȠȖȐțȜȓ ȐȞȓȚȭ ȔȖȕțȖ țȓȜȟțȜȐțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ, ȘȜȠȜȞȜȓ ȎȐȠȜȞȩ [28] ȜȝȞȓȒȓșȖșȖ Ȗȕ ȜȠțȜȦȓțȖȭ ȕȎȞȭȒȎ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ Ș ȐȓșȖȥȖțȓ ȝȞȭȚȜȑȜ ȠȜȘȎ,

ȟȞȜȟȠȜȚȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȜȠ 20°ǿȒȜ 700°ǿȡȐȓșȖȥȖșȜȟȪȟ 7 țȟȒȜ 50 țȟ. ǸȎȘ ȖȕȐȓȟȠțȜ, ȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȪȟȞȜȟȠȜȚȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ. ǼȠȟȬȒȎȟșȓȒȡȓȠ, ȥȠȜȝȜȟȘȜșȪȘȡȐȖțȠȓȞȐȎșȓȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȠ 0°ǿȒȜ 200°ǿ ȐȓșȖȥȖțȎRs ȡȚȓțȪȦȎȓȠȟȭ– ȐȫȠȜȚȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȜȚȖțȠȓȞȐȎșȓȞȜȟȠU

ȟȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȜȗȜȝȓȞȓȔȎȓȠȡȚȓțȪȦȓțȖȓȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȖ. ǽȞȖȒȎșȪțȓȗȦȓȚ ȡȐȓșȖȥȓțȖȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ ȒȜ 700°ǿ ȝȞȓȐȎșȖȞȡȓȠ ȡȚȓțȪȦȓțȖȓ

ȝȜȒȐȖȔțȜȟȠȖ țȎȒ ȞȜȟȠȜȚ U Ȗ ȐȓșȖȥȖțȎ Rs ȐȜȕȞȎȟȠȎȓȠ. ȃȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭp-i-n ȒȖȜȒȎȟȝȞȭȚȜȑȜȠȜȘȎțȎ Ȝȏ-

ȞȎȠțȜȓțȎȝȞȭȔȓțȖȓȝȞȖȡȐȓșȖȥȓțȖȖȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩȜȠ 20°ǿȒȜ 700°ǿ ȝȜȘȎȕȎțȩ țȎȞȖȟ. 4.8. ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ ȐȓșȖȥȖțȎ ȜȏȞȎȠțȜȑȜȠȜȘȎȝȞȖ ȫȠȜȚȡȐȓșȖȥȖȐȎȓȠȟȭȟ 48 ȒȜ 110 ȚǮ, ȎȐȞȓȚȭȫȘȟȠȞȎȘȤȖȖțȓȜȟțȜȐțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȕȎȞȭȒȎ ȟ 15 ȒȜ 30÷ 50 țȟ. Ƕȕ ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ Ȑ [28] ȒȎțțȩȣ ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ ȚȜȑȡȠ ȏȩȠȪ ȞȎȏȜȠȜȟȝȜȟȜȏțȩȚȖ ȝȞȖ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȓ 700°ǿ. Dzșȭ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȞȎȏȜȥȎȭ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ țȓ ȏȜșȓȓ 120°ǿ [38].

ǰȠȎȏșȖȤȓ 4.3. ȝȞȖȐȓȒȓțȩ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȠȖȝȖȥțȩȣ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ Ȗ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȣ ǿǰȅ ȝȓȞȓȘșȬȥȎȬȧȖȣ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȐȩȝȡȟȘȎȓȚȩȣ ȐȓȒȡȧȖȚȖ ȚȖȞȜȐȩȚȖ ȢȖȞȚȎȚȖ (ǺǮ-ǿǼǺ [39], Microsemi [40], Microwave&RF [41] Ȗ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ, ȘȜȠȜȞȩȓ ȏȩșȖ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțȩ

ȐȝȞȜȓȘȠȓSfP 978011 «Microwave Switching Units Based on 4H-SiC p-i-n

Diodes (SICPIN)» [42]. Dzșȭ ȞȎȟȥȓȠȎ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȒȖȜȒȜȐ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȩ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȩȚȎȠȓȚȎȠȖȥȓȟȘȜȑȜȚȜȒȓșȖȞȜȐȎțȖȭ, ȎȠȎȘȔȓȚȜȒȓșȪ p-i-n ȒȖȜȒȎ ȝȞȖȐȓȒȓțțȎȭ Ȑ [43]. Dzșȭ ȟȞȎȐțȓțȖȭ ȐȩȏȞȎțȩ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȓ ȒȖȜȒȩ

ȀȎȏșȖȤȎ 4.3. ǿȞȎȐțȖȠȓșȪțȩȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȐȩȟȜȘȜȐȜșȪȠțȩȣ ǿǰȅ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ

			ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ		ȋșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȎȭ		ȀȓȚȝȓȞȎ-
			ȒȖȜȒțȜȗ				ȠȡȞțȎȭ	ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ
					ȝȞȜȥțȜȟȠȪ
	ȂȖȞȚȎ		ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ				ȟȠȜȗȘȜȟȠȪ
	ȝȞȜȖȕȐȜ-	ȀȖȝ			ǽȞȓȒȓșȪ-	ǺȎȘȟȖ-		ǰȞȓȚȭ
			ȀȜș-	DzȖȎ-	țȜȓ ȏșȜȘȖ-	ȚȎșȪțȜ	ǽȞȓȒȓșȪ-		ǰȞȓȚȭ
	ȒȖȠȓșȪ	ȒȖȜȒȎ Ȗ						ȔȖȕțȖ
			ȧȖțȎ	ȚȓȠȞ	ȞȡȬȧȓȓ	ȒȜȝȡȟ-	țȎȭ		ȝȓȞȓȘșȬȥȓ-
	(ȞȎȕȞȎ-	ȚȎȠȓȞȖȎș						țȓȜȟțȜȐ-
	ȏȜȠȥȖȘ)		I ȜȏșȎȟ-	ȘȜț-	țȎȝȞȭȔȓțȖȓ	ȠȖȚȎȭ	ȞȎȏȜȥȎȭ	țȩȣ	țȖȭ ǿǰȅ
			ȠȖ,	ȠȎȘȠȎ,	ȝȞȖ ȜȏȞȎȠ-	ǿǰȅ ȚȜȧ-	ȠȓȚȝȓȞȎ-		țȎ ȟȖȑțȎș,
								țȜȟȖȠȓșȓȗ
			ȚȘȚ	ȚȘȚ	țȜȚ ȠȜȘȓ	țȜȟȠȪ,	ȠȡȞȎ, °ǿ		țȟ
					Ik =10 ȚȘǮ, ǰ	ȘǰȠ		ȕȎȞȭȒȎ, țȟ
		MAUP						3000	6003
	ǺǮ-ǿǼǺ	604-131	100	300	1000	5	+ 175
								(IF= 10 ȚA)
		(Si)
		MAUC
	ǺǮ-ǿǼǺ	PO32	10	–	100	0.05	+ 150	25	19
		(GaAs)
	Microsemi	GCU490	100	–	1000	5	+ 175	1000	6003
		(Si)						(IF= 10 ȚA)
	Microwave	MPN7380	100	120	400	0.8	+ 150	1000	100
	& RF
	SfP978011	4H-SiC						30	20
	ǻǶǶ		6	160	1000	5	+ 500
		p-i-n diod						(IF= 50 ȚA)	(IF=50 ȚA)
	«ǼȞȖȜț»

	ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ Ȓșȭ		ȀȓȝșȜȐȩȓ ȜȑȞȎțȖȥȖȠȓșȪțȩȓ			ȀȓȝșȜȐȩȓ ȜȑȞȎțȖȥȖȠȓșȪțȩȓ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ
	ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ Ȗ
			ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ CW ȞȓȔȖȚȜȐ				Ȑ ȖȚȝȡșȪȟțȩȣ ȞȓȔȖȚȎȣ
	ȟȜȑșȎȟȜȐȎțȖȭ țȎ ǿǰȅ
				ǽȞȓ-			ȋȢȢȓȘ-
	ǽȜȟșȓȒȜȐȎ-						ȠȖȐțȜȓ	ǶȚȝȡșȪȟ-		ǽȞȓȒȓșȪ-
ȂȖȞȚȎ				ȒȓșȪțȜ	ǺȎȘȟȖ-	ȀȓȝșȜȐȜȓ
	ȠȓșȪțȜȓ	dzȚȘȜȟȠȪ					ȠȓȝșȜȐȜȓ			țȜ ȒȜȝȡȟ-
ȝȞȜȖȕȐȜ-	ȟȜȝȞȜȠȖȐ	p-n ȝȓȞȓ	ȀȓȝșȜ-	ȒȜȝȡȟ-	ȚȎșȪțȎȭ	ȟȜȝȞȜȠȖȐ-	ȟȜȝȞȜȠȖȐ-	țȎȭ ȚȜȧ-		ȠȖȚȎȭ
ȒȖȠȓșȪ	șȓțȖȓ	ȣȜȒȎ, ȝȂ	ȐȜȓ ȟȜ-	ȠȖȚȎȭ	țȓȝȞȓ-	șȓțȖȓ	șȓțȖȓ	țȜȟȠȪ		ȖȚȝȡșȪȟ-
								ȞȎȟȟȓȭ-
(ȞȎȕȞȎ-	p-i-n ȒȖȜȒȜȐ	(ȝȞȖ ȜȏȞȎȠ-	ȝȞȜȠȖȐ-	țȓȝȞȓ-	ȞȩȐțȎȭ	ȒȖȜȒȎ	ȒȖȜȒȎ	țȖȭ		țȎȭ
ȏȜȠȥȖȘ)	RC, ǼȚ	țȜȚ țȎȝȞȭ	șȓțȖȓ	ȞȩȐțȎȭ	ȘȜȚȚȡȠȖ-	Ȑ ȖȚ-	Ȑ ȖȚ-			ȚȜȧțȜȟȠȪ
								Pdp ǰȠ,
	(ȝȞȖ	ȔȓțȖȖ	2CW,	ȚȜȧ-	ȞȡȓȚȎȭ	ȝȡșȪȟțȜȚ	ȝȡșȪȟțȜȚ			PAF, ȘǰȠ
				țȜȟȠȪ	ȚȜȧ-	ȞȓȔȖȚȓ,		ȝȞȖ
	ȝȞȭȚȜȚ ȠȜȘȓ	VR= 10 (40,	°ǿ/ǰȠ	ȞȎȟȟȓ-	țȜȟȠȪ,	°ǿ/ǰȠ	ȞȓȔȖȚȓ,	UȞ= 1 ȚȘȟ		ȝȞȖ
	IF=20	50,100) ǰ		ȭțȖȭ	PAF, ǰȠ	UȞ= 1 ȚȘȟ	°ǿ/ǰȠ	DF= 0.05		UȞ= 1 ȚȘȟ
	(50,100 ȚǮ)						UȞ= 1 ȚȘȟ			DF= 0.05
				Pd, ǰȠ			DF= 0.05
ǺǮ-ǿǼǺ	1.0	0.30	15	10.3	515	0.74	1.5	87		4.3
	(IF= 100 ȚA)	(UR= 100 ǰ)
ǺǮ-ǿǼǺ	1.5	0.12	–	–	–	–	–	–		–
	(IF= 20 ȚA)	(UR= 100 ǰ)
Microsemi	1.5	0.10	30	5.2	173	–	–	–		–
	(IF= 100 ȚA)	(UR= 50 ǰ)
Microwave	1.5	0.08	30	4.3	143	5.5	7.0	19		0.62
& RF	(IF= 100 ȚA)	(UR= 10 ǰ)
SfP 978011	2.0	0.20	161	302	750	1.5	2.3	208		10.4
ǻǶǶ
	(IF= 50 ȚA)	(UR= 40 ǰ)	321	152	187	3.0	4.6	104		1.3
«ǼȞȖȜț»

ǵȒȓȟȪ: 1. ǾȎȟȥȓȠțȩȓ ȕțȎȥȓțȖȭ; 2. ǾȎȟȥȓȠțȩȓ ȕțȎȥȓțȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȒȎțțȩȣ [43]

.ȒȞ Ȗ .ǰ.Ǿ ǸȜțȎȘȜȐȎ ,.ǿ.ǰ ǸȖȟȓșȓȐ ,.ǿ.ǻ ǯȜșȠȜȐȓȤ ,.dz.Ǯ ǯȓșȭȓȐ ,.Ǯ.Ǽ ǮȑȓȓȐ 482

IV ȅȎȟȠȪ

483

484ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȟȏșȜȘȖȞȡȬȧȖȚțȎȝȞȭȔȓțȖȓȚ 1000÷400 ǰȖ ȓȚȘȜȟȠȪȬȝȞȖȜȏȞȎȠțȜȚ țȎȝȞȭȔȓțȖȖ 0.1÷0.3 ȝȂ. ǼȏȞȎȠȖȚ ȐțȖȚȎțȖȓ țȎ ȟȞȎȐțȓțȖȓ ȠȞȓȣ ȜȟțȜȐțȩȣ ȢȡțȘȤȖȜțȎșȪțȩȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȒȖȜȒȎ:

x ȝȞȓȒȓșȪțȜȗ ȞȎȏȜȥȓȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ;

x ȐȞȓȚȓțȖ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ ǿǰȅ ȟȖȑțȎșȎ;

x ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȩȣ ȐȓșȖȥȖț țȓȝȞȓȞȩȐțȜȗ Ȗ ȖȚȝȡșȪȟțȜȗ ȘȜȚȚȡȠȖȞȜȐȎțțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ.

Ƕȕ ȒȎțțȩȣ, ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ Ȑ ȠȎȏș. 4.3. (ȘȜșȜțȘȎ 7), ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȘȜȞȝȡȟȖȞȜȐȎțțȩȓ4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ, ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȩȓȐȝȞȜȓȘȠȓ [42], ȖȚȓȬȠ ȝȞȓȒȓșȪțȡȬ ȞȎȏȜȥȡȬ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȡ + 500°ǿ, Ȏ ȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖȓ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȓ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȓ p-i-n ȒȖȜȒȩ Ȑ 2.8 Ȗ 3.3 ȞȎȕȎ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ ȚȓțȪȦȡȬ.

ǰȏȜșȪȦȖțȟȠȐȓ ȢȖȞȚȓțțȩȣ ȝȞȜȟȝȓȘȠȜȐ ȝȞȖȐȜȒȖȠȟȭ ȠȜșȪȘȜ ȐȞȓȚȭȔȖȕțȖțȓȜȟțȜȐțȩȣțȜȟȖȠȓșȓȗȐi-ȜȏșȎȟȠȖȒȖȜȒȎ. ǰȞȓȚȭȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ țȓ ȝȞȖȐȜȒȖȠȟȭ. ǽȜȫȠȜȚȡ Ȑ ȠȎȏș. 4.3. ȝȞȖȐȓȒȓțȩ ȐȞȓȚȓțȎ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ, ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȓ ȟ ȡȥȓȠȜȚ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ Ȗ ȞȓȔȖȚȜȐ ȡȝȞȎȐșȓțȖȭ ȒȖȜȒȎȚȖ, ȝȞȓȒȟȠȎȐșȓțțȩȣ Ȑ [43].

Dzșȭ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȓ ȐȓșȖȥȖțȩ ȐȞȓȚȓțȖ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ Ȑ[28]. ǰȞȓȚȭȔȖȕțȖ țȓȜȟțȜȐțȩȣ țȜȟȖȠȓșȓȗ ȜȝȞȓȒȓșȭșȜȟȪ ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȚ ȒȎțțȩȣ [43].

Ƕȕ ȟȞȎȐțȓțȖȭ ȞȓȕȡșȪȠȎȠȜȐ (ȟȚ. ȠȎȏș. 4.3, ȘȜșȜțȘȎ 9) ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȣȎȞȎȘȠȓȞțȜȓ ȐȞȓȚȭ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ Si p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȟ ȝȞȜȏȖȐțȩȚ țȎȝȞȭȔȓțȖȓȚ1000 ǰȝȜȞȭȒȘȎ600 țȟ. 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩȖȚȓȬȠȐȞȓȚȭ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ 20 țȟ. ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȐȞȓȚȭ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ Ȑ 30 ȞȎȕ ȚȓțȪȦȓ ȥȓȚ Si p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȝȞȖ ȜȒȖțȎȘȜȐȩȣ ȏșȜȘȖȞȡȬȧȖȣ țȎȝȞȭȔȓțȖȭȣ.

ǽȞȓȒȓșȪțȜ ȒȜȝȡȟȠȖȚȎȭ ȘȜȚȚȡȠȖȞȜȐȎțțȎȭ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȟȜȐȜȘȡȝțȜȟȠȪȬ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȒȖȜȒȎ, ȟȣȓȚȜȗ ȐȘșȬȥȓțȖȭ Ȑ ǿǰȅ ȠȞȎȘȠ, ȟȜȑșȎȟȜȐȎțȖȓȚ ȖȚȝȓȒȎțȟȎ ȒȖȜȒȎ Ȗ ȠȞȎȘȠȎ, Ȏ ȠȎȘȔȓ ȡȟșȜȐȖȭȚȖȜȠȐȓȒȓțȖȭȠȓȝșȎȜȠȥȖȝȎp-i-n ȒȖȜȒȎ(ȟȡȚȚȎȞțȩȚȠȓȝșȜȐȩȚȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȚȒȖȜȒȎȐțȓȝȞȓȞȩȐțȜȚȖȖȚȝȡșȪȟțȜȚȞȓȔȖȚȎȣ). ǰ ȝȓȞȐȜȚ ȝȞȖȏșȖȔȓțȖȖ ȜțȎ ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ țȎȝȞȭȔȓțȖȓȚ ȝȞȜȏȜȭ ȒȖȜȒȎ, ǿǰȅ ȟȖȑțȎșȜȚ, ȡȝȞȎȐșȭȬȧȖȚ țȎȝȞȭȔȓțȖȓȚ Ȗ ȝȓȞȓȑȞȓȐȜȚ

ȒȖȜȒȎ ȒȜ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜ ȒȜȝȡȟȠȖȚȜȗ ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȩ Tm ȕȎ ȟȥȓȠ ȝȜȑșȜȧȓțȖȭ ȥȎȟȠȖ ǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȖ.

