- •В.Н. Горбунова
- •Дубна, 2010
- •Введение
- •Содержание и оформление курсового проекта Задание на курсовой проект
- •Варианты заданий
- •Содержание расчетно-пояснительной записки.
- •Теоретические основы выполнения курсового проекта.
- •Диффузионное легирование
- •Законы диффузии
- •Диффузия из постоянного и ограниченного источников.
- •Методы расчетов диффузионных структур
- •Формирование структур методом ионной имплантации
- •Понятие о технологии ионного легирования
- •. Длина пробега ионов
- •Факторы, влияющие на процесс ионного легирования
- •Рабочая камера установки ионной имплантации.
- •Пример выполнения курсового проекта Введение
- •Исходные данные
- •Профиль распределения концентрации примесей в отдельных областях структуры
- •Глубины залегания коллекторного и эмиттерного переходов
- •График зависимости предельной растворимости примесей в кремнии.
- •Максимальная растворимость некоторых примесей в кремнии.
- •Расчет технологических параметров для метода диффузии
- •Часть вторая Метод ионной имплантации
- •Расчет профилей распределения концентрации внедренных примесей в структурах с двойной имплантацией
- •Расчет технологических параметров для метода ионной имплантации
- •Заключение
- •Список используемой литературы
- •Контрольные вопросы и задания
- •Задачи к защите курсового проекта
- •Список литературы
- •В.Н.Горбунова Физико-химические основы технологии рэсрэс
- •117105, Москва, варшавское шоссе, 8
Содержание расчетно-пояснительной записки.
Основное содержание пояснительной записки определяется заданием на курсовой проект. Объем пояснительной записки должен быть не менее 20 - 30 страниц печатного текста. Страницы записки нумеруются, включая страницы с рисунками и таблицами. На титульном листе номер страницы не указывается.
Текст расчетно-пояснительной записки разбивается на разделы. В оглавлении указываются номера страниц, соответствующие каждому разделу записки. Разделы и подразделы нумеруются арабскими цифрами и должны иметь краткие наименования. Расстояние между заголовком и последующим текстом должно быть равно 10 мм. между заголовком и последней строкой текста -15 мм.
Пояснительная записка должна быть оформлена в определенной последовательности. Вне зависимости от темы расчетно-пояснительная записка должна содержать:
- титульный лист:
- задание на проектирование:
- оглавление:
- введение:
- описание механизма, принципов и основных характеристик технологического процесса:
- выбор схемы и параметров процесса:
- расчет технологических параметров и графическое представление результатов
- заключение:
- список использованной литературы.
Введение. В данном разделе кратко отмечаются место и роль того или иного физико-химического процесса в технологии электронных средств, выделяется проблема, которой посвящен курсовой проект, важность и актуальность ее решения, формируется задача исследований, обосновываются пути ее решения.
Описание механизма, принципов и основных характеристик технологического процесса.
В разделе приводится по возможности полная характеристика технологического процесса с анализом физико-химических особенностей. Здесь же приводятся оценка достоинств и недостатков процесса. При описании механизма процесса следует по возможности полно использовать информацию из литературных источников, рисунки, схемы, диаграммы, которые иллюстрировали бы влияние тех или иных факторов на данный технологический процесс. Ссылка на источник информации должна быть обязательно. На основе анализа литературы с учетом индивидуального задания следует установить основные требования к процессу и устройству, его реализующему. При этом необходимо выделить все факторы, влияющие на этот процесс, и качественные характеристики конечного продукта процесса.
Выбор схемы и параметров процесса. На основе проведенного анализа литературы, касающейся данного процесса, выбирается схема его осуществления, описание его особенностей, составляется последовательность необходимых операций для осуществления процесса. Здесь же излагаются основные технологические приемы, их назначение, суть, технологические режимы в данной технологии.
Расчет технологических параметров. Приводятся исходные данные, расчетные формулы, методика расчета, на основании которых разрабатываются рекомендации по проведению технологических режимов, используемых для практической реализации.
Заключение. В данном разделе дается краткая характеристика выполненной работы, формируются общие выводы.
В списке литературы перечисляются лишь те источники, на которые имеются ссылки в расчетно-пояснительной записке. Сведения о литературном источнике должны включать: полное название, фамилию и инициалы автора, место издания, наименование издательства, год издания, число страниц. Все использованные источники приводятся в списке в порядке упоминания их в тексте и записывают следующим образом:
-
Томилин В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств. М.: Издательский центр «Академия», 2010. 407с.
-
Барыбин А.А., Сидоров В.Г. Физико-технологические основы электроники. – СПб.: Изд-во «Лань», 2001. – 272с.
-
Смирнов В.И., Физико-химичесике основы электронных средств. Ульяновск
УлГТУ, 2005. 112с.
Расчеты в записке должны сопровождаться пояснениями. Все расчетные формулы приводятся сначала в общем виде, нумеруются, затем дается наименование обозначений и указываются размерности всех входящих в формулу величин. Численные значения величин в формулу подставляют в том порядке, в каком они в ней записаны, и приводят результат расчета.
Расчетно-пояснительная записка должна быть снабжена необходимыми графиками, схемами, эскизами.