- •Введение
- •2.2 Разработка алгоритма технологического процесса плазмохимического травления
- •2.3 Анализ методов контроля плазмохимического травления
- •2.4 Виды брака при плазмохимическом травлении
- •2.5 Выбор оптимальных режимов проведения плазмохимического травления
- •2.6 Оценка процесса плазмохимического травления на настроенность и воспроизводимость
- •3.2 Методика эксперимента
- •3.3 Результаты эксперимента
- •3.4 Предложения по повышению процента выхода годных изделий
- •4 Экономическая часть
- •4.1 Расчет затрат
- •4.2 Расчет годового экономического эффекта
- •5 Охрана труда
- •Заключение
- •Перечень использованных источников
- •Перечень тнпа
4.2 Расчет годового экономического эффекта
Важнейшими показателями эффективности являются прибыль и рентабельность. Уровень рентабельности зависит от величины прибыли и размера затрат.
Рентабельность выражает относительный размер прибыли на 1 рубль текущих затрат.
Прибыль – это разность между ценой и себестоимостью.
Годовой экономический эффект от внедрения мероприятий по дипломной работе рассчитывается по формуле (4.7):
(4.7)
где – годовой экономический эффект, руб.;
– годовой план производства, шт.
Предложенная оптимизация процесса повышает процент выхода годных и дает экономический эффект в сумме 1387,68 рублей.
Показатели экономической эффективности рассчитанные в экономической части дипломного проекта позволяют сделать вывод, что принятые мероприятия по оптимизации процесса приводят к повышению эффективности производства, снижению процента брака, изготовленных изделий, а главное к снижению себестоимости продукции и увеличению прибыли и рентабельности производства.
5 Охрана труда
При написании диплома на тему «Оптимизации технологического процесса плазмохимического травления нитрида кремния на установке LAM 490» мною были рассмотрены вопросы охраны труда.
Охрана труда - это система обеспечения безопасности жизни и здоровья работников в процессе трудовой деятельности, включающая правовые, социально-экономические, организационные, технические, психофизиологические, санитарно-гигиенические, лечебно-профилактические, реабилитационные и иные мероприятия и средства [ ].
Создание безопасных и безвредных условий труда на производстве является общегосударственной задачей и предметом особого внимания управленческих и профсоюзных органов Республики Беларусь. Закон Республики Беларусь «Об охране труда» нацеливает работодателей на профилактику травматизма и обеспечение здоровых и безопасных условий труда для всех работающих
Целью государственного управления охраной труда является создание условий, обеспечивающих сохранение жизни и здоровья граждан в процессе трудовой деятельности. Для достижения цели государственного управления охраной труда на современном этапе необходимо решение следующих задач:
-
уточнение функций и ответственности субъектов государственного управления охраной труда;
-
усиление профилактической направленности решений субъектов государственного управления охраной труда на всех уровнях;
-
совершенствование государственного управления охраной труда, внедрение экономических механизмов и методов прогнозирования в этой сфере;
-
сертификация систем управления охраной труда в организациях;
-
включение системы управления охраной труда в общую систему управления производством;
-
совершенствование нормативного правового обеспечения охраны труда.
К выполнению работ на установках плазмохимической обработки допускаются лица:
-
не моложе 18 лет;
-
имеющие соответствующую профессиональную подготовку;
-
прошедшие в установленном Министерством здравоохранения Республики Беларусь порядке обязательный медицинский осмотр и не имеющих противопоказаний по результатам указанного осмотра;
-
прошедшие инструктаж по охране труда и пожарной безопасности с записью в журнале регистрации инструктажа по охране труда;
-
прошедшие обучение, стажировку на рабочем месте;
-
прошедшие проверку знаний по вопросам охраны труда;
-
имеющие удостоверение о проверке знаний по охране труда при работе в электроустановках;
-
допущенные к самостоятельной работе распорядительным документом и записью в журнале регистрации инструктажа по охране труда;
-
изучившие требования настоящей инструкции.
При проведении ПХТ основным источником опасности является высокое напряжение и движущиеся части установок и вакуумных насосов.
Поэтому для обеспечения охраны труда на рабочем месте, необходимо, чтобы все ограждения установок и отдельных блоков должны быть снабжены блокирующими устройствами, также должны быть блокированы все подходы к высоковольтным устройствам, съемным колпакам и другим элементам установок, через которые возможен доступ к высоковольтным блокам. Блокировкой должны быть снабжены и вакуумные системы.