ǽȞȓȒȓșȪțȜ ȒȜȝȡȟȠȖȚȎȭ ǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȪ PAV ȝȞȖ ȐȘșȬȥȓțȖȖ ȒȖȜȒȎȐșȖțȖȬȝȓȞȓȒȎȥȟȐȜșțȜȐȩȚȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȚZ0= 50 ǼȚȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȝȞȓȒȓșȓțȎ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ [43]:

ȅȎȟȠȪ IV	485

V 2

PAV = R (4.2) 4Z0

ȑȒȓ VR – ȟȡȚȚȎȞțȜȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȓ ǿǰȅ ȟȖȑțȎșȎ Ȗ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ ȟȚȓȧȓțȖȭ ȒȖȜȒȎ (țȓ ȒȜșȔțȜ ȝȞȓȐȩȦȎȠȪ ȝȞȓȒȓșȪțȜȑȜ ȕțȎȥȓțȖȭ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ).

ȀȎȘȖȚ ȜȏȞȎȕȜȚ, ȝȞȖ ȝȞȓȒȓșȪțȜȚ ȏșȜȘȖȞȡȬȧȓȚ țȎȝȞȭȔȓțȖȖ p-i-n ȒȖȜȒȎ 1000 ǰ Ȗ ȐȘșȬȥȓțȖȖ ȓȑȜ Ȑ 50-ȜȚțȡȬ șȖțȖȬ ȝȓȞȓȒȎȥȖ, ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ ȐȓșȖȥȖțȎ ǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȖ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 5 ȘǰȠ. ȋȠȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎ ȖȒȓȎșȪțȜȗ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȗ ȝȞȜȥțȜȟȠȖ ǿǰȅ ȝȓȞȓȘșȬȥȎȠȓșȭ. Dzșȭ ȜȤȓțȘȖ ȞȓȎșȪțȜȗ ȝȞȓȒȓșȪțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ țȓȜȏȣȜȒȖȚȜ ȡȥȖȠȩȐȎȠȪ ȠȓȝșȜȐȩȓ ȜȑȞȎțȖȥȓțȖȭ.

ǽȜȠȓȝșȜȐȜȗȚȜȒȓșȖȝȞȓȒȓșȪțȜ ȒȜȝȡȟȠȖȚȎȭ țȓȝȞȓȞȩȐțȎȭ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ Pd ȜȝȞȓȒȓșȭȓȠȟȭ ȢȜȞȚȡșȜȗ [43]:

P =	Tm TA	(4.3)
d	2CW

ȑȒȓ TA – ȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞȎ ȠȓȝșȜȜȠȐȜȒȎ, 2CW – ȠȓȝșȜȐȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓ Ȑ țȓȝȞȓȞȩȐțȜȚ ȞȓȔȖȚȓ.

Ƕȕ ȟȞȎȐțȓțȖȭ ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȣ ȝȜ ȫȠȜȗ ȢȜȞȚȡșȓ ȐȓșȖȥȖț Pd, ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ Ȑ ȠȎȏș. (ȘȜșȜțȘȎ 13), ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ ȚȜȑȡȠ ȞȎȟȟȓȖȐȎȠȪ ȚȜȧțȜȟȠȪ Ȑ țȓȝȞȓȞȩȐțȜȚ ȞȓȔȖȚȓ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȜ ȏȜșȪȦȡȬ, ȥȓȚ Si p-i-n ȒȖȜȒȩ.

ǽȞȓȒȓșȪțȜ ȒȜȝȡȟȠȖȚȎȭ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ Ȗ ȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓp-i-n ȒȖȜȒȎȝȞȖȝȞȭȚȜȚȠȜȘȓRS ȜȝȞȓȒȓșȭȬȠȐȓșȖȥȖțȡ ȝȞȓȒȓșȪțȜȒȜȝȡȟȠȖȚȜȗțȓȝȞȓȞȩȐțȜȗǿǰȅȚȜȧțȜȟȠȖ PCW. ǽȞȖȡȟșȜȐȖȖ ȣȜȞȜȦȓȑȜȟȜȑșȎȟȜȐȎțȖȭ(ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠȟȠȜȭȥȓȗȐȜșțȩȜȘȜșȜ 1.00) ȐȓșȖȥȖțȎPCW ȚȜȔȓȠȏȩȠȪȜȝȞȓȒȓșȓțȎȒșȭȝȜȟșȓȒȜȐȎȠȓșȪțȜȑȜȐȘșȬȥȓțȖȭ ȒȖȜȒȎ Ȑ 50-ȜȚțȡȬ șȖțȖȬ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ Ȓșȭ ȞȎȟȟȓȭțțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ

P =	PdZ0	(4.4)
AV	RS

Ƕȕ ȢȜȞȚȡșȩ (4.4) ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ ȥȓȚ ȚȓțȪȦȓ ȐȓșȖȥȖțȎ RS Ȗ ȥȓȚ ȏȜșȪȦȓ Pd ȠȓȚ ȏȜșȪȦȡȬ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȚȜȔȓȠ ȘȜȚȚȡȠȖȞȜȐȎȠȪ ȒȖȜȒ.

ǾȎȟȟȥȖȠȎțțȩȓȝȜȢȜȞȚȡșȓ(4.4) ȐȓșȖȥȖțȩPAV (ȝȞȖZ0=50 ǼȚ) ȝȞȖȐȓȒȓțȩȐȘȜșȜțȘȓ14 ȠȎȏș. 4.2. ǶȕȟȞȎȐțȓțȖȭȐȓșȖȥȖțPAV Ȓșȭp-i-n ȒȖȜȒȜȐ,ȖȕȑȜȠȜȐșȓțțȩȣȖȕȞȎȕșȖȥțȩȣȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȐȖȒțȜ,ȥȠȜȚȎȘȟȖȚȎșȪțȡȬ ȝȞȓȒȓșȪțȜȒȜȝȡȟȠȖȚȡȬȚȜȧțȜȟȠȪȞȎȟȟȓȭțȖȭȖȚȓȬȠ4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ.

486 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǵțȎȥȓțȖȓPAV ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȚȓțȪȦȓȥȓȚȝȞȓȒȓșȪțȜȒȜȝȡȟȠȖȚȩȓǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȖ, ȜȝȞȓȒȓșȭȓȚȩȓȏșȜȘȖȞȡȬȧȖȚțȎȝȞȭȔȓțȖȓȚȒȖȜȒȜȐ. ǽȜȫȠȜȚȡ, ȘȎȘȝȞȎȐȖșȜ, ȒșȭȘȜȚȚȡȠȎȤȖȖȏȜșȪȦȖȣȡȞȜȐțȓȗȚȜȧțȜȟȠȖp-i-n ȒȖȜȒȩ ȥȎȟȠȜ ȖȟȝȜșȪȕȡȬȠȟȭ Ȑ ȖȚȝȡșȪȟțȜȚ ȞȓȔȖȚȓ ȞȎȏȜȠȩ.

ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȑ ȖȚȝȡșȪȟțȜȚ ȞȓȔȖȚȓ Pdp ȚȜȔȓȠ ȏȩȠȪ ȜȝȞȓȒȓșȓțȜ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ [43]:

P	=	T1 TA	(4.5)
dp		2p

ȑȒȓ2p =DF¸2AV +2TP – ȫȢȢȓȘȠȖȐțȜȓȠȓȝșȜȐȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȒȖȜȒȎ Ȑ ȖȚȝȡșȪȟțȜȚ ȞȓȔȖȚȓ, ȑȒȓ DF – ȝȞȜȤȓțȠ ȕȎȝȜșțȓțȖȭ ȜȠțȜȦȓțȖȭ ȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȟȠȖȖȚȝȡșȪȟȎȘȝȓȞȖȜȒȡȓȑȜȝȜȐȠȜȞȓțȖȭ, 2AV – ȠȓȝșȜȐȜȓȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȒȖȜȒȎȐțȓȝȞȓȞȩȐțȜȚȞȓȔȖȚȓ, 2TP – ȠȓȝșȜȐȜȓ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȒȖȜȒȎȐȐȞȓȚȓțțȜȚȖțȠȓȞȐȎșȓ, ȜȠȐȓȥȎȬȧȓȚȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȖȚȝȡșȪȟȎ.

ǰȠȎȏș. 4.3 ȝȞȖȐȓȒȓțȩȕțȎȥȓțȖȭ2TP Ȗ2p ȝȞȖȝȞȜȒȜșȔȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȖȚȝȡșȪȟȎ 1000 țȟ Ȗ 5% ȕȎȝȜșțȓțȖȖ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ ȞȎȟȥȓȠțȩȚ ȝȡȠȓȚ.

Dzșȭ ȜȤȓțȘȖ ȐȓșȖȥȖț ȠȓȝșȜȐȩȣ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȗ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȖȟȪ ȞȎȟȥȓȠțȩȓ ȒȎțțȩȓ, ȝȜșȡȥȓțțȩȓ Ȓșȭ500°K, Ȏ Ȓșȭ Si p-i-n ȒȖȜȒȜȐ Ȓșȭ 300°K ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȓ Ȑ [44].

ǶȚȝȡșȪȟțȎȭ ȚȜȧțȜȟȠȪ ȞȎȟȟȓȭțȖȭ Pd (ȠȎȏș. 4.3, ȘȜșȜțȘȎ 17), ȜȝȞȓȒȓșȓțȎ ȝȜ ȢȜȞȚȡșȓ (4.5). ǽȞȓȒȓșȪțȜpȒȜȝȡȟȠȖȚȎȭ ȖȚȝȡșȪȟțȎȭ ȚȜȧțȜȟȠȪPAV (ȠȎȏș. 4.3, ȘȜșȜțȘȎ18) ȜȝȞȓȒȓșȭșȖȟȪȝȜȢȜȞȚȡșȓ(4.4). Ƕȕ ȒȎțțȩȣ ȝȞȖȐȓȒȓțțȩȣ Ȑ ȠȎȏș. 4.3 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ, ȖȚȓȬȧȖȓ ȏșȜȘȖȞȡȬȧȓȓ țȎȝȞȭȔȓțȖȓ ȠȎȘȜȓ Ȕȓ, ȘȎȘ Ȗ Si p-i-n ȒȖȜȒȩ (1000 ǰ) ȚȜȑȡȠ ȘȜȚȚȡȠȖȞȜȐȎȠȪ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȖȓ ȡȞȜȐțȖ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȗ ȜȏȓȟȝȓȥȖȐȎȠȪ ȏȩȟȠȞȜȒȓȗȟȠȐȖȓ Ȑ 20 ȞȎȕ ȐȩȦȓ, ȥȓȚ Si p-i-n ȒȖȜȒȩ. ǽȜțȖȔȓțȖȓ RS ȚȜȔȓȠ ȜȏȓȟȝȓȥȖȠȪ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȓ ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȡȞȜȐțȭ ȘȜȚȚȡȠȖȞȜȐȎțțȜȗ ǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȗ ȡșȡȥȦȓțȖȓ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ǿǰȅ ȡȟȠȞȜȗȟȠȐ.

ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩ ȖȟȝȩȠȎțȖȗ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȜȏȞȎȕȤȜȐ 4H-SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȞȎȕȞȎȏȜȠȎțțȩȣ Ȑ ȝȞȜȓȘȠȓ [42] ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȘȜșȜțȘȓ 19 ȠȎȏș. 4.3. ǽȞȓȒȓșȪțȩȓ ȐȓșȖȥȖțȩ ǿǰȅ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȑ ȞȓȔȖȚȓ ȕȎȝȖȞȎțȖȭ (ȖȕȜșȭȤȖȖ) ȝȞȖ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȖ ȥȓȞȓȕ ȒȖȜȒ ȝȞȭȚȜȑȜ ȠȜȘȎ 50 ȚǮ ȟȜȟȠȎȐșȭȬȠ 6.8 ȘǰȠ Ȗ 0.9 ǰȠ Ȑ ȞȓȔȖȚȓ ȝȞȜȝȡȟȘȎțȖȭ ȝȞȖ ȝȜȒȎȥȓ țȎ ȒȖȜȒ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ 50 ǰ.

ǽȞȖȐȓȒȓțțȩȓȐȠȎȏș. 4.4 ȘȞȖȠȓȞȖȖȘȎȥȓȟȠȐȎȒșȭȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ ȟȐȖȒȓȠȓșȪȟȠȐȡȬȠ Ȝ ȠȜȚ, ȥȠȜ ȝȜ ȟȞȎȐțȓțȖȬ ȟȜ ȟȐȜȖȚȖ

ȅȎȟȠȪ IV	487

ȀȎȏșȖȤȎ 4.4. ǸȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ Ȓșȭ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȚȜȧțȩȣ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ p-i-n ȒȖȜȒȜȐ (ȘȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ Ȓșȭ Si ȝȞȖțȭȠȩ ȕȎ 1) [16]

	ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ	ǸȞȖȠȓȞȖȗ	Si	GaAs	4H-SiC	6H-SiC
		ȘȎȥȓȟȠȐȎ
	ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ ȥȎȟȠȜȠȎ	F 1(Dt)1/2	1	0.25	0.2	0.05
	ǰȞȓȚȭ ȝȓȞȓȘșȬȥȓțȖȭ	(DE2 ) 1	1	0.45	0.01	0.025
		cr
	ȋșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȓȒȓș	DUE2	1	0.2	5.4	0.5
	Ȓșȭ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ
	ȚȜȧțȜȟȠȖ	cr
	ȀȓȝșȜȐȜȗ ȝȞȓȒȓș
	Ȓșȭ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ	%TM/F	1	0.5	14	14
	ȚȜȧțȜȟȠȖ

ȘȞȓȚțȖȓȐȩȚȖ Ȗ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȚȖ ȎțȎșȜȑȎȚȖ SiC p-i-n ȒȖȜȒȩ ȜȏșȎȒȎȬȠ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȚȖ ȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȎȚȖ ȝȜ ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȜȚȡ Ȗ ȠȓȝșȜȐȜȚȡ ȜȑȞȎțȖȥȓțȖȬ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ.

ǾȎȕȞȎȏȜȠȘȎ țȜȐȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ ȐȩȞȎȧȖȐȎțȖȭ SiC Ȗ ȑȓȠȓȞȜȝȜșȖȠȖȝțȩȣ ȝȓȞȓȣȜȒȜȐ țȎ ȓȑȜ ȜȟțȜȐȓ, ȘȎȘ ȝȜȘȎȕȎțȜ Ȑ [24], ȝȜȕȐȜșȭȓȠ țȎȒȓȭȠȪȟȭ, ȥȠȜ ȝȜȐȩȦȓțȖȓ ȐȟșȓȒȟȠȐȖȓ ȫȠȜȑȜ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȠȎȘȖȣ ȚȎȠȓȞȖȎșȜȐ ȒȎȟȠ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪ ȝȜȐȩȟȖȠȪ țȎȒȓȔțȜȟȠȪ Ȗ ȞȎȏȜȠȜȟȝȜȟȜȏțȜȟȠȪ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ SiC p-i-n ȒȖȜȒȜȐ Ȗ ȞȓȎșȖȕȜȐȎȠȪ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȖ, ȕȎșȜȔȓțțȩȓ ȘȎȘ ȏȡȒȠȜ ȟȎȚȜȗ ȝȞȖȞȜȒȜȗ Ȑ ȫȠȜȚ ȚȎȠȓȞȖȎșȓ Ȓșȭ ȓȑȜ ȫȘȟȝșȡȎȠȎȤȖȖ Ȑ ȫȘȟȠȞȓȚȎșȪțȩȣ ȡȟșȜȐȖȭȣ.

