Травление. Очистка в h2o

Травление - это процесс окисления поверхности пластин и перевод образовавшегося окисла в растворимую соль.

Травление проводится после обезжиривания, т.к. только в этом случае травитель хорошо смачивает всю поверхность пластин, и верхний слой (например, нарушенный) удаляется равномерно.

Процесс травления можно разбить на пять стадий:

1. диффузия травителя к обрабатываемой поверхности;

2. адсорбция травителя поверхностью;

3. химическое взаимодействие травителя с обрабатываемым материалом;

4. десорбция продуктов химических реакций;

5. диффузия продуктов химических реакций от поверхности.

Скорость травления ограничивается либо диффузией травителя к поверхности или продуктов реакции от поверхности, либо скоростями поверхностных химических реакций.

Травители, в которых самыми медленными этапами являются диффузионные, называются полирующими. Такие травители нечувствительны к неоднородностям поверхности, они сглаживают шероховатости, выравнивая микрорельеф.

Травители, в которых самыми медленными являются поверхностные химические реакции, называются селективными. Селективные травители с большой разницей скоростей травления в различных направлениях принято называть анизотропными.

В зависимости от целей травления применяют те или иные травители. Так, для подготовки пластин кремния к изготовлению микросхем применяют полирующие травители. В процессе изготовления ИМС с помощью анизотропных травителей в кремнии вытравливают углубления. Для выявления поверхностных дефектов применяют селективные травители.

В качестве травителей используют кислоты и щелочи.

Очистка в н2о.

После выполнения операций обезжиривания и травления пластины промывают деионизованной водой.

Отмывку в воде выполняют:

1. в протоке воды в многокаскадных ваннах;

2. в ультразвуковых ваннах;

3. струей;

4. гидромеханическим способом.

5. Отмывка струей

7. Вода подается через форсунки под давлением на

8. вращающиеся пластины, расположенные на диске

9. центрифуги. Частота вращения центрифуги – 200 - 600 об в мин. Идет непрерывная смена воды. Процесс интенсифицируется за счет гидромеханического воздействия струи на поверхность и за счет возникающих из-за вращения центробежных сил.

11. Гидромеханическая отмывка

12. 1. 

14. Кроме струи на подложки воздействуют беличьи кисти

15. или капроновые (нейлоновые ) щетки, которые, совершая

16. сложные вращательные движения, увеличивают

17. смачиваемость поверхности и механически сбивают

18. загрязнения. Пластины крепятся вакуумным спосо