Министерство образования и науки Российской Федерации

федеральное государственное автономное образовательное учреждение

высшего образования

«НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ

ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ»

Институт физики высоких технологий

Направление подготовки Материаловедение и технологии материалов

Кафедра Материаловедение в машиностроении

УТВЕРЖДАЮ:

Зав. кафедрой

_________________ Панин В. Е.

ЗАДАНИЕ

на выполнение выпускной квалификационной работы

В форме:

Бакалаврской работы

(бакалаврской работы, дипломного проекта/работы, магистерской диссертации)

Студенту:

Группа	ФИО
4Б00	Хайруллин Рустам Равильевич

Тема работы:

Исследование влияния параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрические и магнитные свойства тонких пленок Co
Утверждена приказом директора ИФВТ	Приказ № 2192/с от 16.04.2014 г._

Срок сдачи студентом выполненной работы:

ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ:

Исходные данные к работе (наименование объекта исследования или проектирования; производительность или нагрузка; режим работы (непрерывный, периодический, циклический и т. д.); вид сырья или материал изделия; требования к продукту, изделию или процессу; особые требования к особенностям функционирования (эксплуатации) объекта или изделия в плане безопасности эксплуатации, влияния на окружающую среду, энергозатратам; экономический анализ и т. д.).		В работе исследовали тонкие пленки Co, нанесенные методом CVD на подложки Si (100). В качестве предшественника использовали дииминат кобальта Co(N’acN’ac)2. Длительность осаждения всех исследованных образцов составляла 2-4 часа, в качестве газа-носителя использовали Ar (скорость подачи 1л/ч), а в качестве газа-реактанта – H2 (скорость подачи 4 л/ч), давление в камере осаждения составляло 1 атмосферу. Были исследованы 3 партии образцов. В первой партии была зафиксирована температура испарителя, равная Тисп = 120^0С, при этом температура подложки варьировалась в пределах Тподл = 310420^0С. Во второй партии также зафиксирована температура испарителя (130^0С), а температура подложки изменялась от 300 до 340^0С. В третьей партии температура подложки была постоянной (330^0С), а температура испарителя варьировалась в интервале от 120 до 155^0С. Пленки кобальта не токсичны. Стоимость одного образца с учетом транспортных расходов составляет 350 р. Всего исследовано 17 образцов.
Перечень подлежащих исследованию, проектированию и разработке вопросов (аналитический обзор по литературным источникам с целью выяснения достижений мировой науки техники в рассматриваемой области; постановка задачи исследования, проектирования, конструирования; содержание процедуры исследования, проектирования, конструирования; обсуждение результатов выполненной работы; наименование дополнительных разделов, подлежащих разработке; заключение по работе).		Литературный обзор, включающий сравнительный анализ методов нанесения металлических пленок, а также основные моменты работ российских и зарубежных исследователей по магнитным и электрическим свойствам пленок кобальта. Исследование морфологии поверхности, проведение рентгеноструктурных исследований, измерение толщины, магнитных и электрических характеристик пленок кобальта. Обсуждение результатов работы Установление оптимальных режимов получения пленок кобальта с наилучшими магнитными и электрическими свойствами. Дополнительные разделы: «Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение», «Социальная ответственность».
Перечень графического материала (с точным указанием обязательных чертежей)		Презентация ВКР в Power Point
Консультанты по разделам выпускной квалификационной работы (с указанием разделов)
Раздел	Консультант
Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение	О.Н. Петухов, доцент, НИ ТПУ
Социальная ответственность	В.П. Кузнецов, доцент, НИ ТПУ
Названия разделов, которые должны быть написаны на русском и иностранном языках:
Реферат

Дата выдачи задания на выполнение выпускной квалификационной работы по линейному графику

Задание выдал руководитель:

Должность	ФИО	Ученая степень, звание	Подпись	Дата
Зав. лаб. ФПЯ ИФПМ СО РАН	Панин А. В.	Д. ф.-м.н., доцент

Задание принял к исполнению студент:

Группа	ФИО	Подпись	Дата
4Б00	Хайруллин Рустам Равильевич