ЛЕКЦИЯ

ВВОДНАЯ

План

1 Содержание и основные понятия технологии производства изделий электроники

2 Развитие технологии производства изделий электроники

1 Содержание и основные понятия технологии производства изделий электроники

Термин технология произошел от греческих слов τexon – искусство, мастерство и λojos – наука, т.е. наука о мастерстве.

В широком смысле технология – совокупность приемов, методов и способов получения и переработки сырья, обработки материалов, полуфабрикатов или изделий для получения конечного продукта или изделия. Технология производства изделий микроэлектроники базируется на способах изменения формы, размеров, физических и химических свойств, состава и структуры исходных полупроводниковых и других материалов.

В более узком смысле технология обозначает технологические операции, а также комплект технологической документации (маршрутные и технологические карты, технологические инструкции и т.д.), подробно описывающий этапы изготовления и позволяющий их воспроизвести.

Технология – это и научная или техническая дисциплина, которая занимается выявлением сущности и закономерностей механических, физических, химических и других явлений для улучшения существующей и разработки и внедрения новой в производство более эффективной технологии. Технология машиностроения, технология микроэлектроники, технология полупроводниковых приборов.

Производство изделий микроэлектроники включает определенный ряд последовательно и параллельно проводимых обработок – операций, выполняя которые постепенно из исходных материалов получают готовые изделия.

Технологическая операция – это законченная часть технологического процесса на одном рабочем месте.

В процессе выполнения технологической операции происходит качественные изменения обрабатываемых объектов: п/п слиток → пластину, форма пластин и поверхности становятся более точными, затем – более чистыми и т.д.

Основные технологические операция провдятся над объектом из которого по завершению производственного процесса получается требуемое изделие.

Вспомогательные технологические операции выполняются над вспомогательными объектами. Например очистка оснастки, подготовка травителей и др.

Для повышения качества и выхода годных применяют контроль после технологической операции.

В производстве ИС применяют разнообразные операции провдимые в вакууме, газах, жидкостях и на воздухе. Количество операций может доходить до нескольких сотен.

Технологический процесс – это часть производственного процесса, содержащая действия по изменению и последующему определению предмета производства.

Технологический процесс содержит определенное число технологических операций, расположенных в определенной последовательности и обеспечивающих экономически получение ИС заданной конструкции с заданными электрофизическими параметрами.

В массовом и серийном производстве применяются типовые технологические процессы. Они характеризуются одинаковостью содержания технологических процессов и их последовательностью.

Одну и ту же технологическую операцию можно реализовать различными (по физико-химической природе) технологическими методами. Например, получение p-n перехода – диффузией, эпитаксией, ионным легированием.

По методам обработки производство делят на участки: механические, химические, термические, фотолитографические, эпитаксиальные, сборки, герметизации и др.

Различают групповые и индивидуальные технологические методы.

При групповых методах одновременной обработке подвергается не один образец, а целая партия. При этом уменьшается разброс параметров образцов и увеличивается производительность.

Технологические процессы производства изделий электроники – это совокупность групповых и индивидуальных методов обработки.