4.3. DzȓȠȓȘȠȜȞțȩȓ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȓ ȒȖȜȒȩ

ǽȓȞȐȩȓ ȟȐȓȒȓțȖȭ Ȝ ȠȐȓȞȒȜȠȓșȪțȩȣ ȠȜȥȓȥțȜ-ȘȜțȠȎȘȠțȩȣ ȒȓȠȓȘȠȜȞȎȣ ȟȠȎșȖ ȖȕȐȓȟȠțȩ Ȑ țȎȥȎșȓ ȃȃ ȐȓȘȎ. ȋȠȜ ȏȩșȖ ȝȎȠȓțȠȩ ǯȜȕȓ Ȗ ǽȖȘȘȎȞȒȎțȎSi [45, 46], DzȡțȐȡȒȎțȎȘȎȞȏȜȞȡțȒȓ[47] ȖȟȠȎȠȪȭǹȜȟȓȐȎ țȎ ȤȖțȘȖȠȓ (ȘȞȖȟȠȎȒȖț ǹȜȟȓȐȎ [48]. ǵȎȒȜșȑȜ ȒȜ ȝȜȭȐșȓțȖȭ ȠȐȓȞȒȜȠȓșȪțȜȗ ȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖ ȫȠȖ ȝȞȖȏȜȞȩ țȎȦșȖ ȦȖȞȜȘȜȓ ȝȞȖȚȓțȓțȖȓ Ȑ ȕȎȞȜȔȒȎȬȧȓȗȟȭ ȞȎȒȖȜȠȓȣțȖȘȓ Ȗ ȟȐȭȕȖ. ǵȎȚȓȠțȡȬ ȞȜșȪ ȠȜȥȓȥțȩȓ ȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȓ ȒȖȜȒȩ ȟȩȑȞȎșȖ Ȑ ȑȜȒȩ ǰȠȜȞȜȗ ǺȖȞȜȐȜȗ ȐȜȗțȩ ȝȞȖ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȖ Ȗȣ Ȑ ǿǰȅ ȞȎȒȎȞȎȣ ȟȎțȠȖȚȓȠȞȜȐȜȑȜ ȒȖȎȝȎȕȜțȎ ȒșȖț ȐȜșț, ȥȠȜ ȝȞȖȐȓșȜ Ș ȒȎșȪțȓȗȦȓȚȡ ȝȞȜȑȞȓȟȟȡ Ȑ ȠȓȣțȖȘȓ ȟȜȕȒȎțȖȭ ȝȜșȡȝȞȜȐȜȒțȖȘȜȐȩȣ ȒȓȠȓȘȠȜȞȜȐ [49 51].

ǾȎȕȐȖȠȖȓȠȐȓȞȒȜȠȓșȪțȜȗȫșȓȘȠȞȜțȖȘȖȐȜȐȠȜȞȜȗȝȜșȜȐȖțȓȃȃ ȐȓȘȎ ȜȏȡȟșȜȐȖșȜ țȜȐȩȓ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȖ ȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ. ǵȎȚȓțȎ

488 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ȠȜȥȓȥțȜȑȜ ȘȜțȠȎȘȠȎ țȎ ȝșȜȟȘȜȟȠțȩȗ ȏȎȞȪȓȞ ȆȜȠȠȘȖ Ȗ Ȟ-ȝ-ȝȓȞȓȣȜȒ, ȎȠȎȘȔȓȞȎȟȦȖȞȓțȖȓȚȎȠȓȞȖȎșȜȐȓȒȥȓȟȘȜȗȏȎȕȩ(InP, GaAs, SiC) ȖȞȎȕȞȎȏȜȠȘȎțȜȐȩȣȠȓȣțȜșȜȑȖȗȝȜȕȐȜșȖșȖȟȜȕȒȎȐȎȠȪȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȓȒȖȜȒȩ ȟ ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜ ȡșȡȥȦȓțțȩȚȖ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȎȚȖ [16, 38, 52–63]. Ƕȣ ȟȜȏȓțțȜȟȠȖ Ȗ ȟȝȓȤȖȢȖȘȎ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȟȭ Ȑ ȜȟțȜȐțȜȚ:

x ȏȜșȪȦȖȚ ȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȖȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȜȚ ȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȜȑȜ ȒȓȠȓȘȠȖȞȜȐȎțȖȭ (ȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȩȓ ȒȓȠȓȘȠȜȞȩ);

x ȐȩȟȜȘȜȗ ȥȡȐȟȠȐȖȠȓșȪțȜȟȠȪȬ Ȑ ȏȜșȪȦȜȚ ȒȖțȎȚȖȥȓȟȘȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȐȣȜȒțȩȣ ȚȜȧțȜȟȠȓȗ;

x ȒȓȠȓȘȠȖȞȜȐȎțȖȓȚ ȚȎșȩȣ ȡȞȜȐțȓȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ;

x ȦȖȞȜȘȜȝȜșȜȟȠțȜȟȠȪȬ(ȚȎșȎȭțȓȞȎȐțȜȚȓȞțȜȟȠȪȎȚȝșȖȠȡȒțȜȥȎȟȠȜȠțȜȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ);

x ȠȓȞȚȖȥȓȟȘȜȗ ȟȠȎȏȖșȪțȜȟȠȪȬ.

ȋȠȖȠȞȓȏȜȐȎțȖȭȐȕȎȖȚȜȝȞȜȠȖȐȜȞȓȥȖȐȩȖȝȜȫȠȜȚȡțȓȚȜȑȡȠȏȩȠȪ ȞȓȎșȖȕȜȐȎțȩ Ȑ ȜȒțȜȚ Ȗ ȠȜȚ Ȕȓ ȒȓȠȓȘȠȜȞțȜȚ ȒȖȜȒȓ.

ȀȓȚțȓȚȓțȓȓȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȓȐȘȎȥȓȟȠȐȓȏȎȕȜȐȜȑȜȚȎȠȓȞȖȎșȎȒșȭ ȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȣ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȘȎȞȏȖȒȎ ȘȞȓȚțȖȭ ȝȜȕȐȜșȭȓȠ ȟȜȕȒȎȐȎȠȪ ȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȓ ȒȖȜȒȩ ȟ ȏȎȞȪȓȞȜȚ ȆȜȠȠȘȖ, ȝȞȓȐȜȟȣȜȒȭȧȖȓ ȝȜ ȟȐȜȖȚ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȓ.

ǾȖȟ. 4.9. ȅȖȝ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȜȑȜ ȘȎȞȏȖȒȜȘȞȓȚțȖȓȐȜȑȜ ȒȖȜȒȎ (Ȏ) ȖȘȜțȟȠȞȡȘȤȖȭȒȖȜȒȎȐȚȓȠȎșșȜȞȡȏȖțȜȐȜȚ ȘȜȞȝȡȟȓ ȠȖȝȎ «ȠȎȏșȓȠȘȎ» (ȏ). ǾȎȕȚȓȞȩ Ȑ ȚȚ

ȅȎȟȠȪ IV	489

ǮȐȠȜȞȎȚȖ [64, 65] ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ Ȝ ȟȜȕȒȎțȖȖ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȑȜ Ȓȓ- ȠȓȘȠȜȞțȜȑȜȒȖȜȒȎȟȏȎȞȪȓȞȜȚȆȜȠȠȘȖAu-TiBx(ZrBx)-n-6H-SiC. ǿȠȞȡȘȠȡȞȎ ȠȎȘȜȑȜ ȒȖȜȒȎ ȝȞȖȐȓȒȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 4.9Ȏ, ȎȓȑȜȥȖȝ, ȐȚȜțȠȖȞȜȐȎțțȩȗ ȐȚȓȠȎșșȜȞȡȏȖțȜȐȩȗȘȜȞȝȡȟ– țȎ ȞȖȟ. 4.9ȏ. ǰȩȟȜȠȎȏȎȞȪȓȞȎȆȜȠȠȘȖȟȜȟȠȎȐșȭșȎ 0.69–0.7 ǰ Ȓșȭ ȞȎȕțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ, Ȏ ȢȎȘȠȜȞ ȖȒȓȎșȪțȜȟȠȖ – 1.5–1.6.

DzșȭȖȕȚȓȞȓțȖȭȝȓȞȓȒȎȠȜȥțȩȣȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȒȖȜȒȩȏȩșȖȐȘșȬȥȓțȩ Ȑ ȑȖȏȞȖȒțȜ-ȖțȠȓȑȞȎșȪțȡȬ ȟȣȓȚȡ ȒȓȠȓȘȠȜȞȎ. ǶȕȚȓȞȖȠȓșȪțȎȭ ȟȣȓȚȎ ȏȩșȎȞȓȎșȖȕȜȐȎțȎțȎțȓȟȖȚȚȓȠȞȖȥțȩȣȝȜșȜȟȘȜȐȩȣșȖțȖȭȣȟ ȐȜșțȜȐȩȚ ȟȜȝȞȜȠȖȐșȓțȖȓȚ 50 ǼȚ. ǶȕȚȓȞȓțȖȭ ȝȓȞȓȒȎȠȜȥțȩȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ ȝȞȜȐȜȒȖșȖȟȪ ȝȞȖ ȞȎȕțȩȣ ȠȜȘȎȣ ȟȚȓȧȓțȖȭ (0.0–13.8 ȚȘǮ) țȎ ȥȎȟȠȜȠȓ 0.3 DZDZȤ. ǾȓȕȡșȪȠȎȠȩȖȕȚȓȞȓțȖȗȝȞȖȐȓȒȓțȩțȎ ȞȖȟ. 4.10. ǰȖȒțȜ, ȥȠȜ ȒȜȐȣȜȒțȜȗ ǿǰȅȚȜȧțȜȟȠȖǾ_10 ȚǰȠȒȓȠȓȘȠȜȞȖȚȓȓȠȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȡ, ȏșȖȕȘȡȬȘȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȜȗ. ǽȓȞȓȣȜȒȜȠȘȐȎȒȞȎȠȖȥțȜȗȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖȘȘȐȎȕȖșȖțȓȗțȜȗțȎȏșȬȒȎșȟȭȝȞȖȐȣȜȒțȜȗȚȜȧțȜȟȠȖ _10 ȚȘǰȠ. DzȓȠȓȘȠȜȞțȩȓȒȖȜȒȩȝȞȖȐȣȜȒțȜȗǿǰȅȚȜȧțȜȟȠȖ_10 7 ǰȠȖȚȓȬȠȥȡȐȟȠȐȖȠȓșȪ-