При выполнении плазмохимического травления на работника могут воздействовать следующие опасные и вредные производственные факторы:
-
движущиеся механизмы, незащищенные подвижные части производственного оборудования, автоматически закрывающаяся дверь реакционной камеры, острые предметы (осколки кремниевых пластин, кварцевой оснастки);
-
токсическое и раздражающее воздействие через органы дыхания, кожные покровы и слизистые оболочки паров этилового спирта, хладонов, четыреххлористого кремния, элегаза, треххлористого бора, хлора при разгерметизация газовых коммуникаций, а также газообразных продуктов реакций при проведении профилактических работ и чистке внутрикамерных устройств установок. Загазованность рабочих помещений при недостаточной приточно-вытяжной вентиляции приводит к кислородному голоданию (к головным и сердечным болям, вызывает удушье и потерю сознания);
-
повышенное значение напряжения в электрической цепи, замыкание которой может произойти через тело человека, источником чего являются токоведущие части оборудования, блок питания, блок генератора, блок управления, блок вакуумной откачки;
-
повышенная температура внутренних поверхностей реакционной камеры, оснастки внутри реакционной камеры, пониженная температура жидкого азота;
-
повышенный уровень высокочастотного (ВЧ) электромагнитного излучения и повышенная напряженность электрического и магнитного поля, источником которых является реакционно-разрядные камеры, генераторы ВЧ излучения с частотой излучения 5,28 МГц, 13,56 МГц и 440 кГц [ ].
При проведении процесса ПХТ, также возможно воздействие электромагнитного поля на рабочий персонал, источником которого являются генераторы.
Воздействие электромагнитного поля может вызвать у работающих:
-
головную боль, вялость, расстройство сна, снижение памяти, повышенную раздражительность, апатию, боли в сердце, нарушение сердечных сокращений, понижение или повышение давления, нарушение деятельности эндокринной системы;
-
трофические расстройства: похудение, выпадение волос, ломкость ногтей.
Методы и средства защиты от электромагнитного поля:
-
уменьшение мощности генерирования поля и излучения непосредственно в его источнике (обусловлено правильным выбором генератора, применением поглотителей энергии из материалов углеродистого состава или из специальных диэлектриков);
-
увеличение расстояния от источника излучения;
-
уменьшение времени пребывания в поле и под воздействием излучения;
-
экранирование излучения применением отражающих и поглощающих экранов, а также все экраны обязательно должны заземляться для обеспечения стекания образующихся на них зарядов в землю;
-
применение средств индивидуальной защиты.
При контакте с организмом человека вредные вещества (пары, газы, аэрозоли), могут вызывать изменения в состоянии здоровья или заболевания.
Вредное вещество - это вещество, которое при контакте с организмом человека в случае нарушения требований безопасности может вызвать производственные травмы, профессиональные заболевания или отклонения в состоянии здоровья.
ПХТ не является исключением, при проведении технологического процесса, также применяются вредные вещества, которые могут неблагоприятно влиять на работающий персонал.
Пыли (аэрозоли) не обладают выраженной токсичностью. Они, попадая в органы дыхания, вызывают повреждения слизистой оболочки верхних дыхательных путей и, задерживаясь в легких, вызывают воспаление легочной ткани. Профессиональные заболевания, связанные с воздействием аэрозолей, называются пневмокониозами.
Запылённость и загазованность воздуха рабочей зоны нормируется с помощью предельно-допустимой концентрации (ПДК) вредных веществ в воздухе рабочей зоны.
ПДК (мг/м3) - это такие концентрации, которые при ежедневной работе (кроме выходных дней) продолжительностью не более 40 часов в неделю в течение рабочего стажа не вызывают заболеваний или отклонений здоровья (обнаруживаемых современными методами исследований) в процессе работы или в отдаленные сроки жизни настоящих и последующих поколений [ ].
По степени воздействия на организм человека вредные вещества делятся на четыре класса:
-
чрезвычайно опасные (ПДК меньше 0,1 мг/м3);
-
высоко опасные (ПДК 0,1 - 1,0 мг/м3);
-
умеренно опасные (ПДК 1,1-10,0 мг/м3);
-
мало опасные (ПДК более 10мг/м3).
