- •Практическая часть:
- •Моделирование процесса ионной имплантации при создании легированных карманов в кремнии
- •Практическая часть:
- •Практическая часть:
- •1. В соответствии со своим вариантом выберите для моделирования значения напряжений на затворе и стоке, длины канала и глубины залегания истока и стока, а также температуры
Практическая часть:
1. В соответствии со своим вариантом выберите для моделирования значения напряжений на затворе и стоке, длины канала и глубины залегания истока и стока, а также температуры
|
Вариант 1 |
Вариант 2 |
Вариант 3 |
Вариант 4 |
Вариант 5 |
Вариант 6 |
Вариант 7 |
Вариант 8 |
, В |
2 |
3 |
4 |
2 |
3 |
4 |
5 |
5 |
, В |
3 |
2 |
3 |
2 |
2 |
3 |
2 |
3 |
, мкм |
0,5 |
0,4 |
0,5 |
0,4 |
0,5 |
0,4 |
0,5 |
0,4 |
, мкм |
0,1 |
0,1 |
0,2 |
0,2 |
0,15 |
0,15 |
0,08 |
0,08 |
Т , К |
290 |
300 |
300 |
290 |
310 |
310 |
290 |
310 |
2. В качестве распределения используйте полученное вами в предыдущей лабораторной работе 3 распределение. Для него найдите максимальное значение , которое используется для расчета величины .
3. Разбейте область моделирования на 80 ячеек — по координате y организуйте 10 сечений, а по координате x соответственно 8.
4. Рассчитайте для каждой ячейки, характеризующейся своими x и y, значения и .
5. По моделям подвижности Когей–Томаса и Ширахаты рассчитайте распределение значений подвижности электронов по области моделирования.
6. Представьте результат моделирования графически в виде двумерного изображения распределения .