ǾȖȟ. 4.10. ǵȎȐȖȟȖȚȜȟȠȖ țȎȝȞȭȔȓțȖȭ țȎ ȒȖȜȒȓ ȜȠ ȝȎȒȎȬȧȓȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ (Ȏ) Ȗ ȥȡȐȟȠȐȖȠȓșȪțȜȟȠȖ ȝȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȬ ȜȠ ȐȣȜȒțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ (ȏ) [64, 65]

490 ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

țȜȟȠȪ _3500 Țǰ/ȚǰȠ ȝȞȖ ȠȜȘȓ ȟȚȓȧȓțȖȭ _3.2 ȚȘǮ. ǽȞȖ Ǿ_10 5 ǰȠ ȥȡȐȟȠȐȖȠȓșȪțȜȟȠȪȝȞȖȠȜȚȔȓȠȜȘȓȟȚȓȧȓțȖȭȟȜȟȠȎȐșȭșȎ_1000 Țǰ/ȚǰȠ. ǽȞȖȫȠȜȚȠȜȘȖȟȚȓȧȓțȖȭȐȫȠȖȣȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȣȒȖȜȒȎȣțȎȝȜȞȭȒȜȘțȖȔȓ, ȥȓȚ Ȑ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȣ ȒȖȜȒȎȣ ȆȜȠȠȘȖ.

Ƕȕ ȞȖȟ. 4.9 ȐȖȒțȜ, ȥȠȜȜȟȜȏȓțțȜȟȠȪȬ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȆȜȠȠȘȖȭȐșȭȓȠȟȭȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȪȖȣȞȎȏȜȠȩȝȞȖȝȜȒȎȥȓțȎȐȣȜȒȒȓȠȓȘȠȜȞȎȚȜȧțȜȟȠȖȒȜ 1 ǰȠ. DzȖțȎȚȖȥȓȟȘȖȗȒȖȎȝȎȕȜțșȖțȓȗțȜȑȜȡȥȎȟȠȘȎ ȝȓȞȓȒȎȠȜȥțȜȗ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘȖ ȟȜȟȠȎȐșȭȓȠ 50 Ȓȏ. ȅȡȐȟȠȐȖȠȓșȪțȜȟȠȪ ȒȖȜȒȎ ȝȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȬ țȎ ȫȠȜȚ ȡȥȎȟȠȘȓ ȟșȎȏȜ ȕȎȐȖȟȖȠ ȜȠ ȠȜȘȎ ȟȚȓȧȓțȖȭ Ȗ ȟțȖȔȎȓȠȟȭ ȝȜȐȩȦȓțȖȓȚ ȚȜȧțȜȟȠȖ.

ǿȜȐȞȓȚȓțțȩȓ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȆȜȠȠȘȖ ȝȜȕȐȜșȭȬȠ Ȑ ȦȖȞȜȘȖȣ ȝȞȓȒȓșȎȣ ȖȕȚȓțȭȠȪ ȐȩȟȜȠȡ ȏȎȞȪȓȞȎȖȜȝȠȖȚȖȕȖȞȜȐȎȠȪ ȝȎȞȎȚȓȠȞȩ ȏȎȞȪȓȞțȩȣ ȟȠȞȡȘȠȡȞ, ȥȠȜȝȜȕȐȜșȭȓȠȟȜȕȒȎȐȎȠȪȒȓȠȓȘȠȜȞțȩȓȒȖȜȒȩțȎȞȎȕșȖȥțȩȓ ȥȎȟȠȜȠțȩȓ ȒȖȎȝȎȕȜțȩ.

4.4. ǰȎȞȎȘȠȜȞțȩȓ ȒȖȜȒȩ

ǰȎȞȎȘȠȜȞțȩȓȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȓȒȖȜȒȩ – ȫȠȜȘșȎȟȟȒȖȜȒȜȐȟp-n-ȝȓ- ȞȓȣȜȒȜȚȖșȖȏȎȞȪȓȞȜȚȆȜȠȠȘȖȟțȓșȖțȓȗțȜȗ ȕȎȐȖȟȖȚȜȟȠȪȬ ȓȚȘȜȟȠȖ ȜȠțȎȝȞȭȔȓțȖȭ. ǼȟțȜȐțȩȓȜȏșȎȟȠȖȝȞȖȚȓțȓțȖȭȐȎȞȎȘȠȜȞȜȐȐȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȜȗ ȠȓȣțȖȘȓ ȟȐȭȕȎțȩ ȟ Ȗȣ ȢȡțȘȤȖȜțȎșȪțȩȚȖ ȐȜȕȚȜȔțȜȟȠȭȚȖ

x ȡȟȖșȓțȖȭ Ȗ ȑȓțȓȞȎȤȖȖ ǿǰȅ ȟȖȑțȎșȎ; x ȡȚțȜȔȓțȖȭ ȥȎȟȠȜȠȩ ǿǰȅ ȟȖȑțȎșȎ;

x ȝȓȞȓȟȠȞȜȗȘȖ ȥȎȟȠȜȠȩ Ȑ ȦȖȞȜȘȜȚ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ.

ȀȎȏșȖȤȎ 4.5. ǸȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȚȜȧțȩȣ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ [16] (ȘȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ Si ȒȖȜȒȜȐ ȝȞȖțȭȠȩ ȕȎ 1)

	ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ	ǸȞȖȠȓȞȖȖ				Si	GaAs	4H-SiC	6H-SiC
		ȘȎȥȓȟȠȐȎ
	ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ	E2 µ		n		1	12.8	120	54
	ȥȎȟȠȜȠȎ	cr
	ȋșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȓȒȓș	(E2 µ			)2
	ȝȜ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ		n			1	16.3	14400	2920
	ȚȜȧțȜȟȠȖ	cr
	ȀȓȝșȜȐȜȗ ȝȞȓȒȓș
	ȝȜ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ	%TM/F				1	0.5	14	14
	ȚȜȧțȜȟȠȖ

ȅȎȟȠȪ IV	491

ǶțȠȓȞȓȟ Ș ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȚ ȒȖȜȒȎȚ ȠȎȘȜȑȜ ȠȖȝȎ ȜȏȡȟșȜȐșȓț Ȗȣ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȐȓșȖȥȖțȜȗ ȘȞȖȠȖȥȓȟȘȜȑȜ ȝȜșȭ ȝȞȜȏȜȭ Ȗ ȏȜșȓȓ ȐȩȟȜȘȜȗ ȠȓȝșȜȝȞȜȐȜȒțȜȟȠȪȬSiC ȝȜȟȞȎȐțȓțȖȬȟȘȞȓȚțȖȓȐȩȚȖȖȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȚȖ ȎțȎșȜȑȎȚȖ. ȋȠȜ ȝȜȒȠȐȓȞȔȒȎȓȠȟȭ ȒȎțțȩȚȖ ȠȎȏș. 4.5, Ȑ ȘȜȠȜȞȜȗ ȝȞȖȐȓȒȓțȩȘȞȖȠȓȞȖȖȘȎȥȓȟȠȐȎȚȜȧțȩȣȐȎȞȎȘȠȜȞțȩȣȒȖȜȒȜȐ, ȜȝȞȓȒȓșȭȬȧȖȓȖȣȝȞȓȒȓșȪțȩȓȝȎȞȎȚȓȠȞȩ: ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȡȬȥȎȟȠȜȠȡ, ȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȗȖȠȓȝșȜȐȜȗȝȞȓȒȓșȩȝȜȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗȚȜȧțȜȟȠȖ. ǽȞȖȞȎȟȥȓȠȓȫȠȖȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ Ȗȣ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȡȬȧȖȓ ȐȓșȖȥȖțȩ Ȓșȭ Si ȏȩșȖ ȐȕȭȠȩ ȕȎ 1.

ǰȎȔțȓȗȦȖȚ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȚ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȭȐșȭȓȠȟȭ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȓȞȓȘȞȩȠȖȭ ȝȜ ȓȚȘȜȟȠȖ KC, ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȧȖȗ ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ.