Мероприятия по защите от воздействия вредных веществ:
-
совершенствование технологических процессов (создание их непрерывности, герметичности аппаратуры и коммуникаций, применение гидро- и пневмотранспорта для пылящих материалов);
-
внедрение комплексной механизации и автоматизации производственных процессов, применение дистанционного управления и автоматизации контроля за ходом технологического процесса;
-
замена вредных веществ в производстве на безвредные или менее вредные;
-
гигиеническая стандартизация химического сырья и продукции;
-
организация систематического санитарно-химического контроля воздуха рабочей зоны;
-
санитарно-бытовое и лечебно-профилактическое обеспечение работающих;
-
эффективная вентиляция производственных помещений.
При проведении ПХТ возможно поражение работников электрическим током, поэтому необходимо соблюдать электробезопасность.
Электробезопасность - это система организационных и технических мероприятий и средств, обеспечивающие защиту людей от вредного и опасного воздействия электрического тока, электрической дуги, электромагнитного поля и статического электричества [ ].
Поражение человека электрическим током возможно только при замыкании электрической цепи через тело человека:
-
прикосновении к открытым токоведущим частям оборудования и проводам;
-
прикосновении к корпусам электроустановок, случайно оказавшимся под напряжением (повреждение изоляции);
-
освобождении человека, находящегося под напряжением.
Обеспечение электробезопасности техническими способами:
-
изоляция, предназначена для исключения контакта отдельных проводников между собой или с металлическими частями не находящимися под напряжением;
-
защитное заземление - это преднамеренное электрическое соединение с землёй металлических нетоковедущих частей электроустановок, которые могут оказаться под напряжением;
-
применение малого напряжения.
-
защита от случайного прикосновения к токоведущим частям предполагает их расположение на высоте, недоступной для прикосновения или применение ограждения, блокировки, сигнализации.
Инструктаж и проверку знаний по охране труда и пожарной безопасности проводить мастеру не реже, чем через шесть месяцев, с записью в журнале регистрации инструктажа по охране труда.
Персонал, работающий в действующих электроустановках, должен обладать определённой квалификацией не только по специальности, но и по электробезопасности. Такому персоналу присваивается группа по электробезопасности.
Группа по электробезопасности персонала - это группа, характеризующая уровень знаний работником требований норм и знаний по устройству и технике безопасности, эксплуатации электроустановок, умение практически выполнять их и оказывать первую помощь пострадавшим от электрического тока.
Рабочему персоналу участка ПХТ присваивается группа V по электробезопасности, которая требует от работника наиболее полных и углубленных знаний правил по электробезопасности, а также схем и оборудования своего участка.
Также при проведении ПХТ, возможно получение термического ожога, вызванного не соблюдением правил охраны труда.
Для исключения и уменьшения воздействия вредных производственных факторов (ВПФ) и опасных производственных факторов (ОПФ), необходимо использовать средства защиты работающих.
Средства защиты работающих - это средства, применение которых предотвращает или уменьшает воздействие на работающих ОПФ и ВПФ.
Средства защиты подразделяются на:
-
коллективные - обеспечивают защиту всех работающих на участке;
-
индивидуальные - используется лично работником для предотвращения или уменьшения воздействия на него ОПФ и ВПФ.
Средства коллективной защиты (СКЗ) классифицируются в зависимости от ОПФ и ВПФ, а средства индивидуальной защиты (СИЗ) - в основном в зависимости от защищаемых органов или группы органов. СИЗ являются вспомогательными средствами и применяются в тех случаях, когда безопасность не обеспечивается за счет применения СКЗ.
По техническому исполнению СКЗ могут быть разделены на следующие группы:
-
ограждения;
-
блокировочные, тормозные, предохранительные устройства;
-
световая и звуковая сигнализация;
-
знаки безопасности;
-
вентиляция;
-
изолирующие, герметизирующие средства.
СИЗ подразделяются на следующие виды:
-
специальная одежда (халат хлопчатобумажный, головной убор);
-
специальная обувь (кожаные тапочки);
-
средства защиты рук (перчатки хлопчатобумажные).
Вывод: в результате оптимизации технологического процесса плазмохимического травления нитрида кремния воздействие вредных и опасных факторов на работника снизилось, так как в связи с оптимизацией процесса скорость травления увеличилась, соответственно время операции сократилось.