- •Кинематика упругого соударения в лабораторной системе координат
- •Связь углов рассеяния в системе центра инерции с углами рассеяния в лабораторной системе координат
- •Переход от дифференциального сечение рассеяния в единицу телесного угла dw в с.Ц.М. К дифференциальному сечению рассеяния в единицу телесного угла dW в л.С.К.
- •Основные особенности дифференциального сечения упругого рассеяния в кулоновском потенциале в системе центра масс.
- •Дифференциальное сечение передачи энергии в упругом соударении иона с атомом образца для кулоновского потенциала взаимодействия
- •Дифференциальное сечение передачи энергии в неупругих соударениях иона с атомом образца для кулоновского потенциала взаимодействия
- •Экранированный кулоновский потенциал взаимодействия ускоренных ионов с атомами образца и границы его применимости
- •Дифференциальное (Линдхардовское) сечение передачи энергии ионом атому образца для экранированного кулоновского потенциала взаимодействия
- •Понятие тормнозной способности и удельных потерь энергии при движении иона в твердом теле
- •Тормозная способность и удельные потери энергии иона в упругих соударениях с атомами образца для кулоновского потенциала взаимодействия
- •Тормозная способность и удельные потери энергии иона в неупругих соударениях с атомами образца для кулоновского потенциала взаимодействия
- •Ядерная тормозная способность для экранированного кулоновского потенциала взаимодействия
- •Тормозная способность и удельные потери энергии для ионного пучка в многоэлементном образце
- •Распределение имплантированных ионов по длинам пробега
- •Основные характеристики распыленного потока атомов образца при облучении ионным пучком
- •Коэффициент распыления образца ионным пучком
- •Расчет скорости ионного травления
- •Основные закономерности электрон-электронной эмиссии
- •Удельные потери энергии ускоренных электронов при движении в образце
- •Сечение ударной ионизации атомов образца электронным пучком
- •Сечение фотоэффекта и его связь с линейным коэффициентом поглощения рентгеновского излучения
- •Вероятность рентгеновской флуоресценции и Оже-переходов
- •Расчет массового коэффициента поглощения для полиатомных образцов
- •Расчет пробега ускоренных электронов в образце
- •Термоэлектронные эмиттеры
- •Автоэлектронные эмиттеры
- •Принцип действия и основные элементы конструкции электронной пушки
- •Принцип действия и основные элементы конструкции ионного источника с холодным катодом (Пеннинга)
- •Принцип действия и основные элементы конструкции ионного источника типа дуаплазмотрон
- •Разделение ионных пучков по массам в магнитном поле
- •Понятие разрешения по массам магнитного масс-анализатора
Дифференциальное (Линдхардовское) сечение передачи энергии ионом атому образца для экранированного кулоновского потенциала взаимодействия
В случае малых углов рассеяния угол рассеяния в системе центра инерции можно представить в виде
В качестве U(r) – экранированный кулоновский потенциал
замена переменной r = r/cosa,
тогда dr = (rtga/cosa)da,
нижний предел интегрирования при r = r переходит в a = 0, а верхний при r = ¥ в a=p/2
Угол рассеяния в с.ц.м.
mv¥2/2 = m1v¥2/2(m2/(m1 + m2) = E0M2/(M1 + M2), выражение в круглых скобках перед интегралом является безразмерным и его обратную величину принято называть приведенной (безразмерной) энергией Линдхарда
Подставив значения а0 и е2, получим удобное для вычисления e выражение
Введя x = r/а
ec = g(x)/x,
это выражение получено в предположении малых углов рассеяния c, при которых c/2 @ sin(c/2), поэтому
ec = 2ec/2 @ 2esin(c/2) = 2t1/2 = g(x)/x,
в параметре t1/2 = esin(c/2) учитывается не только массы и атомные номера взаимодействующих частиц, начальная энергия частицы m1, но и угол рассеяния, и, соответственно, прицельный параметр.
Ф ункцию
можно вычислить численно и, соответственно, для каждого x из равенства t1/2 = g(x)/2x определить t1/2, т.е. каждому значению t1/2 можно поставить в соответствие значение x и, таким образом найти функцию G, определяющую зависимость x = G1/2(t1/2). Степень ½ у G выбрана для удобства дальнейших преобразований.
Так как x = r/а, то r = аG1/2(t1/2), то
дифференциальное сечение упругого рассеяния в с.ц.м.
Так как
dr/dt1/2 = aG'(t1/2)/2G(t1/2), где G'(t1/2) = dG(t1/2)/dt1/2
dt1/2/dc = ecos(c/2)/2, а dc = dt/e2sin(c/2)cos(c/2),
получим т.н. Линдхардовское сечение рассеяния
где fL(t1/2) = tG'(t1/2) – функция Линдхарда.
Переход к дифференциальному сечению рассеяния в с.ц.м.
t = e2sin2(c/2), то dt = e2sin(c/2)cos(c/2)dc.
Т .к. экр. кулоновский потенциал сферически симметричен, то Линдхардовское дифференциальное сечение рассеяния на угол c
Понятие тормнозной способности и удельных потерь энергии при движении иона в твердом теле
Ион M1, Z1, движущийся в твердом теле, состоящем из атомов M2, Z2. При взаимодействии иона с атомами происходит передача части его энергии атомам, т.е. ион тормозится в твердом теле. В каждый рассматриваемый момент энергия иона равна Е, причем по мере его движения Е уменьшается.
s* – полное (проинтегрированное по всем возможным переданным энергиям) сечение процесса, сопровождающегося передачей энергии от движущегося иона атомам твердого тела. Если ds*(E2) – дифференциальное сечение передачи энергии в диапазоне E2 ¸ dE2, то
где E2min – минимально возможная переданная энергия ионом в процессе взаимодействия,
E2max – максимально возможная переданная энергия.
Выделим в твердом теле объем с площадью основания s* и высотой dl, направленной вдоль траектории движения иона.
Концентрация объектов, с которыми взаимодействует ион – n*.
В выделенном объеме находится n*s* dl объектов (рассеивающих центров). Если – средняя энергия, передаваемая рассеивающему центру в однократном процессе взаимодействия при движении иона в выделенном объеме, то на участке траектории dl ионом будет передана энергия (ион потеряет энергию) dE2 = – n*s*dl. Удельные потери энергии ионом вдоль траектории
По теореме о среднем
У дельные потери энергии ионом
вдоль траектории
Размерность удельных потерь энергии эВ/Å или эВ/нм.
Для интеграла используется специальное название – тормозная способность вещества, соответствующая потерям энергии на единицу пути в веществе с единичной концентрацией рассеивающих центров.
Упрощающие рассмотрение предположения:
Твердое тело представляет собой набор атомов с атомной концентрацией n0, не образующих кристаллическую решетку.
Следуя Нильсу Бору, будем рассматривать потери энергии ионом как сумму двух независимых процессов, идущих одновременно:
взаимодействие с ядрами атомов, ("ядерное" или "упругое" взаимо-действие, подстрочный индекс "n"), в ходе этого процесса происходит также изменение направления движения иона;
взаимодействие с электронами атомов твердого тела, сопровожда-ющееся ионизацией атомов и возбуждением их электронной подсистемы ("электронное" или "неупругое" взаимодействие, построчный индекс "е"), в ходе этого процесса направления движения иона не меняется, так как me << m1.
В этих предположениях связь между удельными потерями энергии вдоль траектории и тормозной способностью
Для того чтобы получить конкретный вид ds*(E2) необходимо знать потенциал взаимодействия.