KC = Cmax ,

Cмин

ȑȒȓ Cmax – ȓȚȘȜȟȠȪ ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ ȚȖțȖȚȎșȪțȜȗ ȐȓșȖȥȖțȓ ȜȏȞȎȠțȜȑȜ țȎȝȞȭȔȓțȖȭțȎȝȞȭȔȓțȖȖ;. Cmin – ȓȚȘȜȟȠȪ ȒȖȜȒȎ ȝȞȖ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȚ ȜȏȞȎȠțȜȚ ȅȓȚȏȜșȪȦȓ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȓȞȓȘȞȩȠȖȭ, ȠȓȚ ȐȩȦȓ ȘȎȥȓȟȠȐȜ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȜȑȜȒȖȜȒȎ. ǰȓșȖȥȖțȎKC ȟȡȧȓȟȠȐȓțțȜȕȎȐȖȟȖȠȜȠȞȓȕȘȜȟȠȖp-n-ȝȓȞȓ- ȣȜȒȎ(ȜȠȝȞȜȢȖșȭȞȎȟȝȞȓȒȓșȓțȖȭșȓȑȖȞȡȬȧȓȗȝȞȖȚȓȟȖ).ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȩȓ ȐȓșȖȥȖțȩKC ȒȜȟȠȖȑțȡȠȩȐȒȖȜȒȎȣȟȜȟȐȓȞȣȞȓȕȘȖȚȝȞȜȢȖșȓȚșȓȑȖȞȜȐȎ-

țȖȭ (ȘȎȘ Ȑ p-n-ȝȓȞȓȣȜȒȓ, ȠȎȘ Ȗ Ȑ ȒȖȜȒȓ ȟ ȏȎȞȪȓȞȜȚ ȆȜȠȠȘȖ).

ǰ[66] ȟȜȜȏȧȎșȜȟȪ Ȝ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȚ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȜȚ ȒȖȜȒȓ

ȟp-n-ȝȓȞȓȣȜȒȜȚ, ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțțȜȚ ȝȞȖ ȝȜȒȟȠȞȜȗȘȓ ȥȎȟȠȜȠȩ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ǹǽDz ȘȜȞȜȠȘȜȑȜ ȚȖșșȖȚȓȠȞȜȐȜȑȜ ȒȖȎȝȎȕȜțȎ ȒșȖț ȐȜșț. ǰȎȞȎȘȠȜȞțȩȗ ȒȖȜȒ ȖȚȓș țȎȝȞȭȔȓțȖȓ șȎȐȖțțȜȑȜ ȝȞȜȏȜȭ _140 ǰ Ȗ ȘȜȫȢȢȖȤȖȓțȠ ȝȓȞȓȘȞȩȠȖȭ ȞȎȐțȩȚ 8.

ǼȟȜȏȓțțȜȟȠȖ ȞȎȏȜȠȩ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȐȎȞȎȘȠȜȞțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȞȎȟȟȚȎȠȞȖȐȎȬȠȟȭ Ȑ ȜȏȕȜȞȓ [16].

4.5. ǿȚȓȟȖȠȓșȪțȩȓ ȒȖȜȒȩ

ǼȟțȜȐțȎȭȜȏșȎȟȠȪȝȞȖȚȓțȓțȖȭȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣȒȖȜȒȜȐ – ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȓȥȎȟȠȜȠȩ. ȀȓȜȞȖȭ, ȢȖȕȖȘȎ, ȠȓȣțȜșȜȑȖȭȖȝȞȎȘȠȖȘȎ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎțȖȭȠȎȘȖȣȒȖȜȒȜȐȖȕȐȓȟȠțȩȒȎȐțȜ[53–55,67,68].ǼȏșȎȟȠȪȝȞȖ- ȚȓțȓțȖȭȫȠȖȣȒȖȜȒȜȐȕțȎȥȖȠȓșȪțȜȞȎȟȦȖȞȖșȎȟȪȐȟȐȭȕȖȟ ȖțȠȓțȟȖȐțȩȚ ȞȎȕȐȖȠȖȓȚȐȝȜȟșȓȒțȖȓȑȜȒȩȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȜȗȠȓȣțȖȘȖȚȖșșȖȚȓȠȞȜȐȜȑȜ ȒȖȎȝȎȕȜțȎ [69]. ǼȒțȎȘȜ ȖțȢȜȞȚȎȤȖȭ Ȝ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣ ȒȖȜȒȎȣ ȝȜȭȐȖșȎȟȪ ȟȞȎȐțȖȠȓșȪțȜ țȓȒȎȐțȜ [70–74].

492ǮȑȓȓȐ Ǽ.Ǯ., ǯȓșȭȓȐ Ǯ.dz., ǯȜșȠȜȐȓȤ ǻ.ǿ., ǸȖȟȓșȓȐ ǰ.ǿ., ǸȜțȎȘȜȐȎ Ǿ.ǰ. Ȗ ȒȞ.

ǰ[72, 73] Ȓșȭ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȒȖȜȒȎ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎșȎȟȪ ȘȞȓȚțȖȓ-

ȐȎȭ ȟȠȜȞȜțȎ 4H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȖ. ȁȞȜȐȓțȪ ȒȜțȜȞțȜȑȜ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȏȩș 1.1¸1019 ȟȚ 3. ǻȎ 4H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȓ ȏȩș ȐȩȞȎȧȓț ȝȓȞȓȣȜȒțȜȗȟșȜȗȟȐȩȟȜȘȖȚșȓȑȖȞȜȐȎțȖȓȚȟȝȜȟșȓȒȡȬȧȖȚȐȩȞȎȧȖ-

ȐȎțȖȓȚȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȜȑȜȟșȜȭȠȜșȧȖțȜȗ0.38 ȚȘȚȖȘȜțȤȓțȠȞȎȤȖȓȗ ȒȜțȜȞȜȐ 3.1¸1017 ȟȚ 3. ǺȓȕȎ-ȟȠȞȡȘȠȡȞȩ ȏȩșȖ ȐȩȠȞȎȐșȓțȩ ȖȜțțȜșȡȥȓȐȩȚ ȠȞȎȐșȓțȖȓȚ. ǯȎȞȪȓȞ ȆȜȠȠȘȖ ȢȜȞȚȖȞȜȐȎșȟȭ țȎȝȩșȓțȖȓȚ Ti-Au ȟ ȖȟȝȜșȪȕȜȐȎȖȓȚ ȐȕȞȩȐțȜȗ ȠȓȣțȜșȜȑȖȖ (lift-off). ȀȩșȪțȩȗ ȘȜțȠȎȘȠ ȏȩș ȟȢȜȞȚȖȞȜȐȎț țȎȝȩșȓțȖȓȚ Ni Ȗ ȜȠȔȖȑȜȚ ȝȞȖ 950°ǿ

5ȚȖț Ȑ ȟȚȓȟȖ Ar/He Ȑ ȟȜȜȠțȜȦȓțȖȖ 10:1. ȋȠȖ ȒȖȜȒȩ ȖȚȓșȖ ȐȩȟȜȠȡ

ȏȎȞȪȓȞȎ KB = 1.08 ȫǰ (ȖȕȚȓȞȓțȖȓ C-V ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ) Ȗ KB = 0.88 ȫǰ (ȖȕȚȓȞȓțȖȓ ǰǮȃ) ȟ ȢȎȘȠȜȞȜȚ ȖȒȓȎșȪțȜȟȠȖ -1.1.

DzȖȜȒȩ ȟ ȝșȜȧȎȒȪȬ ȘȜțȠȎȘȠȎ 1.6¸10 5 ȟȚ 2 (40×40 ȚȘȚ2) ȏȩșȖ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȩ Ȑ ȜȒțȜȏȎșȎțȟțȜȚ ȟȚȓȟȖȠȓșȓ. ǿȚȓȟȖȠȓșȪ ȖȚȓș ȝȜȠȓȞȖ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭțȖȔȓ10 ȒǯȐȒȖȎȝȎȕȜțȓȥȎȟȠȜȠ0.7 1.4 DZDZȤȝȞȖȐȣȜȒțȜȗȚȜȧțȜȟȠȖ15 ȒǯȚ. ǺȖțȖȚȎșȪțȩȓȝȜȠȓȞȖ5.2 ȒǯȏȩșȖȖȕȚȓȞȓțȩ ȝȞȖ ȥȎȟȠȜȠȓ ȐȣȜȒțȜȑȜ ȟȖȑțȎșȎ 850 ǺDZȤ, ȐȣȜȒțȜȗ ȚȜȧțȜȟȠȖ 25 ȒǯȚ ȝȞȖ ȠȜȘȓ ȟȚȓȧȓțȖȭ ȒȖȜȒȎ 15 ȚǮ. ȋȠȖ ȕțȎȥȓțȖȭ ȝȜȠȓȞȪ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭȭȐșȭȬȠȟȭȠȖȝȖȥțȩȚȖȒșȭȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣȒȖȜȒȜȐ. ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȜȓ ȕțȎȥȓțȖȓ ȚȜȧțȜȟȠȖ Ȑ ȫȠȜȗ ȟȣȓȚȓ ȟȚȓȟȖȠȓșȭ ȏȩșȜ ȐȩȦȓ 1 ǰȠ.

ǼȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣȒȖȜȒȎȣȆȜȠȠȘȖȟȏȜșȓȓȐȩȟȜȘȖȚȖȥȎȟȠȜȠȎȚȖȟȜȜȏȧȎșȜȟȪȐ[74]. DzȖȜȒȩȏȩșȖȖȕȑȜȠȜȐșȓțȩțȎȘȜȚ-

ȚȓȞȥȓȟȘȜȗ4H-SiC ȝȜȒșȜȔȘȓn-ȠȖȝȎ(Si ȟȠȜȞȜțȎ, S=0.036 ǼȚ¸ȟȚ) ȟ ȑȜȚȜȫȝȖȠȎȘȟȖȎșȪțȩȚȟșȜȓȚ, ȖȚȓȬȧȖȚȡȞȜȐȓțȪșȓȑȖȞȜȐȎțȖȭ 3.5¸1017 ȟȚ 3 Ȗ ȠȜșȧȖțȡ 3.35 ȚȘȚ ȟȜȜȠȐȓȠȟȠȐȓțțȜ. ǼȏȞȎȠțȎȭ ȟȠȜȞȜțȎ ȝȜȒșȜȔȘȖ ȏȩșȎȡȠȜțȪȦȓțȎȒȜ 0.2 ȚȘȚ. ǸȜțȟȠȞȡȘȤȖȭȥȖȝȎȟȚȓȟȖȠȓșȪțȜȑȜȒȖȜȒȎ ȝȞȖȐȓȒȓțȎ țȎ ȞȖȟ. 4.11.

DzȖȜȒȩ ȟȒȖȎȚȓȠȞȜȚ ȘȜțȠȎȘȠȎ 25 ȚȘȚȏȩșȖȐȘșȬȥȓțȩ ȐȜȒțȜȏȎșȎțȟțȡȬ ȟȣȓȚȡ ȟȚȓȟȖȠȓșȭ Ȓșȭ ȖȟȟșȓȒȜȐȎțȖȭ șȖțȓȗțȜȟȠȖ Ȗȣ ȣȎȞȎȘȠȓȞȖȟȠȖȘ. ǽȜșȡȥȓțȩ ȝȜȠȓȞȖ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ _7.5 Ȓǯ Ȑ ȒȖȎȝȎȕȜțȓ ȐȣȜȒȭȧȖȣ ȚȜȧțȜȟȠȓȗ ȜȠ 40 ȒǯȚ ȒȜ + 13 ȒǯȚ. ǰȓșȖȥȖțȎ ȝȜȠȓȞȪ ȝȞȓȜȏȞȎȕȜȐȎțȖȭ ȏȩșȎȠȎȘȜȑȜȔȓȝȜȞȭȒȘȎȘȎȘȐȘȜȚȚȓȞȥȓȟȘȖȣȜȒțȜȏȎșȎțȟțȩȣ ȟȚȓȟȖȠȓșȭȣ ȟ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȚȖ ȏȎȞȪȓȞȎȚȖ ȆȜȠȠȘȖ.

ǸȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ, ȞȎȟȟȥȖȠȎțțȩȓ Ȓșȭ ȚȜȧțȩȣ ȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȆȜȠȘȖ ȝȞȖȐȓȒȓțȩ Ȑ ȠȎȏș. 4.6. ȀȎȘȔȓ, ȘȎȘ Ȗ Ȓșȭ ȒȞȡȑȖȣ ȠȖȝȜȐ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣȒȖȜȒȜȐȜțȖȣȎȞȎȘȠȓȞȖȕȡȬȠȝȞȓȖȚȡȧȓȟȠȐȎSiC ȟȚȓȟȖȠȓșȓȗȟȏȎȞȪȓȞȜȚȆȜȠȠȘȖȝȜȫșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȚȖȠȓȝșȜȐȩȚȝȞȓȒȓșȎȚȝȓȞȓȒ ȠȎȘȖȚ Ȕȓ ȘșȎȟȟȜȚ ȘȞȓȚțȖȐȩȣ Ȗ ȎȞȟȓțȖȒȑȎșșȖȓȐȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȆȜȠȠȘȖ.

ȅȎȟȠȪ IV	493

ǾȖȟ. 4.11. ǸȜțȟȠȞȡȘȤȖȭ ȥȖȝȎ ȟȚȓȟȖȠȓșȪțȜȑȜ ȒȖȜȒȎ

ǮțȎșȖȕ ȖȚȓȬȧȖȣȟȭ ȫȘȟȝȓȞȖȚȓțȠȎșȪțȩȣ ȒȎțțȩȣ ȝȜ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȬ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ SiC ȒȖȜȒȜȐ Ȗ ȝȜșȡȥȓțțȩȚ ȝȞȓȒȓșȪțȩȚ ȝȎȞȎȚȓȠȞȎȚ ȝȜȘȎȕȩȐȎȓȠ, ȥȠȜ Ȗȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȭ ȣȜȞȜȦȜ ȐȝȖȟȩȐȎȓȠȟȭ Ȑ ȜȏȧȓȝȞȖțȭȠȩȓ ȠȓȣȝȞȜȤȓȟȟȩ ȟȓȞȖȗțȜȑȜ ȝȞȜȖȕȐȜȒȟȠȐȎ Si ȎȘȠȖȐțȩȣ ȫșȓȚȓțȠȜȐ, ȐȘșȬȥȎȬȧȖȓȐȩȟȜȘȜȠȓȚȝȓȞȎȠȡȞțȡȬ ȒȖȢȢȡȕȖȬ, ȖȜțțȜȓ șȓȑȖȞȜȐȎțȖȓ, ȐȎȘȡȡȚțȜȓțȎȝȩșȓțȖȓȚȓȠȎșșȜȐ, ȟȝșȎȐȜȐ, ȒȖȫșȓȘȠȞȖȘȜȐ, ȢȜȠȜșȖȠȜȑȞȎȢȖȬ. ǰȚȓȟȠȓȟȠȓȚȝȜȥȠȖȘȎȔȒȩȗȖȕȫȠȖȣȝȞȜȤȓȟȟȜȐ ȝȞȖ ȝȞȖȚȓțȓțȖȖ ȓȑȜ Ș SiC ȜȘȎȕȩȐȎȓȠȟȭ ȏȜșȓȓ ȟșȜȔțȩȚ, ȠȞȡȒȜȓȚȘȖȚ Ȗ țȓȒȜȟȠȎȠȜȥțȜ ȖȕȡȥȓțțȩȚ. ǽȜȫȠȜȚȡ ȒȜ țȎȟȠȜȭȧȓȑȜ ȐȞȓȚȓțȖ, țȓȟȚȜȠȞȭ țȎ ȕțȎȥȖȠȓșȪțȩȓ ȝȜȒȐȖȔȘȖ Ȑ ȞȎȕȞȎȏȜȠȘȓ Ȗ ȟȜȕȒȎțȖȖ țȓ ȠȜșȪȘȜ ȚȖȘȞȜȐȜșțȜȐȩȣ, țȜ Ȗ ȚȜȧțȩȣ ȟȖșȜȐȩȣ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȝȞȖȏȜȞȜȐ, ȜȟȠȎȬȠȟȭ ȎȘȠȡȎșȪțȩȚȖ ȕȎȒȎȥȖ ȝȜ ȞȎȕȞȎȏȜȠȘȓ țȜȐȩȣ ȠȓȣțȜșȜȑȖȗ ȖȕȑȜȠȜȐșȓțȖȭ ȐȩȟȜȘȜțȎȒȓȔțȜȗ ȘȎȞȏȖȒȘȞȓȚțȖȓȐȜȗ ȫșȓȚȓțȠțȜȗ ȏȎȕȩ.

ȀȎȏșȖȤȎ 4.6. ǸȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ Ȓșȭ ȞȎȕșȖȥțȩȣ ȝȎȞȎȚȓȠȞȜȐ ȚȜȧțȩȣ ȟȚȓȟȖȠȓșȪțȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȟ ȏȎȞȪȓȞȜȚ ȆȜȠȠȘȖ [16] (ȘȞȖȠȓȞȖȖ ȘȎȥȓȟȠȐȎ ȘȞȓȚțȖȓȐȩȣ ȒȖȜȒȜȐ ȝȞȖțȭȠȩ ȕȎ 1)

	ǽȎȞȎȚȓȠȞȩ	ǸȞȖȠȓȞȖȖ	Si	GaAs	4H-SiC	6H-SiC
		ȘȎȥȓȟȠȐȎ
	ǺȎȘȟȖȚȎșȪțȎȭ	µn/F	1	5	0.63	0.28
	ȥȎȟȠȜȠȎ
	ȋșȓȘȠȞȖȥȓȟȘȖȗ ȝȞȓȒȓș	KB, ȫǰ
	ȝȜ ȚȎȘȟȖȚȎșȪțȜȗ		0.8	0.9	1.73	1.56
	ȎȚȝșȖȠȡȒȓ LO ȟȖȑțȎșȎ
	ȀȓȝșȜȐȜȗ ȝȞȓȒȓș
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